一种移栽变距真空传输装置的制作方法

文档序号:39840587发布日期:2024-11-01 19:17阅读:22来源:国知局
一种移栽变距真空传输装置的制作方法

本发明涉及硅片加工,具体为一种移栽变距真空传输装置。


背景技术:

1、硅片作为重要的工业原材料,被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中,在进行硅片加工时,通常需要对硅片进行多道工序的处理,为了提高对硅片的加工效率通常都会用到相应的移栽变距真空传输装置来对硅片进行自动输送。

2、如公告日为:2021-06-04,名称为:负压式硅片传送流线及硅片检测分选设备。公告号为:cn112908915a的中国专利,其中包括主传送流线、负压顶升装置以及分传送流线;主传送流线包括若干传送单元,各传送单元沿输送方向依次间隔设置,任意相邻的两个传送单元之间设置有负压顶升装置,任一负压顶升装置的两侧设置有分传送流线;负压顶升装置包括:负压吸附机构、顶升机构以及输送机构,负压吸附机构由顶升机构驱动进行升降运动,输送机构将由负压吸附机构吸附的硅片传送至一侧的分传送流线处。

3、其中上述现有技术中存在以下技术问题:现有的硅片传输装置在使用时为了防止硅片输送时发生掉落,通过设置吸附结构,然而输送带在对硅片进行输送时,不便于对附着在输送带表面的杂质进行清理,从而导致硅片与输送带之间摩擦而导致表面磨损,且一般的清理结构不管是输送带是否需要清洁都是一直与输送带处于紧密贴合状态,这样输送带在传动时因与清理结构之间的紧密接触而导致摩擦阻力较大,进而使得电机的负荷增大,在同等功率下输送带对硅片的输送速度变慢。

4、所以我们提出了一种移栽变距真空传输装置,以便于解决上述中提出的问题。


技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种移栽变距真空传输装置,以解决上述背景技术提出的目前市场上现有的硅片传输装置在使用时为了防止硅片输送时发生掉落,通过设置吸附结构,然而输送带在对硅片进行输送时,不便于对附着在输送带表面的杂质进行清理,从而导致硅片与输送带之间摩擦而导致表面磨损,且一般的清理结构不管是输送带是否需要清洁都是一直与输送带处于紧密贴合状态,这样输送带在传动时因与清理结构之间的紧密接触而导致摩擦阻力较大,进而使得电机的负荷增大,在同等功率下输送带对硅片的输送速度变慢的问题。

2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种移栽变距真空传输装置,包括底座,所述底座的上端安装有第一直线驱动模组,且第一直线驱动模组上安装有支撑板,所述支撑板的一侧安装有导向架,且支撑板的另一侧第二直线驱动模组,所述第二直线驱动模组上安装有第一输送机,且导向架上固定安装有第二输送机;

3、还包括:

4、所述第一输送机和第二输送机上均安装有电容传感器,且第一输送机和第二输送机上均安装有对皮带进行自洁的减阻清理部件,该减阻清理部件在对皮带进行清理时,能够减小与皮带之间的接触面积,使电机在同等功率下维持正常速度传输硅片。

5、优选的,所述第一输送机和第二输送机的结构相同,且第一输送机包括定位架、衔接平台、传送皮带、进气管口、主通槽、吸气槽、吸附孔和活动板;

6、所述定位架的上端固定安装有衔接平台,且衔接平台的侧边安装有导辊,该导辊用于传送皮带支撑导向,所述导辊的外侧套设有传送皮带,所述衔接平台的侧边安装有进气管口,进气管口与外界抽气泵链接,且进气管口与主通槽相互连通,所述主通槽与吸气槽相互连接,所述主通槽与吸气槽均开设在衔接平台上,所述传送皮带上开设有吸附孔,且衔接平台上安装有活动板。

7、通过采用上述技术方案,当抽气泵进行抽气时,从而能够将主通槽和吸气槽内部的气流抽出,使其主通槽和吸气槽内部形成负压状态。

8、优选的,所述传送皮带设置为弹性材质,且传送皮带上均匀分布有多个吸附孔,且传送皮带上的吸附孔在传送到衔接平台的正上方时,吸附孔与衔接平台上的吸气槽位于同一直线上。

9、通过采用上述技术方案,通过传送皮带贴合衔接平台进行传送时,在吸气槽内部形成负压后,能够通过吸附孔对传送皮带上的硅片进行吸附。

10、优选的,所述活动板关于衔接平台的横向中轴线对称设置,且活动板能够在衔接平台上滑动。

11、通过采用上述技术方案,通过活动板在衔接平台上的滑动,从而能够在对传送皮带进行清洁时,减小与传送皮带之间的接触面积。

12、优选的,所述减阻清理部件包括衔接杆、通管、控制阀、辅助弹簧、橡胶块、分流管、导通柱、卡接罩、中心块、复位弹簧、清洁刷杆、传动齿轮、拨杆和引导齿条;

