技术特征：
1.一种微电子元件加工用转运装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有支撑柱(7)，所述支撑柱(7)的外侧固定连接有步进电机(8)，所述步进电机(8)的输出端固定连接有第一链轮(9)，所述第一链轮(9)的外侧套有传动链条(11)，所述传动链条(11)的内部且远离第一链轮(9)的一侧转动连接有第二链轮(10)，所述第二链轮(10)与传动链条(11)啮合连接，所述第一链轮(9)与传动链条(11)啮合连接，所述传动链条(11)的外侧安装有连接块(15)，所述连接块(15)的外侧固定连接有固定框(20)，所述固定框(20)的内部滑动连接有滑板(21)，所述滑板(21)的外侧安装有四个第二滚筒(22)，所述底座(1)的顶部且位于支撑柱(7)的两侧均固定连接有固定柱(3)，所述固定柱(3)的外侧均滑动连接有滑块(5)，两个所述滑块(5)相靠近的一侧均与固定框(20)固定连接，所述固定柱(3)的顶部均固定连接有支撑板(12)，所述底座(1)的顶部且位于一个固定柱(3)的一侧安装有第二输送平台(17)，所述底座(1)的顶部且位于另一个固定柱(3)的一侧安装有第一输送平台(16)，所述第一输送平台(16)与第二输送平台(17)的内部安装有等距分布的第一滚筒(18)。2.根据权利要求1所述的一种微电子元件加工用转运装置，其特征在于：每两个所述第二滚筒(22)之间均开设有第二限位槽(23)，每两个所述第一滚筒(18)之间均开设有第一限位槽(19)，所述第一滚筒(18)与第二限位槽(23)相配合使用，所述第一限位槽(19)与第二滚筒(22)相配合使用。3.根据权利要求1所述的一种微电子元件加工用转运装置，其特征在于：所述支撑板(12)的顶部安装有延伸至底部的输送箱(13)，所述输送箱(13)的底部安装有挡板。4.根据权利要求1所述的一种微电子元件加工用转运装置，其特征在于：所述第一输送平台(16)与第二输送平台(17)的结构均为倾斜结构，所述底座(1)的顶部安装有配合第二输送平台(17)限位使用的第一连接杆，所述支撑板(12)的底部安装有配合第一输送平台(16)限位使用的第二连接杆。5.根据权利要求1所述的一种微电子元件加工用转运装置，其特征在于：所述固定柱(3)的内部均滑动连接有第一滑杆(4)，所述第一滑杆(4)的一端与滑块(5)固定连接，所述第一滑杆(4)的内部均安装有两个对称分布的缓冲弹簧(6)。6.根据权利要求1所述的一种微电子元件加工用转运装置，其特征在于：所述底座(1)的底部固定连接有对称分布的缓冲底盘(2),所述支撑板(12)的一侧固定连接有照明灯。7.根据权利要求3所述的一种微电子元件加工用转运装置，其特征在于：所述输送箱(13)的外侧固定安装有控制面板(14)，所述步进电机(8)与控制面板(14)电性连接。
技术总结
本实用新型公开了一种微电子元件加工用转运装置，涉及微电子元件加工设备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的外侧固定连接有步进电机，所述步进电机的输出端固定连接有第一链轮，所述第一链轮的外侧套有传动链条，本实用新型有益增效：设置有步进电机、第一链轮、固定框和滑板，实现了自动化转运操作，降低了人工劳动强度，设置有第一滑杆、缓冲弹簧和缓冲底盘，通过在固定柱内部开设有配合滑块使用的第一滑杆，提高了整体运行时的稳定性，通过安装有两个缓冲弹簧起到了防护缓冲效果，实现了对设备的防护，设置有第一滚筒、第一限位槽、第二滚筒和第二限位槽，从而实现了往复转运操作，满足了设备的正常使用。备的正常使用。备的正常使用。
技术研发人员：禹昊喆
受保护的技术使用者：南京曙天集成电路有限公司
技术研发日：2021.12.22
技术公布日：2022/5/15