技术特征：
1.一种张力调节机构，其特征在于，包括：装置主体、驱动器、隔膜与两根转动辊；所述驱动器设置于所述装置主体上；两根所述转动辊间隔设置且绕所述驱动器可转动设置于所述装置主体上；两根所述转动辊均与所述驱动器传动连接；所述隔膜铺设于所述装置主体上，且两侧分别与两根所述转动辊抵接。2.根据权利要求1所述的张力调节机构，其特征在于，两根所述转动辊和所述驱动器位于同一直线上。3.根据权利要求2所述的张力调节机构，其特征在于，两根所述转动辊关于所述驱动器对称设置。4.根据权利要求1-3任一项所述的张力调节机构，其特征在于，两根所述转动辊之间固定连接有传动板；所述驱动器传动连接所述传动板的中部，且通过所述传动板与两根所述转动辊传动连接。5.根据权利要求1所述的张力调节机构，其特征在于，还包括两根固定辊；两根所述固定辊设置于所述装置主体上；所述隔膜的两侧分别与两根所述固定辊抵接。6.根据权利要求5所述的张力调节机构，其特征在于，两根所述固定辊关于所述驱动器对称设置，且与两根所述转动辊呈十字分布。7.根据权利要求1所述的张力调节机构，其特征在于，所述驱动器为伺服电机。
技术总结
本申请公开了一种张力调节机构，包括：装置主体、驱动器、隔膜与两根转动辊；所述驱动器设置于所述装置主体上；两根所述转动辊间隔设置且绕所述驱动器可转动设置于所述装置主体上；两根所述转动辊均与所述驱动器传动连接；所述隔膜铺设于所述装置主体上，且两侧分别与两根所述转动辊抵接。通过驱动器可以带动两根转动辊绕驱动器转动，进而同时对隔膜进行拉扯，相比于单根杆摆动的方式可以缩小整体的体积并提高对隔膜张力调节的效率。积并提高对隔膜张力调节的效率。积并提高对隔膜张力调节的效率。
技术研发人员：陶雄兵 赖程飞 种海峰
受保护的技术使用者：苏州市盛雄半导体设备有限公司
技术研发日：2022.04.18
技术公布日：2022/7/28