1.多晶硅的生产系统,其特征在于:包括:
2.如权利要求1所述的多晶硅的生产系统,其特征在于:所述锌单质回流机构包括锌单质储罐(530)和牵引液态锌单质流动的泵。
3.如权利要求2所述的多晶硅的生产系统,其特征在于:所述锌单质回流机构还包括对锌单质储罐(530)进行保温或加热的换热结构。
4.如权利要求1所述的多晶硅的生产系统,其特征在于:还包括储存液态氯化硅的氯化硅储罐(560)和牵引液态氯化硅流动的泵。
5.如权利要求1所述的多晶硅的生产系统,其特征在于:还包括混合设备(550),所述液态氯化硅和液态锌单质在混合设备(550)中液液混合后再输入到还原炉(510)中。
6.如权利要求1所述的多晶硅的生产系统,其特征在于:还包括将固体锌原料熔融为液态锌单质的熔融设备(570)。
7.如权利要求1所述的多晶硅的生产系统,其特征在于:所述还原炉(510)中设有承载晶种的晶床。
8.如权利要求1所述的多晶硅的生产系统,其特征在于:所述氯化硅生产系统包括:
9.如权利要求8所述的多晶硅的生产系统,其特征在于:所述氯化硅生产系统还包括:
10.如权利要求9所述的多晶硅的生产系统,其特征在于:还包括对第一冷凝液和分离液进行精馏处理以提纯液态氯化硅的精馏设备(490)。