一种金刚石生长过程中的冷却控制方法及相关设备与流程

文档序号:35375928发布日期:2023-09-08 16:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金刚石生长过程中的冷却控制方法,其特征在于,所述金刚石生长过程中的冷却控制方法包括:

2.根据权利要求1所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其特征在于,所述冷却参数包括:冷却水的水冷流量、冷却水的水冷温度以及冷却风的风冷速度;所述获取冷却调节指令,根据所述冷却调节指令设置冷却参数,并根据所述冷却参数对金刚石生长设备进行冷却处理,具体包括:

3.根据权利要求2所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其特征在于,所述获取所述金刚石生长设备的不同部件的温度数据,并根据所述温度数据调节所述冷却参数,控制所述不同部件的温度数据始终处于预设温度范围内,具体包括:

4.根据权利要求3所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其特征在于,所述实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理,具体包括:

5.根据权利要求1所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其特征在于,所述实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,之后包括:

6.根据权利要求2所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其特征在于,所述实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理,之后还包括:

7.根据权利要求2所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法,其特征在于,所述实时检测所述冷却参数,当任一所述冷却参数出现异常时,控制所述金刚石生长设备进行停机处理,之后还包括:

8.一种金刚石生长过程中的冷却控制系统,其特征在于,所述金刚石生长过程中的冷却控制系统包括:

9.一种终端,其特征在于,所述终端包括:存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的金刚石生长过程中的冷却控制程序,所述金刚石生长过程中的冷却控制程序被所述处理器执行时实现如权利要求1-7任一项所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质存储有金刚石生长过程中的冷却控制程序,所述金刚石生长过程中的冷却控制程序被处理器执行时实现如权利要求1-7任一项所述的金刚石生长过程中的冷却控制方法的步骤。


技术总结
本发明公开了一种金刚石生长过程中的冷却控制方法及相关设备,所述方法包括:获取冷却调节指令,根据冷却调节指令设置冷却参数,并根据冷却参数对金刚石生长设备进行冷却处理;获取金刚石生长设备的不同部件的温度数据,并根据温度数据调节冷却参数,控制所述不同部件的温度数据始终处于预设温度范围内;实时检测冷却参数,当任一冷却参数出现异常时,控制金刚石生长设备进行停机处理。本发明通过设置冷却参数来对金刚石培育过程中的生长设备进行冷却调节,能够有效的控制生长设备始终保持在适合温度,同时也可以实时检测冷却参数数据,能够及时的发现冷却参数的异常情况,并自动进行停机处理,保证了金刚石的正常生长。

技术研发人员:全峰,蒋礼,顾亚骏
受保护的技术使用者:深圳优普莱等离子体技术有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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