一种用于半导体薄膜绕卷的连续工作装置的制作方法

1.本发明涉及半导体薄膜加工设备技术领域，具体为一种用于半导体薄膜绕卷的连续工作装置。


背景技术：

2.半导体薄膜作为新材料的一种在社会中发挥着至关重要的作用，半导体薄膜常用作衬底，支撑和改善薄膜特性的作用，薄膜生长在衬底上，衬底材料性质和衬底表面形状对薄膜的特性有很大的影响，因为薄膜一般厚度尺寸在纳米至微米之间，要求衬底表面有超高平整度，在半导体薄膜生产工艺中，需要对半导体薄膜进行绕卷。
3.经检索，专利公告号为cn111302110b公开了一种用于新材料半导体薄膜绕卷的连续工作装置，包括底座，所述夹持装置的下部后侧设置有导向杆，夹持装置的下部开设有半椭圆槽，夹持装置的下部有第一卡块，第一支架的靠里端均连接有第二卡块，第二卡块的里侧端均连接有转轴，转轴的内部连接有l型杆，转轴的里侧端连接有椭圆轮。
4.目前现有的半导体薄膜绕卷装置对卷绕辊进行拆装时，需要工作人员对其进行拆装，拆装步骤繁琐，降低了工作效率，劳动强度大，为此我们提出一种用于半导体薄膜绕卷的连续工作装置来解决现有的问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种用于半导体薄膜绕卷的连续工作装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于半导体薄膜绕卷的连续工作装置，包括顶板，所述顶板的下表面两侧分别安装有第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板的底端均安装在底座的上表面，所述第一侧板和第二侧板外壁上的轴承内均安装有第二连接轴，所述第二连接轴的一端安装有第一连接板，所述第一连接板的另一侧外壁上安装有电动推杆，所述电动推杆的另一端安装有第二连接板，所述第二连接板的另一侧外壁上安装有第三连接轴，所述第三连接轴的外壁上安装有凸块，所述第三连接轴安装在安装孔内，所述凸块安装在凹槽内，所述安装孔开设在第一连接轴的一端外壁中心位置处，所述安装孔的外侧设置有凹槽，所述第一连接轴安装在卷绕辊的两端外壁上，所述顶板的下表面中心位置安装有移动机构，所述移动机构的底部安装有安装板，所述安装板的上表面两侧均安装有液压缸，所述液压缸的底端安装有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的底端贯穿安装板的表面与第三连接板连接，所述第三连接板的底部安装有挂钩。
7.通过一系列结构的配合设置，工作人员对卷绕完成后的卷绕辊进行拆卸时，工作人员启动液压缸，液压伸缩杆伸缩，液压伸缩杆伸缩会带动挂钩做向上或向下的直线运动，工作人员使得挂钩移动到比第一连接轴更低的位置后，工作人员启动移动机构上的第二减速电机，第二减速电机带动转轴进行正转或反转，因转轴外壁上的外螺纹与移动板上的螺纹孔之间为螺纹啮合连接，从而转轴进行正转或反转时会使得移动板在转轴的外壁上做直
线运动，移动板在转轴的外壁上直线运动从而可以间接的带动挂钩做z轴方向的直线运动，工作人员使得挂钩位于第一连接轴的正下方，工作人员启动液压缸，液压伸缩杆伸缩，使得挂钩钩住第一连接轴，工作人员启动电动推杆，电动推杆间接的带动第三连接轴在x轴方向上进行移动，工作人员使得第三连接轴从安装孔内移出，此时卷绕完成后的卷绕辊挂在挂钩上，工作人员启动液压缸，液压伸缩杆带动卷绕辊向下移动，从而从上可知，本发明便于对卷绕辊进行自动拆装，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作效率。
8.优选的，所述凸块为四个，且四个所述凸块呈环状阵列分布，所述凹槽为四个，且四个所述凹槽呈环状阵列分布，所述凸块的外壁与凹槽的槽壁之间为间隙连接，所述第三连接轴的外壁与安装孔的孔壁之间为间隙连接。
9.优选的，所述第一侧板上的第二连接轴的另一端通过第一联轴器与第一减速电机连接，所述第一减速电机安装在支撑板的上表面，所述支撑板安装在第一侧板的一侧外壁上。
