一种移栽变距真空传输装置的制作方法

文档序号:39840587发布日期:2024-11-01 19:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种移栽变距真空传输装置,包括底座(1),所述底座(1)的上端安装有第一直线驱动模组(2),且第一直线驱动模组(2)上安装有支撑板(3),所述支撑板(3)的一侧安装有导向架(4),且支撑板(3)的另一侧第二直线驱动模组(5),所述第二直线驱动模组(5)上安装有第一输送机(6),且导向架(4)上固定安装有第二输送机(7);

2.根据权利要求1所述的一种移栽变距真空传输装置,其特征在于:所述第一输送机(6)和第二输送机(7)的结构相同,且第一输送机(6)包括定位架(601)、衔接平台(602)、传送皮带(603)、进气管口(604)、主通槽(605)、吸气槽(606)、吸附孔(607)和活动板(608);

3.根据权利要求2所述的一种移栽变距真空传输装置,其特征在于:所述传送皮带(603)设置为弹性材质,且传送皮带(603)上均匀分布有多个吸附孔(607),且传送皮带(603)上的吸附孔(607)在传送到衔接平台(602)的正上方时,吸附孔(607)与衔接平台(602)上的吸气槽(606)位于同一直线上。

4.根据权利要求3所述的一种移栽变距真空传输装置,其特征在于:所述活动板(608)关于衔接平台(602)的横向中轴线对称设置,且活动板(608)能够在衔接平台(602)上滑动。

5.根据权利要求2所述的一种移栽变距真空传输装置,其特征在于:所述减阻清理部件(9)包括衔接杆(901)、通管(902)、控制阀(903)、辅助弹簧(904)、橡胶块(905)、分流管(906)、导通柱(907)、卡接罩(908)、中心块(909)、复位弹簧(9010)、清洁刷杆(9011)、传动齿轮(9012)、拨杆(9013)和引导齿条(9014);

6.根据权利要求5所述的一种移栽变距真空传输装置,其特征在于:所述衔接杆(901)的下端周向通过固定的密封圈与通管(902)构成无缝滑动连接结构,且通管(902)的下端设置为开口结构,并且通管(902)上的控制阀(903)打开后,其内部能够与主通槽(605)相互连通。

7.根据权利要求5所述的一种移栽变距真空传输装置,其特征在于:所述橡胶块(905)的内部设置为空心结构,且橡胶块(905)内部的气流能够通过分流管(906)进入到导通柱(907)的内部,并且导通柱(907)和卡接罩(908)为垂直分布。

8.根据权利要求5所述的一种移栽变距真空传输装置,其特征在于:所述中心块(909)的中部杆体端部周向通过固定的密封圈与导通柱(907)构成无缝滑动连接结构,且中心块(909)上对称分布有两个清洁刷杆(9011),并且清洁刷杆(9011)的周向均匀分布有多个弹性刷毛。

9.根据权利要求5所述的一种移栽变距真空传输装置,其特征在于:所述清洁刷杆(9011)和中心块(909)为转动连接,且清洁刷杆(9011)上键连接的传动齿轮(9012)和引导齿条(9014)构成啮合传动结构。


技术总结
本发明公开了一种移栽变距真空传输装置,属于硅片加工技术领域,本发明包括底座,所述底座的上端安装有第一直线驱动模组,且第一直线驱动模组上安装有支撑板,所述支撑板的一侧安装有导向架,且支撑板的另一侧第二直线驱动模组;还包括:所述第一输送机和第二输送机上均安装有电容传感器。该移栽变距真空传输装置,能够在输送带传输时,方便对附着在输送带表面的杂质进行有效清理,同时利用可伸缩移动调节的清理结构仅在输送带需要清理时与输送带接触,并且在清理结构与输送带紧密接触时,减少输送带支架与输送带之间的接触面积,使其电机的负荷能够维持在正常水平,在同等功率下保证输送带对硅片的输送速度。

技术研发人员:宋峰,屈贺光,卜丽江,刘思雨
受保护的技术使用者:苏州八零七智能科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/10/31
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