1.一种输送结构，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的一种输送结构，其特征在于：所述滑槽(412)和所述倾斜面(411)交接的一端设置有敞口(413)，所述滑槽(412)靠近所述敞口(413)的一端设置有连通的外定位槽(414)，所述滑槽(412)靠近所述第一缓冲件(42)的一端设置有连通的内定位槽(415)。
3.如权利要求2所述的一种输送结构，其特征在于：所述外定位槽(414)和所述外定位块(52)限位滑动配合，且所述外定位槽(414)的槽宽小于所述内定位块(51)的宽度。
4.如权利要求2所述的一种输送结构，其特征在于：所述内定位槽(415)和所述内定位块(51)限位滑动配合，且所述内定位槽(415)远离所述第一缓冲件(42)的一侧呈倾斜设计。
5.如权利要求1所述的一种输送结构，其特征在于：所述第一缓冲件(42)包含缓冲板(421)、第一缓冲杆(422)、第一缓冲弹簧(423)和滑筒(424)，所述缓冲板(421)限位滑动于所述滑槽(412)，所述第一缓冲杆(422)的一端固接于所述缓冲板(421)，所述第一缓冲杆(422)的另一端限位插接于所述滑筒(424)，所述第一缓冲弹簧(423)设置于所述滑筒(424)内，且所述第一缓冲弹簧(423)分别和所述第一缓冲杆(422)以及所述滑筒(424)抵接，所述滑筒(424)远离所述第一缓冲杆(422)的一端固接于所述滑槽(412)的侧壁。
6.如权利要求1所述的一种输送结构，其特征在于：所述内定位块(51)上固接有滑杆(511)，所述滑杆(511)限位插接于所述载物板(5)的侧壁，所述滑杆(511)上套接有第二缓冲弹簧(512)，所述第二缓冲弹簧(512)位于所述滑杆(511)延伸出所述载物板(5)外侧的一端，所述滑杆(511)两侧对称固接有定位杆(513)，所述定位杆(513)插接于所述载物板(5)。
7.一种半导体轨道装置，其特征在于，包括权利要求1-6任意一项所述的一种输送结构，还包含：
8.如权利要求7所述的一种半导体轨道装置，其特征在于：所述承托板(4)固接于所述y轴轨道(22)的位移端。
9.如权利要求7所述的一种半导体轨道装置，其特征在于：所述双向轨道(23)的竖向位移端设置有真空吸头(3)，所述真空吸头(3)和所述半导体晶圆相适配。
10.如权利要求9所述的一种半导体轨道装置，其特征在于：所述真空吸头(3)和所述双向轨道(23)的安装处设置有视觉传感器(31)。