13、所述衔接杆固定安装在活动板的下端,且衔接杆的下端插入到通管的内部,所述通管的底部安装有控制阀,且衔接杆通过辅助弹簧和通管的内部相互连接,所述通管的下端插入到主通槽的内部,所述活动板和衔接平台之间固定安装有橡胶块,且橡胶块通过分流管和导通柱相互连接,所述导通柱固定安装在卡接罩的中部,且卡接罩固定在输送机的底部,所述卡接罩的下端中部设置有中心块,且中心块的上端中部杆体插入到导通柱的内部,所述导通柱的内部通过复位弹簧和中心块的内部相互连接,且中心块的侧边安装有清洁刷杆,所述清洁刷杆的中部杆体键连接有传动齿轮,所述传动齿轮的侧边设置有引导齿条,且引导齿条固定在卡接罩的下端,所述中心块的下端固定连接有拨杆。

14、通过采用上述技术方案,通过辅助弹簧的设置能够使其在通管内部移动后的衔接杆复位。

15、优选的,所述衔接杆的下端周向通过固定的密封圈与通管构成无缝滑动连接结构,且通管的下端设置为开口结构,并且通管上的控制阀打开后,其内部能够与主通槽相互连通。

16、通过采用上述技术方案,当控制阀打开后,主通槽的内部抽气形成负压后能够使得衔接杆向下移动。

17、优选的,所述橡胶块的内部设置为空心结构,且橡胶块内部的气流能够通过分流管进入到导通柱的内部,并且导通柱和卡接罩为垂直分布。

18、通过采用上述技术方案,当橡胶块受到外界压力后能够使其内部的气流通过分流管进入到导通柱的内部。

19、优选的,所述中心块的中部杆体端部周向通过固定的密封圈与导通柱构成无缝滑动连接结构,且中心块上对称分布有两个清洁刷杆,并且清洁刷杆的周向均匀分布有多个弹性刷毛。

20、通过采用上述技术方案,通过中心块上的杆体沿着导通柱的上方进行移动,从而能够使得侧边的清洁刷杆与传送皮带紧密贴合。

21、优选的,所述清洁刷杆和中心块为转动连接,且清洁刷杆上键连接的传动齿轮和引导齿条构成啮合传动结构。

22、通过采用上述技术方案,当清洁刷杆向上移动后能够通过引导齿条使得传动齿轮进行转动,利用清洁刷杆转动后,其上刷毛与拨杆的接触和脱离,从而能够将附着在弹性刷毛上的杂质抖落。

23、与现有技术相比,本发明的有益效果是:该移栽变距真空传输装置,能够在输送带传输时,方便对附着在输送带表面的杂质进行有效清理,同时利用可伸缩移动调节的清理结构仅在输送带需要清理时与输送带接触,并且在清理结构与输送带紧密接触时,减少输送带支架与输送带之间的接触面积,使其电机的负荷能够维持在正常水平,在同等功率下保证输送带对硅片的输送速度;

24、1、设置有吸附孔,在电容传感器检测到硅片到位情况后,通过抽气泵以及进气管口对主通槽和吸气槽的内部进行抽气,此时传送皮带上的吸附孔即可通过负压对硅片进行稳定吸附,避免硅片因惯性而出现掉落;

25、2、设置有橡胶块,当控制阀打开后,因通管和主通槽的内部相互连通,因此主通槽内部形成负压后,从而能够吸引通管内部的衔接杆向下移动,衔接杆移动后能够使得活动板同步下移,而活动板向下移动后能够对橡胶块进行挤压,使其橡胶块内部的气流通过分流管进入到导通柱的内部,利用导通柱内部气流的增多能够推动中心杆上的杆体以及中心块同步上移,由此即可使得中心块侧边的清洁刷杆与传送皮带紧密贴合,在传送皮带进行工作时,即可利用清洁刷杆对传送皮带进行自洁;

26、进一步的,清洁刷杆虽然与传送皮带紧密接触后,增大了传送皮带的阻力但与传送皮带在初始状态下相互贴合的活动板则与传送皮带相互脱离,从而减小了与传送皮带之间的接触面积,进而能够使其传送皮带传动所送到的阻力维持在正常范围,不会使得电机的负荷增大,在同等功率下保证输送带对硅片的输送速度;

27、3、设置有拨杆,当中心块向上移动后能够使得清洁刷杆进行同步移动,清洁刷杆移动后通过传动齿轮和引导齿条的啮合连接,能够使得清洁刷杆进行同步旋转,利用清洁刷杆旋转后其上刷毛与拨杆的接触和脱离,即可将附着在清洁刷杆上的杂质抖落。

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