10.优选的，所述移动机构包括罩体、第二减速电机、通风窗、第二联轴器、转轴、移动板、螺纹孔、壳体、连接柱和条形槽孔。
11.优选的，所述壳体的一端端壁上安装有罩体，所述罩体的两侧外壁上均设置有通风窗，所述罩体的内部安装有第二减速电机，所述第二减速电机的输出轴通过第二联轴器与转轴连接。
12.优选的，所述转轴的另一端贯穿壳体一端外壁上的轴承并与壳体另一端外壁上的轴承连接，所述转轴的外壁上安装有移动板，所述移动板的端壁中心位置上开设有螺纹孔。
13.优选的，所述转轴的外壁上设置有外螺纹，所述转轴外壁上的外螺纹与移动板上的螺纹孔之间为螺纹啮合连接，所述移动板的一侧外壁上安装有连接柱，所述连接柱的另一端贯穿条形槽孔与安装板连接，且连接柱的外壁与条形槽孔的孔壁之间为间隙连接，所述条形槽孔开设在壳体的一侧外壁中心位置。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过一系列结构的配合设置，工作人员对卷绕完成后的卷绕辊进行拆卸时，工作人员启动液压缸，液压伸缩杆伸缩，液压伸缩杆伸缩会带动挂钩做向上或向下的直线运动，工作人员使得挂钩移动到比第一连接轴更低的位置后，工作人员启动移动机构上的第二减速电机，第二减速电机带动转轴进行正转或反转，因转轴外壁上的外螺纹与移动板上的螺纹孔之间为螺纹啮合连接，从而转轴进行正转或反转时会使得移动板在转轴的外壁上做直线运动，移动板在转轴的外壁上直线运动从而可以间接的带动挂钩做z轴方向的直线运动，工作人员使得挂钩位于第一连接轴的正下方，工作人员启动液压缸，液压伸缩杆伸缩，使得挂钩钩住第一连接轴，工作人员启动电动推杆，电动推杆间接的带动第三连接轴在x轴方向上进行移动，工作人员使得第三连接轴从安装孔内移出，此时卷绕完成后的卷绕辊挂在挂钩上，工作人员启动液压缸，液压伸缩杆带动卷绕辊向下移动，从而从上可知，本发明便于对卷绕辊进行自动拆装，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作效率，实用性强。
附图说明
15.图1为本发明的结构示意图；
16.图2为本发明的内部结构示意图；
17.图3为本发明移动机构的内部结构示意图；
18.图4为本发明第一连接轴的结构示意图；
19.图5为本发明第三连接轴的结构示意图。
20.图中：1、第一侧板；2、第一减速电机；3、第一连接板；4、支撑板；5、电动推杆；6、第二连接板；7、卷绕辊；8、底座；9、液压缸；10、安装板；11、移动机构；1101、罩体；1102、第二减速电机；1103、通风窗；1104、第二联轴器；1105、转轴；1106、移动板；1107、螺纹孔；1108、壳体；1109、连接柱；1110、条形槽孔；12、液压伸缩杆；13、顶板；14、第一连接轴；1401、凹槽；1402、安装孔；15、第三连接板；16、挂钩；17、第二连接轴；18、第二侧板；19、第三连接轴；1901、凸块；20、第一联轴器。
具体实施方式
21.下文结合附图和具体实施例对本发明的技术方案做进一步说明。
22.实施例一
23.如图1-5所示，本发明提出的一种用于半导体薄膜绕卷的连续工作装置，包括顶板13，顶板13的下表面两侧分别安装有第一侧板1和第二侧板18，第一侧板1和第二侧板18的底端均安装在底座8的上表面，第一侧板1和第二侧板18外壁上的轴承内均安装有第二连接轴17，第二连接轴17的一端安装有第一连接板3，第一连接板3的另一侧外壁上安装有电动推杆5，电动推杆5的另一端安装有第二连接板6，第二连接板6的另一侧外壁上安装有第三连接轴19，第三连接轴19的外壁上安装有凸块1901，第三连接轴19安装在安装孔1402内，凸块1901安装在凹槽1401内，安装孔1402开设在第一连接轴14的一端外壁中心位置处，安装孔1402的外侧设置有凹槽1401，第一连接轴14安装在卷绕辊7的两端外壁上，顶板13的下表面中心位置安装有移动机构11，移动机构11的底部安装有安装板10，安装板10的上表面两侧均安装有液压缸9，液压缸9的底端安装有液压伸缩杆12，液压伸缩杆12的底端贯穿安装板10的表面与第三连接板15连接，第三连接板15的底部安装有挂钩16。
