一种改进的玻璃蚀刻设备的制作方法

1.本实用新型涉及玻璃蚀刻技术领域，尤其是涉及一种改进的玻璃蚀刻设备。


背景技术：

2.化学湿式蚀刻方法是制作轻薄玻璃面板的常用方法，现有的玻璃蚀刻设备包括用于喷淋酸液的蚀刻室、用于夹持玻璃基板的篮具以及酸液喷淋装置，酸液喷淋装置固定在篮具的侧部或顶部，通过喷淋装置对装夹于篮具内的玻璃基板进行喷淋。现有的湿式蚀刻机，多采用两侧喷淋的蚀刻结构，玻璃基板装夹在同一竖直夹具，通过设于竖直夹具两侧的酸液喷淋装置对玻璃基板的两侧面进行均匀蚀刻，但是，这种蚀刻设备存在着，蚀刻效率低和酸液喷淋不均匀的缺点；也有采用顶部喷淋的蚀刻结构，玻璃基板被以间隔并列的方式装夹在篮具，通过设于篮具顶部的酸液喷淋装置进行蚀刻喷淋，酸液通过玻璃基板之间的间隔喷淋至玻璃基板的顶部表面，并在重力作用下覆盖玻璃基板的全部表面，但是，这种蚀刻设备仍然存在着酸液喷淋不均匀，蚀刻质量低的缺点，因此有必要予以改进。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种改进的玻璃蚀刻设备，实现玻璃基板在蚀刻喷淋过程中进行竖直旋转，蚀刻剂能够由玻璃基板的各个角度进行竖直喷淋，避免酸液喷淋不均，提高蚀刻质量。
4.为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种改进的玻璃蚀刻设备，包括控制装置、机体、设于机体内部的蚀刻腔室、酸液喷淋装置以及夹持篮具，酸液喷淋装置位于夹持篮具的上方，夹持篮具的两侧分别通过一篮具转轴旋转安装于蚀刻腔室的内部，夹持篮具设有角度感应模块，角度感应模块包括多个固定于夹持篮具侧部的感应块以及接近感应传感器，感应块以篮具转轴为中心沿圆周方向间隔分布，接近感应传感器固定于机体，并与各感应块接近感应配合，机体还设有篮具旋转驱动装置，篮具旋转驱动装置位于蚀刻腔室的外部，夹持篮具通过密封篮具驱动轴结构传动连接篮具旋转驱动装置；酸液喷淋装置、接近感应传感器以及篮具旋转驱动装置分别电连接于控制装置。
5.在进一步的技术方案中，夹持篮具的侧部设有多个内磁铁定位件，各内磁吸定位件分别以篮具转轴为中心沿圆周方向间隔分布；蚀刻腔室内设有至少一个磁极方向相反的外磁吸定位件，在接近感应传感器与感应块接近感应配合时，外磁吸定位件与相应的内磁铁定位件磁性连接。
6.在进一步的技术方案中，内磁吸定位件与感应块的数量相同，并且各内磁吸定位件分别与相应的感应快沿径向对齐；内磁吸定位件与外磁吸定位件磁吸配合并组合形成磁吸定位组件，磁吸定位组件的设置数量为四组，各磁吸定位组件分别沿篮具转轴为中心沿圆周方向间隔分布，相邻两个磁吸定位组件的夹角为90 度，以实现夹持篮具进行0度、90度、270度或180度的喷淋角度定位。
7.在进一步的技术方案中，篮具旋转驱动装置包括一固定在机体外侧的伺服电机；
密封篮具驱动轴结构包括一通过滚珠轴承安装于机体的驱动转轴，伺服电机传动连接于驱动转轴的外侧端，驱动转轴的内侧设有至少一个油封密封圈；驱动转轴的内端安装有篮具主动齿轮，篮具转轴安装有篮具从动齿轮，篮具主动齿轮与篮具从动齿轮之间活动啮合。
8.在进一步的技术方案中，驱动转轴的外侧端同轴安装有一被动皮带轮；伺服电机的输出轴安装有一减速机，减速机的输出轴安装有主动皮带轮，主动皮带轮和被动皮带轮之间套设有传动皮带，被动皮带轮的直径大于主动皮带轮的直径。
9.在进一步的技术方案中，机体的内部设有两个以上蚀刻腔室，每个蚀刻腔室内分别设有用作喷淋不同蚀刻剂的酸液喷淋装置；蚀刻腔室的底部设有横向导杆结构以及小车驱动机构，横向导杆结构上活动安装有篮具小车装置，篮具小车装置包括活动小车底座、中间篮具支架以及夹持篮具，活动小车底座活动安装于横向导杆结构，并且传动连接于小车驱动机构；中间篮具支架固定于活动小车底座的顶部，各外磁吸定位件分别固定在中间篮具支架的两侧；夹持篮具通过篮具转轴旋转安装于中间篮具支架。
