技术总结
本发明公开了一种镁铝合金冷却板，包括上板和下板，所述上板包括位于上板内表面两端的上板冷却液进口槽、上板冷却液出口槽以及位于上板冷却液进口槽和上板冷却液出口槽之间的上板冷却槽，下板内表面设有与上板冷却液进口槽相匹配的下板冷却液进口槽，与上板冷却液出口槽相匹配的下板冷却液出口槽，与上板冷却槽相匹配的下板冷却槽，与缓冲槽Ⅰ相匹配的缓冲槽Ⅲ，与缓冲槽Ⅱ相匹配的缓冲槽Ⅳ，与环形焊接部Ⅰ相匹配的环形焊接部Ⅱ，上板和下板之间通过环形焊接部Ⅰ，焊接条形部Ⅰ，焊接点Ⅰ，环形焊接部Ⅱ，焊接条形部Ⅱ和焊接点Ⅱ焊接在一起。本发明可有效地散发在溅射期间产生的热，提高产品的性能。
技术研发人员：李恩鸿;李海旭;田绍洁
受保护的技术使用者：大连圣洁真空技术开发有限公司开发区分公司
文档号码：201611073577
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2017.03.22