基板烘烤设备的制作方法

1.本实用新型涉及一种烘烤设备，特别是涉及一种用以烘烤基板的基板烘烤设备。


背景技术：

2.现有基板烘烤设备的一烘烤箱通常设计成热气流由一进气侧流入一烘烤腔室内对所述烘烤腔室内的多个电路基板进行烘烤，随后，所述热气流再由一出气侧排出所述烘烤腔室。
3.所述烘烤箱的单面进气及单面出气的方式，使得每一个所述电路基板靠近所述出气侧部位的温度比起靠近所述进气侧部位的温度低，导致各所述电路基板的烘烤温度均匀性差，从而影响烘烤的质量。


技术实现要素：

4.因此，本实用新型的其中一目的，在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的基板烘烤设备。
5.本实用新型的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本实用新型提出的基板烘烤设备包含烘烤箱，及进气装置，所述烘烤箱界定烘烤腔室，所述烘烤箱包括至少两个进气侧及至少一出气侧，所述进气侧及所述出气侧分别位于所述烘烤腔室的三个相异侧，所述进气装置设置于所述烘烤箱且至少连通于所述进气侧，所述进气装置用以产生热气流并能使所述热气流经由所述进气侧流入所述烘烤腔室内。
6.本实用新型的基板烘烤设备，所述烘烤箱包括三个进气侧，所述进气侧分别为第一进气侧、第二进气侧，及第三进气侧，所述第一进气侧与所述出气侧分别位于所述烘烤腔室的两相反侧，所述第二进气侧与所述第三进气侧分别位于所述烘烤腔室的另两相反侧，所述进气装置连通所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述第三进气侧，所述进气装置所产生的所述热气流能经由所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述第三进气侧流入所述烘烤腔室内。
7.本实用新型的基板烘烤设备，所述出气侧、所述烘烤腔室及所述第一进气侧沿第一方向排列，所述第三进气侧、所述烘烤腔室及所述第二进气侧沿垂直于所述第一方向的第二方向排列，所述烘烤箱还包括两个分别位于所述烘烤腔室的另两相反侧的侧板，所述侧板沿第三方向相间隔，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向，所述进气装置包括导流外壳、第一加热器、第一鼓风机，及第二鼓风机，所述导流外壳包覆住所述第一进气侧、所述第二进气侧、所述第三进气侧及所述侧板，所述第一加热器设置于所述导流外壳内用以产生热气，所述第一鼓风机包含设置于所述导流外壳内且位于其中一个所述侧板的外侧的第一鼓风扇，所述第一鼓风扇用以产生流向所述第一进气侧的气流，所述第二鼓风机包含设置于所述导流外壳内且位于其中另一个所述侧板的外侧的第二鼓风扇，所述第二鼓风扇用以产生流向所述第二进气侧及所述第三进气侧的气流。
8.本实用新型的基板烘烤设备，所述导流外壳界定供所述第一加热器容置并与所述
第二进气侧连通的加热腔室、供所述第一鼓风扇容置并与所述加热腔室连通的第一容室、连通于所述第一鼓风扇与所述第一进气侧之间的第一导流道、供所述第二鼓风扇容置的第二容室、连通于所述第二鼓风扇与所述加热腔室之间的第二导流道、连通于所述第二鼓风扇与所述第三进气侧之间的第三导流道、与所述第一容室连通的第一回流孔，及与所述第二容室连通的第二回流孔，所述烘烤箱还界定连通于所述出气侧、所述第一回流孔及所述第二回流孔之间的回流道。
9.本实用新型的基板烘烤设备，所述进气装置包括设置于所述第三导流道内且邻近于所述第三进气侧的外侧的第二加热器。
10.本实用新型的基板烘烤设备，所述第一进气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述第一导流道之间的第一进气孔，所述第二进气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述加热腔室之间的第二进气孔，所述第三进气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述第三导流道之间的第三进气孔，所述出气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述回流道之间的出气孔。
11.本实用新型的基板烘烤设备，所述烘烤箱包括箱壳、设置于所述箱壳内的内炉，及设置于所述箱壳的门，所述箱壳界定与所述烘烤腔室位置相对应的开口，所述内炉具有所述烘烤腔室、所述第一进气侧、所述第二进气侧、所述第三进气侧及所述侧板，所述门具有用以控制所述开口启闭的门板，及设置于所述门板背面且对应于所述烘烤腔室的导流壳，所述导流壳具有所述出气侧，所述导流壳与所述门板共同界定出所述回流道。
