显示器基板用蚀刻液及其制备方法与流程

文档序号:31499417发布日期:2022-09-14 08:26阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种显示器基板用蚀刻液,其特征在于,包括:氟化氢;氟化铵;多元醇;数均分子量大于1000的阳离子低聚物;以及数均分子量为1000以下的阳离子低聚物。2.根据权利要求1所述的显示器基板用蚀刻液,其特征在于,所述多元醇为碳原子数2至30的直链、支链或环状,且包括2个以上的羟基。3.根据权利要求1所述的显示器基板用蚀刻液,其特征在于,所述多元醇包括选自由聚乙二醇、聚丙二醇、二甘醇、三甘醇、丙二醇、甘油、山梨糖醇、木糖醇、甘露醇、艾杜糖醇、苯二醇以及双酚组成的组中的一种以上。4.根据权利要求1所述的显示器基板用蚀刻液,其特征在于,所述数均分子量大于1000的阳离子低聚物为不包括羧基的碳原子数80至500的直链、支链或环状,且包括1个以上的氮原子。5.根据权利要求1所述的显示器基板用蚀刻液,其特征在于,所述数均分子量大于1000的阳离子低聚物包括聚乙烯胺、聚烯丙胺、氨基-聚(乙二醇)-b-聚(ε-己内酯)、胺聚(乙二醇)-嵌段-聚(丙交酯-co-乙交酯)、聚(乙二醇)双(胺)、o-(2-氨基乙基)聚乙二醇、聚(2-乙基-2-恶唑啉)α-甲基、ω-2-羟基乙基胺封端、胺封端聚(l-丙交酯)、胺封端聚(n-异丙基丙烯胺)、4臂-聚乙二醇-胺、pei-b-mpeg、pei-peg-pei中的一种以上。6.根据权利要求1所述的显示器基板用蚀刻液,其特征在于,所述数均分子量为1000以下的阳离子低聚物包括聚乙烯亚胺、聚乙烯多胺、甲氧基聚乙二醇胺、聚(乙二醇)甲醚胺、精胺、硅烷-peg-nh2、三羟甲基丙烷三[聚(丙二醇)醚氨基封端]、11-叠氮-3,6,9-三氧杂十一烷-1-胺中的一种以上。7.根据权利要求1所述的显示器基板用蚀刻液的制备方法,其特征在于,包括:混合以下成分的步骤,0.01至5重量百分比的氟化氢;1至50重量百分比的氟化铵;0.01至10重量百分比的多元醇;0.0001至5重量百分比的数均分子量大于1000的阳离子低聚物;0.001至10重量百分比的数均分子量为1000以下的阳离子低聚物;以及水,以使组合物总重量为100重量百分比。

技术总结
本发明涉及用于抑制对玻璃基板的蚀刻的显示器基板用蚀刻液。根据本发明的显示器基板用蚀刻液,可通过抑制对于在蚀刻工艺中暴露的玻璃基板的蚀刻,来防止玻璃蚀刻析出物的产生和玻璃基板上的斑迹。和玻璃基板上的斑迹。


技术研发人员:金学秀 金希泰 李明镐 宋明根
受保护的技术使用者:易安爱富科技有限公司
技术研发日:2022.03.07
技术公布日:2022/9/13
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