24.基于实施例一的用于半导体薄膜绕卷的连续工作装置工作原理是：使用时，接通外部电源，工作人员对卷绕完成后的卷绕辊7进行拆卸时，工作人员启动液压缸9，液压伸缩杆12伸缩，液压伸缩杆12伸缩会带动挂钩16做向上或向下的直线运动，工作人员使得挂钩16移动到比第一连接轴14更低的位置后，工作人员启动移动机构11上的第二减速电机1102，第二减速电机1102带动转轴1105进行正转或反转，因转轴1105外壁上的外螺纹与移动板1106上的螺纹孔1107之间为螺纹啮合连接，从而转轴1105进行正转或反转时会使得移动板1106在转轴1105的外壁上做直线运动，移动板1106在转轴1105的外壁上直线运动从而可以间接的带动挂钩16做z轴方向的直线运动，工作人员使得挂钩16位于第一连接轴14的正下方，工作人员启动液压缸9，液压伸缩杆12伸缩，使得挂钩16钩住第一连接轴14，工作人员启动电动推杆5，电动推杆5间接的带动第三连接轴19在x轴方向上进行移动，工作人员使得第三连接轴19从安装孔1402内移出，此时卷绕完成后的卷绕辊7挂在挂钩16上，工作人员启动液压缸9，液压伸缩杆12带动卷绕辊7向下移动，从而从上可知，本发明便于对卷绕辊7进行自动拆装，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作效率，实用性强。
25.实施例二
26.如图1-5所示，本发明提出的一种用于半导体薄膜绕卷的连续工作装置，相较于实
施例一，本实施例还包括：凸块1901为四个，且四个凸块1901呈环状阵列分布，凹槽1401为四个，且四个凹槽1401呈环状阵列分布，凸块1901的外壁与凹槽1401的槽壁之间为间隙连接，第一连接轴14的外壁与安装孔1402的孔壁之间为间隙连接，第一侧板1上的第二连接轴17的另一端通过第一联轴器20与第一减速电机2连接，第一减速电机2安装在支撑板4的上表面，支撑板4安装在第一侧板1的一侧外壁上，移动机构11包括罩体1101、第二减速电机1102、通风窗1103、第二联轴器1104、转轴1105、移动板1106、螺纹孔1107、壳体1108、连接柱1109和条形槽孔1110，壳体1108的一端端壁上安装有罩体1101，罩体1101的两侧外壁上均设置有通风窗1103，罩体1101的内部安装有第二减速电机1102，第二减速电机1102的输出轴通过第二联轴器1104与转轴1105连接，转轴1105的另一端贯穿壳体1108一端外壁上的轴承并与壳体1108另一端外壁上的轴承连接，转轴1105的外壁上安装有移动板1106，移动板1106的端壁中心位置上开设有螺纹孔1107，转轴1105的外壁上设置有外螺纹，转轴1105外壁上的外螺纹与移动板1106上的螺纹孔1107之间为螺纹啮合连接，移动板1106的一侧外壁上安装有连接柱1109，连接柱1109的另一端贯穿条形槽孔1110与安装板10连接，且连接柱1109的外壁与条形槽孔1110的孔壁之间为间隙连接，条形槽孔1110开设在壳体1108的一侧外壁中心位置。
27.本实施例中，因凸块1901的外壁与凹槽1401的槽壁之间为间隙连接，第三连接轴19的外壁与安装孔1402的孔壁之间为间隙连接，从而便于将第一连接轴14从安装孔1402内移出，第一减速电机2、第一联轴器20等一系列结构的配合设置，第一减速电机2启动可以间接的带动卷绕辊7进行转动，因连接柱1109的外壁与条形槽孔1110的孔壁之间为间隙连接，从而可以对移动板1106的移动起到限位导向的作用，避免了移动板1106会随着转轴1105的转动而转动的情况发生。
28.上述具体实施例仅仅是本发明的几种优选的实施例，基于本发明的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。