技术特征：
1.一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括移动座（1），其特征在于：所述移动座（1）的底部固定安装有电动推杆（2），所述电动推杆（2）的输出端固定安装有吸取机构（3），所述吸取机构（3）的下方设置有若干个输送辊（4），所述输送辊（4）上设置有输送带（5），所述输送带（5）上固定安装有若干个放置盘（6），所述放置盘（6）上放置有芯片板材，所述吸取机构（3）与放置盘（6）之间设置有定位组件，所述移动座（1）设置在移动机构上。2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：所述移动机构包括移动架（13），所述移动架（13）的内部转动安装有丝杆（14），所述移动架（13）的左侧端面上固定安装有丝杆电机（15），所述丝杆电机（15）的输出端与丝杆（14）固定连接，所述移动座（1）设置在移动架（13）上且与丝杆（14）配合。3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：所述移动架（13）的后端面上固定安装有升降筒（10），所述升降筒（10）的下方设置有底座（8），所述底座（8）上固定安装有定位杆（9），所述升降筒（10）套装在定位杆（9）上，所述定位杆（9）上开设有若干个均匀分布的定位孔（11），所述定位杆（9）与升降筒（10）之间通过螺纹固定连接，所述升降筒（10）与移动架（13）之间设置有对称分布的加强板（12）。4.根据权利要求3所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：所述吸取机构（3）包括安装架（16），所述安装架（16）与电动推杆（2）的输出端固定连接，所述安装架（16）上固定安装有基座（17），所述基座（17）的底部设置有真空吸头（18），所述真空吸头（18）的底部设置有密封头（19），所述基座（17）上设置有吸气管道（20），所述吸气管道（20）与真空吸头（18）相连通。5.根据权利要求4所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：所述定位组件包括安装环（21），所述安装环（21）固定安装在安装架（16）的底部，所述安装环（21）的下端面上固定安装有若干个对称分布的定位座（22），所述放置盘（6）的上端面上设置有若干个对称分布的定位凸起（7），所述定位凸起（7）与定位座（22）一一对应且相适配。
技术总结
本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括移动座，所述移动座的底部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定安装有吸取机构，所述吸取机构的下方设置有若干个输送辊，所述输送辊上设置有输送带，所述输送带上固定安装有若干个放置盘，本实用新型为一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，通过设置定位凸起、升降筒和密封头等，达到了适配性高，方便调节，抓取时定位精度高，抓取效果稳定等效果，解决了目前的机械手传送装置通常位置固定，不便于调节，且吸取基板板材时定位精度较差的问题。板板材时定位精度较差的问题。板板材时定位精度较差的问题。
技术研发人员：刁垒超
受保护的技术使用者：苏州万高半导体科技有限公司
技术研发日：2021.01.28
技术公布日：2021/11/17