单晶石墨烯薄膜的制备方法

文档序号:25350047发布日期:2021-06-08 13:12阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:提供衬底、碳源和容器,所述容器上设有至少一个通孔;将所述衬底置于所述容器中,经化学气相沉积反应,将所述碳源至少沉积在所述衬底表面,得到单晶石墨烯薄膜。2.根据权利要求1所述单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,所述容器包括容器本体及覆盖所述容器本体的顶盖,所述通孔设置在所述容器本体的侧壁。3.根据权利要求2所述单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,所述容器的材质为石墨或金属。4.根据权利要求1所述单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,所述化学气相沉积反应是在保护性气体和氢气的混合气氛中进行,所述化学气相沉积反应的反应温度为700℃

1000℃,反应时间为10min

100min。5.根据权利要求4所述单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,所述化学气相沉积反应中,由室温升至700℃

1000℃的时间为50min

60min。6.根据权利要求4所述单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,所述保护性气体的通入流量为500sccm

800sccm;和/或所述保护性气体选自氮气、氩气中的至少一种;和/或所述氢气的通入流量为1sccm

500sccm。7.根据权利要求1

6任一项所述单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,所述碳源选自气体碳源、固体碳源、液体碳源中的至少一种。8.根据权利要求7所述单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,所述碳源的通入流量为0.1sccm

500sccm。9.根据权利要求1

6任一项所述单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,所述衬底的材质为铜、镍或两者的合金。10.根据权利要求1

6任一项所述单晶石墨烯薄膜的制备方法,其特征在于,所述单晶石墨烯薄膜的表面洁净度大于等于99%。
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