10.在进一步的技术方案中，活动小车底座的底部的两侧分别设有滚轮结构；横向导杆结构包括两个相互平行设置的光杆，活动小车底座通过滚轮结构滑动安装于光杆；小车驱动机构包括丝杆驱动结构、链轮驱动结构或皮带轮驱动结构。
11.在进一步的技术方案中，蚀刻腔室的前侧面设有可视化窗口。
12.在进一步的技术方案中，感应块的外表盖设有一高分子防腐蚀盖帽。
13.在进一步的技术方案中，内磁铁定位件以及外磁吸定位件分别设有一结构相同的防腐蚀定位结构，防腐蚀定位结构包括一外表面设有外螺纹结构的磁铁套，磁铁套的内部掏空成型有用作装配强磁铁的套腔，套腔的腔口通过一塞子封闭，塞子与磁铁套之间焊接。
14.采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：本实用新型提供了一种改进的玻璃蚀刻设备，通过外置的篮具旋转驱动装置对篮具进行旋转调节，是蚀刻剂能以预设的喷淋角度对玻璃基板进行均匀喷淋，避免酸液喷淋不均，提高蚀刻质量；通过接触感应结构对夹持篮具进行喷淋角度的判断，保证玻璃基板在预设的旋转角度进行数字喷淋蚀刻，进一步提高蚀刻处理的均匀度以及蚀刻质量；通过内外磁吸定位结构对夹持篮具进行旋转角度的锁定，避免在蚀刻剂喷淋过程中，篮具发生晃动，导致蚀刻不均匀。
附图说明
15.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
16.图1是本实用新型的结构示意图。
17.图2是本实用新型的另一结构示意图。
18.图3是本实用新型的篮具小车装置的结构示意图。
19.图4是本实用新型的篮具小车装置的分解示意图。
20.图5是本实用新型的夹持篮具的结构示意图。
21.图6是本实用新型的外磁吸定位件的结构示意图。
具体实施方式
22.以下仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。
23.一种改进的玻璃蚀刻设备，包括控制装置、机体1、设于机体1内部的蚀刻腔室10、
酸液喷淋装置以及夹持篮具23，酸液喷淋装置位于夹持篮具23的上方，夹持篮具23的两侧分别通过一篮具转轴239旋转安装于蚀刻腔室10的内部，夹持篮具23设有角度感应模块，角度感应模块包括多个固定于夹持篮具23侧部的感应块232以及接近感应传感器，感应块232以篮具转轴239为中心沿圆周方向间隔分布，接近感应传感器固定于机体1，并与各感应块232接近感应配合，机体1还设有篮具旋转驱动装置12，篮具旋转驱动装置12位于蚀刻腔室10的外部，夹持篮具23通过密封篮具驱动轴结构传动连接篮具旋转驱动装置12；酸液喷淋装置、接近感应传感器以及篮具旋转驱动装置12分别电连接于控制装置。本实用新型提供的蚀刻设备通过外置的篮具旋转驱动装置对篮具进行旋转调节，是蚀刻剂能以预设的喷淋角度对玻璃基板进行均匀喷淋，避免酸液喷淋不均，提高蚀刻质量；通过接触感应结构对夹持篮具进行喷淋角度的判断，保证玻璃基板在预设的旋转角度进行数字喷淋蚀刻，进一步提高蚀刻处理的均匀度以及蚀刻质量。外置的驱动装置使驱动结构与蚀刻剂隔离，提高驱动装置的使用寿命，节约设备内部隔离的高昂成本。
24.具体地，夹持篮具23的四个角部分别设有由两个夹持棒230组合而成的夹持组件，夹持棒230间隔设有多个隔离套，相邻两个隔离套之间形成玻璃夹持部；夹持棒230的延伸方向与篮具转轴239平行，这能够是各个玻璃基板能够以竖直方向进行工装，并始终保持竖直状态进行旋转角度的调节。
25.具体地，夹持篮具23的侧部设有多个内磁铁定位件，各内磁吸定位件231 分别以篮具转轴239为中心沿圆周方向间隔分布；蚀刻腔室10内设有至少一个磁极方向相反的外磁吸定位件221，在接近感应传感器与感应块232接近感应配合时，外磁吸定位件221与相应的内磁铁定位件磁性连接。通过内外磁吸定位结构对夹持篮具进行旋转角度的锁定，避免在蚀刻剂喷淋过程中，篮具发生晃动，导致蚀刻不均匀，并且结构简单，无需开关操作亦可进行角度的锁定以及调节。
