一种太阳能薄膜金属靶材专用真空熔炼炉的制作方法

文档序号:15476352发布日期:2018-09-18 21:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种太阳能薄膜金属靶材专用真空熔炼炉,包括炉体(100)、搅拌筒(200),所述搅拌筒(200)设于所述炉体(100)内部,所述炉体(100)与真空管(106)连通,所述炉体(100)顶部设有伸缩气缸(101),所述伸缩气缸(101)的活动端固定连接有连接臂(102),所述连接臂(102)往下延伸至所述炉体(100)的内底部,所述连接臂(102)远离所述气缸的端部固定连接所述搅拌筒(200)的底侧壁;所述连接臂(102)内贯穿设有用于输入精炼药剂的上料管(300);所述搅拌筒(200)的底侧壁及圆周侧壁设有导流孔(202);所述搅拌筒(200)的底侧壁内设有发热板(201),所述炉体(100)的底侧壁设有用于加热所述发热板(201)的感应线圈(105)。

2.如权利要求1所述的太阳能薄膜金属靶材专用真空熔炼炉,其特征在于,所述上料管(300)的进料端往上延伸出所述炉体(100)外、且贯穿所述连接臂(102)的侧壁,所述上料管(300)进料端的端部设有密封阀门(301),所述上料管(300)的出料端(305)往下延伸进所述炉体(100)内、且贯穿所述连接臂(102)侧壁。

3.如权利要求2所述的太阳能薄膜金属靶材专用真空熔炼炉,其特征在于,所述上料管(300)的出料端(305)位于所述搅拌筒(200)上方。

4.如权利要求2所述的太阳能薄膜金属靶材专用真空熔炼炉,其特征在于,所述上料管(300)的出料端(305)连通有横向管(307),所述横向管(307)的两端贯穿所述连接臂(102)的两侧壁。

5.如权利要求4所述的太阳能薄膜金属靶材专用真空熔炼炉,其特征在于,所述上料管(300)包括有弯折部,所述弯折部位于所述上料管(300)的进料端与所述上料管(300)的出料端(305)之间,所述弯折部包括第一竖管(308)、第二竖管(309)、第一横管(302),所述第一横管(302)两端分别连接所述第一竖管(308)、第二竖管(309),所述第一横管(302)上设有下凹的储药位(303),所述储药位(303)设于所述第一竖管(308)的管口下方;所述第一竖管(308)邻近所述上料管(300)的进料端,所述第二竖管(309)邻近所述上料管(300)的出料端(305)。

6.如权利要求5所述的太阳能薄膜金属靶材专用真空熔炼炉,其特征在于,所述横向管(307)内设有分料块(304),所述分料块(304)设于上料管(300)的出料端(305)正下方。

7.如权利要求6所述的太阳能薄膜金属靶材专用真空熔炼炉,其特征在于,所述分料块(304)与所述上料管(300)的出料端(305)相对的侧面呈凸弧面状。

8.如权利要求1所述的太阳能薄膜金属靶材专用真空熔炼炉,其特征在于,所述炉体(100)上部设有进料口(103),所述进料口(103)位于所述搅拌筒(200)竖直方向的上方,所述炉体(100)的底部设有出料口(104)。

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