12.本实用新型的基板烘烤设备，所述导流壳具有与所述门板相间隔且界定出所述出气侧的端壁，及连接于所述端壁外周围与所述门板之间的围绕壁，所述门板、所述端壁及所述围绕壁共同界定出与所述出气侧连通的分流空间，所述围绕壁形成有连通于所述分流空间与所述第一回流孔之间的第一排气孔，及连通于所述分流空间与所述第二回流孔之间的第二排气孔，所述分流空间、所述第一排气孔及所述第二排气孔共同构成所述回流道。
13.本实用新型的基板烘烤设备，所述烘烤箱包括内炉，所述内炉具有所述烘烤腔室及所述进气侧，所述进气侧分别位于所述烘烤腔室的两相反侧，所述进气装置包括导流外壳、第一加热器，及第二加热器，所述导流外壳包覆住所述进气侧，所述第一加热器及所述第二加热器设置于所述导流外壳内且分别邻近于所述进气侧的外侧用以产生热气。
14.本实用新型的基板烘烤设备，所述烘烤箱包括两个进气侧及两个出气侧，所述进气侧分别为第一进气侧及第二进气侧，所述第一进气侧与所述第二进气侧分别位于所述烘烤腔室的两相反侧，所述出气侧分别为第一出气侧及第二出气侧，所述第一出气侧与所述第二出气侧分别位于所述烘烤腔室的另两相反侧，所述进气装置连通所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述第二出气侧，所述进气装置所产生的所述热气流能经由所述第一进气侧及所述第二进气侧流入所述烘烤腔室内。
15.本实用新型的基板烘烤设备，所述第一出气侧、所述烘烤腔室及所述第二出气侧沿第一方向排列，所述第二进气侧、所述烘烤腔室及所述第一进气侧沿垂直于所述第一方向的第二方向排列，所述烘烤箱还包括两个分别位于所述烘烤腔室的另两相反侧的侧板，所述侧板沿第三方向相间隔，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向，所述进气装置包括导流外壳、第一加热器、第一鼓风机，及第二鼓风机，所述导流外壳包覆住所述第二出气侧、所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述侧板，所述第一加热器设置于所述导
流外壳内用以产生热气，所述第一鼓风机包含设置于所述导流外壳内且位于其中一个所述侧板的外侧的第一鼓风扇，所述第一鼓风扇用以产生流向所述导流外壳外的气流，所述第二鼓风机包含设置于所述导流外壳内且位于其中另一个所述侧板的外侧的第二鼓风扇，所述第二鼓风扇用以产生流向所述第一进气侧及所述第二进气侧的气流。
16.本实用新型的基板烘烤设备，所述导流外壳界定供所述第一加热器容置并与所述第一进气侧连通的加热腔室、供所述第一鼓风扇容置的第一容室、连通于所述第一容室与所述第二出气侧之间的第一导流道、供所述第二鼓风扇容置的第二容室、连通于所述第二鼓风扇与所述加热腔室之间的第二导流道、连通于所述第二鼓风扇与所述第二进气侧之间的第三导流道，及与所述第二容室连通的回流孔，所述烘烤箱还界定连通于所述第一出气侧及所述回流孔之间的回流道。
17.本实用新型的基板烘烤设备，所述进气装置包括设置于所述第三导流道内且邻近于所述第二进气侧的外侧的第二加热器。
18.本实用新型的基板烘烤设备，所述第一进气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述加热腔室之间的第一进气孔，所述第二进气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述第三导流道之间的第二进气孔，所述第一出气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述回流道之间的第一出气孔，所述第二出气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述第一导流道之间的第二出气孔。
19.本实用新型的基板烘烤设备，所述烘烤箱包括箱壳、设置于所述箱壳内的内炉，及设置于所述箱壳的门，所述箱壳界定与所述烘烤腔室位置相对应的开口，所述内炉具有所述烘烤腔室、所述第二出气侧、所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述侧板，所述门具有用以控制所述开口启闭的门板，及设置于所述门板背面且对应于所述烘烤腔室的导流壳，所述导流壳具有所述第一出气侧，所述导流壳与所述门板共同界定出所述回流道。
