一种高真空样品杆储存装置的制作方法

文档序号:21484242发布日期:2020-07-14 17:09阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高真空样品杆储存装置,包括集成箱,其特征在于:所述集成箱内部一侧设有分子泵(3),所述分子泵(3)的上端抽气口通过滚花螺丝(11)连通有底座(21),所述底座(21)通过顶丝固定在集成箱上,所述底座(21)的顶部还分别叠加设置有多个储存仓中间件(9)和中间连接件(22),其中位于底座(21)顶部最高处的中间连接件(22)上设有储存仓顶盖(8),其中一个所述储存仓中间件(9)通过螺丝固定安装有样品杆储存件(14),所述样品杆储存件(14)一端还设有用于堵塞样品储存件(14)的堵塞杆(6),当堵塞杆(6)从样品杆储存件(14)上取出时,此时样品杆储存件(14)内部可插入样品杆(5),所述底座(21)的一侧通过螺丝固定安装有差分阀(10),所述底座(21)上还通过卡箍固定连接有真空计量规(18),所述底座(21)、多个储存仓中间件(9)、多个中间连接件(22)、样品杆储存件(14)、样品杆(15)、差分阀(10)、真空计量规(18)、储存仓顶盖(8)内部均相连通,所述中间连接件(22)的内部还设有蝶阀,所述蝶阀包括蝶阀旋转轴(26)、阀芯(23)和蝶阀手柄(7),所述蝶阀旋转轴(26)与中间连接件(22)二者转动连接,所述蝶阀旋转轴(26)上通过螺丝与阀芯(23)固定连接,所述蝶阀旋转轴(26)的上还通过机米顶丝与蝶阀手柄(7)相连接,所述蝶阀手柄(7)的一端伸出中间连接件(22)。

2.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置,其特征在于:所述底座(21)的顶部叠加设置存多个储存仓中间件(9)和多个中间连接件(22)的顺序为所述底座(21)的顶部通过贰号顶紧螺丝(27)与其中一个储存仓中间件(9)相紧固,其中一个储存仓中间件(9)的顶部通过壹号顶紧螺丝(17)紧固有其中一个中间连接件(22),其中一个所述中间连接件(22)的顶部还通过壹号顶紧螺丝(17)紧固有另一个储存仓中间件(9),

所述储存仓中间件(9)与中间连接件(22)连接后形成的整体设为一组,且最多可设有五组,最后一组中的所述中间连接件(22)的顶部通过壹号顶紧螺丝(17)与储存仓顶盖(8)相紧固。

3.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置,其特征在于:所述底座(21)和储存仓中间件(9)之间还设有用于对底座(21)和储存仓中间件(9)二者起密封作用的三号密封圈(25),每个所述储存仓中间件(9)和每个中间连接件(22)之间也设有用于对储存仓中间件(9)和中间连接件(22)起密封作用的三号密封圈(25)。

4.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置,其特征在于:

所述蝶阀旋转轴(26)与中间连接件(22)之间还设有用于对蝶阀旋转轴(26)与中间连接件(22)二者起密封作用的两个壹号密封圈(19)。

5.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置,其特征在于:所述蝶阀手柄(7)通过限位销(20)在中间连接件(22)上进行90度位置控制。

6.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置,其特征在于:所述中间连接件(22)外壁上标注有“开”和“关”标识,且蝶阀手柄(7)设在“开”和“关”标识范围内,当蝶阀手柄(7)与“关”标识对应时,此时蝶阀关闭,所述蝶阀通过贰号密封圈(24)与中间连接件(22)的内部进行密封。

7.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置,其特征在于:所述差分阀(10)上还分别连通设有第一差分口(15)和第二差分口(16)。

8.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置,其特征在于:所述储存仓顶盖(8)还通过螺丝紧固有玻璃管固定件(28),且储存仓顶盖(8)和玻璃管固定件(28)之间还设有共同对储存仓顶盖(8)和玻璃管固定件(28)起密封作用的密封圈,所述玻璃管固定件(28)还通过真空密封胶粘接有玻璃试管(12),所述玻璃试管(12)与玻璃管固定件(28)内部与储存仓顶盖(8)三者相连通。

9.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置,其特征在于:所述集成箱的内部还设有对分子泵(3)起到散热作用的散热风扇(13),所述集成箱的外壁上还设有用于对整个装置读数和控制都起到显示作用的显示屏(1),所述集成箱的内部还设有对分子泵(3)起到降低噪音和降低功率作用的变频隔膜泵(2),所述变频隔膜泵(2)输入端与分子泵(3)输出端相连通,所述变频隔膜泵(2)输出端在集成箱上排空设置,所述集成箱上还设有用于对分子泵(3)、变频隔膜泵(2)、显示屏(1)起控制作用的控制面板(4)。


技术总结
本发明公开了一种高真空样品杆储存装置,属于透射电镜(TEM)真空配件技术领域。它包括集成箱,所述集成箱内部一侧设有分子泵,所述分子泵的上端抽气口通过滚花螺丝连通有底座。本发明大大降低了样品杆与大气环境的接触时间,减少样品杆受污染或侵蚀,使样品杆或样品保持在清洁的工作真空环境,进而缩短透射电镜预抽时间,减少样品杆对透射电镜的污染,提高样品杆使用寿命,同时减少电镜透射电镜出故障几率,节约昂贵的维修费用,提高仪器的使用率,另外该装置操作方便、适用性广、人机界面简单易懂、另外采用了蝶阀设计的结构,差分抽气结构可以针对不同的样品杆进行加热和降温实验,各个由储存仓中间件和中间连接件所形成的整体相互独立拆装。

技术研发人员:张政;陈栋;郭云飞;黄勇;衡潘
受保护的技术使用者:上海微纳国际贸易有限公司
技术研发日:2020.03.26
技术公布日:2020.07.14
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