1.一种钌化合物,所述钌化合物由下列化学式1表示:
[化学式1]
在所述化学式1中,
R1至R4分别独立地包括H(氢原子)或者C1-5烷基,其中,C1-5烷基为直链或支链的C1-5烷基,
n为0至3的整数。
2.根据权利要求1所述的钌化合物,其中,所述直链或支链的C1-5烷基包括选自由甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、3-戊基及其异构体组成的组中的烷基。
3.根据权利要求1所述的钌化合物,其中,n为0,R1至R4分别独立地包括H或者选自由甲基、乙基、异丙基和叔丁基组成的组中的烷基。
4.根据权利要求1所述的钌化合物,其中,所述钌化合物包括选自由(对异丙基甲苯)(1,3-丁二烯)钌、(对异丙基甲苯)(异戊二烯)钌、(对异丙基甲苯)(2,5-二甲基-1,3-己二烯)钌和(对异丙基甲苯)(1,5-己二烯)钌组成的组中的化合物。
5.一种钌化合物的制备方法,所述钌化合物为根据权利要求1至4中任一项所述的钌化合物,所述制备方法包括:
如下列反应式1所示,在含有碳原子数为5以下的伯醇或仲醇的有机溶剂中,使含有由下列化学式2表示的[RuX2(对异丙基甲苯)]2化合物、由M2CO3表示的碱金属碳酸盐和由下列化学式3表示的二烯烃中性配体的混合物反应,以获得下列化学式1的钌化合物:
[化学式1]
[化学式2]
[化学式3]
[反应式1]
在这些式中,
M包括Li、Na或K,
X包括Cl、Br或I,
R1至R4和n分别与在权利要求1中定义的R1至R4和n相同。
6.根据权利要求5所述的钌化合物的制备方法,其中,所述伯醇或仲醇包括选自由甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、异丁醇、正戊醇、异戊醇及其组合组成的组中的醇。
7.一种用于沉积含钌膜的前体组合物,所述前体组合物包含根据权利要求1至4中任一项所述的钌化合物。
8.一种含钌膜沉积方法,包括利用根据权利要求7所述的用于沉积含钌膜的前体组合物形成含钌膜。
9.根据权利要求8所述的含钌膜沉积方法,其中,通过有机金属化学气相沉积法(MOCVD)或原子层沉积法(ALD)沉积所述膜。