一种改进的玻璃蚀刻设备的制作方法

文档序号:31424131发布日期:2022-09-06 20:13阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种改进的玻璃蚀刻设备,包括控制装置、机体(1)、设于机体(1)内部的蚀刻腔室(10)、酸液喷淋装置以及夹持篮具(23),酸液喷淋装置位于夹持篮具(23)的上方,其特征在于:夹持篮具(23)的两侧分别通过一篮具转轴(239)旋转安装于蚀刻腔室(10)的内部,夹持篮具(23)设有角度感应模块,角度感应模块包括多个固定于夹持篮具(23)侧部的感应块(232)以及接近感应传感器,感应块(232)以篮具转轴(239)为中心沿圆周方向间隔分布,接近感应传感器固定于机体(1),并与各感应块(232)接近感应配合,机体(1)还设有篮具旋转驱动装置(12),篮具旋转驱动装置(12)位于蚀刻腔室(10)的外部,夹持篮具(23)通过密封篮具驱动轴结构传动连接篮具旋转驱动装置(12);所述酸液喷淋装置、所述接近感应传感器以及篮具旋转驱动装置(12)分别电连接于所述控制装置。2.根据权利要求1所述的一种改进的玻璃蚀刻设备,其特征在于:所述夹持篮具(23)的侧部设有多个内磁铁定位件,各内磁吸定位件(231)分别以篮具转轴(239)为中心沿圆周方向间隔分布;蚀刻腔室(10)内设有至少一个磁极方向相反的外磁吸定位件(221),在所述接近感应传感器与所述感应块(232)接近感应配合时,外磁吸定位件(221)与相应的内磁铁定位件磁性连接。3.根据权利要求2所述的一种改进的玻璃蚀刻设备,其特征在于:所述内磁吸定位件(231)与所述感应块(232)的数量相同,并且各内磁吸定位件(231)分别与相应的感应快沿径向对齐;内磁吸定位件(231)与所述外磁吸定位件(221)磁吸配合并组合形成磁吸定位组件,磁吸定位组件的设置数量为四组,各磁吸定位组件分别沿所述篮具转轴(239)为中心沿圆周方向间隔分布,相邻两个磁吸定位组件的夹角为90度。4.根据权利要求3所述的一种改进的玻璃蚀刻设备,其特征在于:所述篮具旋转驱动装置(12)包括一固定在所述机体(1)外侧的伺服电机(121);所述密封篮具驱动轴结构包括一通过滚珠轴承安装于机体(1)的驱动转轴(124),伺服电机(121)传动连接于驱动转轴(124)的外侧端,驱动转轴(124)的内侧设有至少一个油封密封圈;驱动转轴(124)的内端安装有篮具主动齿轮(125),所述篮具转轴(239)安装有篮具从动齿轮(126),篮具主动齿轮(125)与篮具从动齿轮(126)之间活动啮合。5.根据权利要求4所述的一种改进的玻璃蚀刻设备,其特征在于:所述驱动转轴(124)的外侧端同轴安装有一被动皮带轮(122);所述伺服电机(121)的输出轴安装有一减速机,减速机的输出轴安装有主动皮带轮,主动皮带轮和被动皮带轮(122)之间套设有传动皮带,被动皮带轮(122)的直径大于主动皮带轮的直径。6.根据权利要求5所述的一种改进的玻璃蚀刻设备,其特征在于:所述机体(1)的内部设有两个以上所述蚀刻腔室(10),每个蚀刻腔室(10)内分别设有用作喷淋不同蚀刻剂的酸液喷淋装置;蚀刻腔室(10)的底部设有横向导杆结构以及小车驱动机构,横向导杆结构上活动安装有篮具小车装置(2),篮具小车装置(2)包括活动小车底座(21)、中间篮具支架(22)以及所述夹持篮具(23),活动小车底座(21)活动安装于横向导杆结构,并且传动连接于小车驱动机构;中间篮具支架(22)固定于活动小车底座(21)的顶部,各所述外磁吸定位件(221)分别固定在中间篮具支架(22)的两侧;夹持篮具(23)通过所述篮具转轴(239)旋转安装于中间篮具支架(22)。7.根据权利要求6所述的一种改进的玻璃蚀刻设备,其特征在于:所述活动小车底座(21)的底部的两侧分别设有滚轮结构(211);所述横向导杆结构包括两个相互平行设置的
光杆(11),活动小车底座(21)通过滚轮结构(211)滑动安装于光杆(11);所述小车驱动机构包括丝杆驱动结构、链轮驱动结构或皮带轮驱动结构。8.根据权利要求1所述的一种改进的玻璃蚀刻设备,其特征在于:所述蚀刻腔室(10)的前侧面设有可视化窗口(13)。9.根据权利要求1所述的一种改进的玻璃蚀刻设备,其特征在于:所述感应块(232)的外表盖设有一高分子防腐蚀盖帽(233)。10.根据权利要求2所述的一种改进的玻璃蚀刻设备,其特征在于:所述内磁铁定位件以及所述外磁吸定位件(221)分别设有一结构相同的防腐蚀定位结构,防腐蚀定位结构包括一外表面设有外螺纹结构的磁铁套(2211),磁铁套(2211)的内部掏空成型有用作装配强磁铁(2212)的套腔,套腔的腔口通过一塞子(2213)封闭,塞子(2213)与磁铁套(2211)之间焊接。

技术总结
本实用新型公开了一种改进的玻璃蚀刻设备,其中,夹持篮具的两侧分别通过一篮具转轴旋转安装于蚀刻腔室的内部,夹持篮具设有角度感应模块,角度感应模块包括多个固定于夹持篮具侧部的感应块以及接近感应传感器,感应块以篮具转轴为中心沿圆周方向间隔分布,接近感应传感器固定于机体,并与各感应块接近感应配合,机体还设有篮具旋转驱动装置,篮具旋转驱动装置位于蚀刻腔室的外部,夹持篮具通过密封篮具驱动轴结构传动连接篮具旋转驱动装置;所述酸液喷淋装置、所述接近感应传感器以及篮具旋转驱动装置分别电连接于所述控制装置。与现有技术相比,实现蚀刻剂由玻璃基板的各个设定角度进行竖直喷淋,避免酸液喷淋不均,提高蚀刻质量。刻质量。刻质量。


技术研发人员:金万龙
受保护的技术使用者:东莞市龙博自动化设备有限公司
技术研发日:2022.02.22
技术公布日:2022/9/5
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