一种金刚石生长过程中的冷却控制方法及相关设备与流程

文档序号:35375928发布日期:2023-09-08 16:05阅读:47来源:国知局
一种金刚石生长过程中的冷却控制方法及相关设备与流程

本发明涉及数据处理,尤其涉及一种金刚石生长过程中的冷却控制方法及相关设备。


背景技术:

1、金刚石由于具有极其优异的物理化学性质,引起了大家的关注。但天然金刚石储量有限,于是人们开发出多种合成金刚石方法,如高温高压法(hpht,high pressure hightemperature)、热丝化学气相沉积法(hfcvd,hot filament chemical vapor deposition)等。其中微波等离子体化学气相沉积法 (mpcvd,microwave plasma chemicalvapordeposition)合成金刚石法由于没有杂质的引入,可以合成出高品质和大面积的金刚石,具有无电极放电污染、沉积速率快、稳定性好等优点,被认为是制备高质量单晶金刚石的最优方法。

2、人造金刚石规模化生产制造过程中,包含多个精细的工序处理与品质控制,金刚石生长培育过程中,金刚石的生长培育需要维持适合的温度,温度过高过低时都会直接影响到金刚石的纯度,而现有技术中常常是通过传感器检测生长设备腔体内的温度,并手动进行调节控制温度,十分不便,当设备内温度异常时,无法及时获知并处理,无法保证金刚石的正常培育。

3、因此,现有技术还有待于改进和发展。


技术实现思路

1、本发明的主要目的在于提供一种金刚石生长过程中的冷却控制方法、系统、终端及计算机可读存储介质,旨在解决现有技术中无法及时获知金刚石生长设备的温度异常情况并进行对应的冷却调节处理,从而导致金刚石无法正常生长的问题。

2、为实现上述目的,本发明提供一种金刚石生长过程中的冷却控制方法,所述金刚石生长过程中的冷却控制方法包括如下步骤:

3、获取冷却调节指令,根据所述冷却调节指令设置冷却参数,并根据所述冷却参数对金刚石生长设备进行冷却处理;

4、获取所述金刚石生长设备的不同部件的温度数据,并根据所述温度数据调节所述冷却参数,控制所述不同部件的温度数据始终处于预设温度范围内;

5、实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理。

6、可选地,所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其中,所述冷却参数包括:冷却水的水冷流量、冷却水的水冷温度以及冷却风的风冷速度;所述获取冷却调节指令,根据所述冷却调节指令设置冷却参数,并根据所述冷却参数对金刚石生长设备进行冷却处理,具体包括:

7、当所述金刚石生长设备的电源开启时,接收上位机下发的冷却调节指令;

8、根据所述冷却调节指令设置冷却水的第一水冷流量、冷却水的第一水冷温度以及冷却风的风冷速度,并根据所述第一水冷流量、所述第一水冷温度以及所述风冷速度对所述金刚石生长设备进行冷却处理。

9、可选地,所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其中,所述获取所述金刚石生长设备的不同部件的温度数据,并根据所述温度数据调节所述冷却参数,控制所述不同部件的温度数据始终处于预设温度范围内,具体包括:

10、获取所述金刚石生长设备的第一部件的第一温度,并根据所述第一水冷流量和所述第一水冷温度对所述第一温度对应的第一部件进行冷却调节;

11、当所述第一温度超过第一预设温度时,控制所述第一水冷流量提升至第二水冷流量,并根据所述第二水冷流量对超过所述第一预设温度的第一部件进行冷却调节,控制所述第一部件的第一温度始终处于第一预设温度范围内;

12、获取所述金刚石生长设备的第二部件的第二温度,并根据所述风冷速度对所述第二温度对应的第二部件进行冷却调节;

13、当所述第二温度超过第二预设温度时,控制所述第一水冷流量、所述第一水冷温度和所述风冷速度同时对超过所述第二预设温度的第二部件进行冷却调节,控制所述第二部件的第二温度始终处于第二预设温度范围内。

14、可选地,所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其中,所述实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理,具体包括:

15、实时检测所述第一水冷流量,当所述第一水冷流量小于预设水冷流量时,判定所述第一水冷流量为异常水冷流量;

16、当判定所述第一水冷流量为异常水冷流量且所述异常水冷流量持续时间达到第一预设时间时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理;

17、实时检测所述第一水冷温度经过所述第一部件和所述第二部件后的第二水冷温度,当所述第二水冷温度大于预设水冷温度时,判定所述第二水冷温度为异常水冷温度;

18、当判定所述第二水冷温度为异常水冷温度且所述异常水冷温度持续时间达到第二预设时间时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理;

19、实时检测所述风冷速度,若所述风冷速度超出预设风冷速度时,判定所述风冷速度为异常风冷速度;

20、当判定所述风冷速度为异常风冷速度且所述异常风冷速度持续时间达到第三预设时间时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理。

21、可选地,所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其中,所述实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,之后包括:

22、当任一所述冷却参数出现异常时,控制出现异常的冷却参数对应的部件进行报警提示。

23、可选地,所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其中,所述实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理,之后还包括:

24、当所述金刚石生长设备工作完成时,获取所述水冷流量的当前流量;

25、控制所述水冷流量保持所述当前流量持续达到第三预设时间后关闭冷却水阀门。

26、可选地,所述实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理,之后还包括:

27、当所述金刚石生长设备工作完成时,控制所述风冷速度持续达到第四预设时间后关闭冷却风阀门。

28、此外,为实现上述目的,本发明还提供一种金刚石生长过程中的冷却控制系统,其中,所述金刚石生长过程中的冷却控制系统包括:

29、冷却参数设置模块,用于获取冷却调节指令,根据所述冷却调节指令设置冷却参数,并根据所述冷却参数对金刚石生长设备进行冷却处理;

30、冷却参数调节模块,用于获取所述金刚石生长设备的不同部件的温度数据,并根据所述温度数据调节所述冷却参数,控制所述不同部件的温度数据始终处于预设温度范围内;

31、异常状态停机模块,用于实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理。

32、此外,为实现上述目的,本发明还提供一种终端,其中,所述终端包括:存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的金刚石生长过程中的冷却控制程序,所述金刚石生长过程中的冷却控制程序被所述处理器执行时实现如上所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法的步骤。

33、此外,为实现上述目的,本发明还提供一种计算机可读存储介质,其中,所述计算机可读存储介质存储有金刚石生长过程中的冷却控制程序,所述金刚石生长过程中的冷却控制程序被处理器执行时实现如上所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法的步骤。

34、本发明中,获取冷却调节指令,根据所述冷却调节指令设置冷却参数,并根据所述冷却参数对金刚石生长设备进行冷却处理;获取所述金刚石生长设备的不同部件的温度数据,并根据所述温度数据调节所述冷却参数,控制所述不同部件的温度数据始终处于预设温度范围内;实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理。本发明通过设置冷却水的水冷参数和冷却风的风冷参数对金刚石生长设备进行冷却处理,并且能够实时监控生长设备不同部件的不同温度,当生长设备出现温度异常时,能够及时调节水冷参数进行温度调节,有利于保证金刚石生长设备的正常运作,同时,也能够通过水冷参数或风冷参数的异常来判断冷却装置是否异常,当出现异常时,能够及时地进行停机处理,保证了金刚石的正常生长。

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