26.具体地，内磁吸定位件231与感应块232的数量相同，并且各内磁吸定位件 231分别与相应的感应快沿径向对齐；内磁吸定位件231与外磁吸定位件221磁吸配合并组合形成磁吸定位组件，磁吸定位组件的设置数量为四组，各磁吸定位组件分别沿篮具转轴239为中心沿圆周方向间隔分布，相邻两个磁吸定位组件的夹角为90度，以实现夹持篮具23进行0度、90度、270度或180度的喷淋角度定位。
27.具体地，篮具旋转驱动装置12包括一固定在机体1外侧的伺服电机121；密封篮具驱动轴结构包括一通过滚珠轴承安装于机体1的驱动转轴124，伺服电机 121传动连接于驱动转轴124的外侧端，驱动转轴124的内侧设有至少一个油封密封圈；驱动转轴124的内端安装有篮具主动齿轮125，篮具转轴239安装有篮具从动齿轮126，篮具主动齿轮125与篮具从动齿轮126之间活动啮合。
28.具体地，驱动转轴124的外侧设有连接控制装置的离合器123，在横向往复喷淋过程中，避免篮具主动齿轮125与篮具从动齿轮126之间啮合阻挡。
29.这种夹持篮具23的主动活动啮合传动结构，能够保证夹持篮具23进行横向位置调节的同时，实现夹持篮具23的旋转驱动；在实际作业过程中，通过小车驱动机构对夹持篮具23以及玻璃基板进行横向往复驱动，使蚀刻剂更为均匀地喷淋于玻璃基板上；完成一个喷淋角度的周期作业后，活动小车底座21移动至初始位置(即篮具主动齿轮125与篮具从动齿轮126的啮合位置)，并通过接近感应结构进行定位；通过伺服电机121对夹持篮具23以及玻
璃基板进行90度旋转调整，再进行若干次的横向往复喷淋作业；如此分别进行0度、90度、180度以及270度的蚀刻剂喷淋处理，使玻璃基板得到质量更高、更均匀的蚀刻处理。
30.具体地，驱动转轴124的外侧端同轴安装有一被动皮带轮122；伺服电机121 的输出轴安装有一减速机，减速机的输出轴安装有主动皮带轮，主动皮带轮和被动皮带轮122之间套设有传动皮带，被动皮带轮122的直径大于主动皮带轮的直径。
31.具体地，机体1的内部设有两个以上蚀刻腔室10，每个蚀刻腔室10内分别设有用作喷淋不同蚀刻剂的酸液喷淋装置；蚀刻腔室10的底部设有横向导杆结构以及小车驱动机构，横向导杆结构上活动安装有篮具小车装置2，篮具小车装置2包括活动小车底座21、中间篮具支架22以及夹持篮具23，活动小车底座21 活动安装于横向导杆结构，并且传动连接于小车驱动机构；中间篮具支架22固定于活动小车底座21的顶部，各外磁吸定位件221分别固定在中间篮具支架22 的两侧；夹持篮具23通过篮具转轴239旋转安装于中间篮具支架22。
32.具体地，活动小车底座21的底部的两侧分别设有滚轮结构211；横向导杆结构包括两个相互平行设置的光杆11，活动小车底座21通过滚轮结构211滑动安装于光杆11；小车驱动机构包括丝杆驱动结构、链轮驱动结构或皮带轮驱动结构。
33.具体地，蚀刻腔室10的前侧面设有可视化窗口13。
34.具体地，感应块232的外表盖设有一高分子防腐蚀盖帽233。
35.具体地，内磁铁定位件以及外磁吸定位件221分别设有一结构相同的防腐蚀定位结构，防腐蚀定位结构包括一外表面设有外螺纹结构的磁铁套2211，磁铁套 2211的内部掏空成型有用作装配强磁铁2212的套腔，套腔的腔口通过一塞子 2213封闭，塞子2213与磁铁套2211之间焊接。通过磁铁套2211外螺纹结构能够进行内磁铁定位件以及外磁吸定位件221之间的磁吸配合间距，继而调节定位刚性，适用于不同数量以及重量的玻璃基板的作业调整。
36.以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。