20.本实用新型的基板烘烤设备，所述导流壳具有与所述门板相间隔且界定出所述第一出气侧的端壁，及连接于所述端壁外周围与所述门板之间的围绕壁，所述门板、所述端壁及所述围绕壁共同界定出与所述第一出气侧连通的分流空间，所述围绕壁形成有连通于所述分流空间与所述回流孔之间的排气孔，所述分流空间及所述排气孔共同构成所述回流道。
21.本实用新型的基板烘烤设备，所述第二鼓风扇形成有与所述第二导流道连通的第一出气口，及与所述第三导流道连通的第二出气口。
22.本实用新型的有益效果在于：借由所述内炉具有至少两个进气侧，以及所述进气装置产生的热气流能分别经由所述进气侧流入所述烘烤腔室内对所述基板进行烘烤，能提升每一个所述基板的烘烤温度均匀性，从而能提升烘烤的质量。
附图说明
23.图1是本实用新型基板烘烤设备的第一实施例的一立体图；
24.图2是沿图1中的ii－ii线所截取的一不完整剖视图，说明一烘烤箱，及一进气装置之间的组装关系；
25.图3是所述第一实施例的所述烘烤箱的一门的一立体图；
26.图4是沿图1中的iv－iv线所截取的一不完整剖视图；
27.图5是沿图1中的v－v线所截取的一不完整剖视图；
28.图6是沿图1中的vi－vi线所截取的一剖视图；
29.图7是沿图1中的vii－vii线所截取的一不完整剖视图；
30.图8是本实用新型基板烘烤设备的第二实施例的一不完整剖视图，此图类似于图5；
31.图9是所述第二实施例的一剖视图，此图类似于图6。
具体实施方式
32.下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。
33.在本实用新型被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。
34.参阅图1至图4，本实用新型基板烘烤设备200的第一实施例，适于烘烤多个基板1。所述基板烘烤设备200包含一烘烤箱2，及一进气装置3。
35.为了便于后续说明，定义所述基板烘烤设备200的一第一方向x、一垂直于所述第一方向x的第二方向z，及一垂直于所述第一方向x与所述第二方向z的第三方向y。在本第一实施例中，所述第一方向x是以前后方向为例，所述第二方向z是以上下方向为例，所述第三方向y是以左右方向为例。
36.所述基板1设置于一承载架(图未示)上并沿所述第三方向y相间隔排列，每一个所述基板1呈竖直状。每一个所述基板1是以电路基板为例。
37.参阅图2、图3及图4，所述烘烤箱2包括一箱壳21、一内炉22，及一门23。所述箱壳21界定一容置空间211，及一连通于所述容置空间211前端的开口212。所述内炉22设置于所述容置空间211内并具有一底板221、两个分别连接于所述底板221左右侧且沿所述第三方向y相间隔的侧板222、223、一连接于所述底板221顶端与所述侧板222、223后端的背板224，及一连接于所述侧板222、223顶端与所述背板224顶端的顶板225。所述顶板225与所述底板221沿所述第二方向z相间隔。所述底板221、所述侧板222、223、所述背板224及所述顶板225共同界定出一与所述箱壳21的开口212位置相对应的烘烤腔室226，所述烘烤腔室226用以供承载有所述基板1的所述承载架容置。
38.在本第一实施例中，所述背板224为一位于所述烘烤腔室226后侧的第一进气侧，所述背板224形成有多个连通于所述烘烤腔室226的通气孔227，每一个所述通气孔227为一第一进气孔。所述底板221为一位于所述烘烤腔室226底侧的第二进气侧，所述底板221形成有多个连通于所述烘烤腔室226的通气孔228，每一个所述通气孔228为一第二进气孔。所述顶板225为一位于所述烘烤腔室226顶侧的第三进气侧，所述顶板225形成有多个连通于所述烘烤腔室226的通气孔229，每一个所述通气孔229为一第三进气孔。所述第三进气侧、所述烘烤腔室226及所述第二进气侧沿所述第二方向z排列。
39.参阅图1、图2及图3，所述门23具有一门体231，及多个连接于所述门体231与所述箱壳21之间的铰链232。所述门体231能通过所述铰链232相对于所述箱壳21旋转，用以封闭或开启所述开口212。所述门体231具有一用以封闭所述开口212的门板233，及一设置于所述门板233背面用以对应于所述烘烤腔室226的导流壳234。所述导流壳234具有一间隔位于所述门板233后方的端壁235，及一由所述端壁235外周围朝前延伸且连接于所述门板233背
面的围绕壁236。所述端壁235为一位于所述烘烤腔室226前侧的出气侧，所述端壁235形成有多个连通于所述烘烤腔室226的出气孔237。所述出气侧、所述烘烤腔室226及所述第一进气侧沿所述第一方向x排列。所述门板233、所述端壁235及所述围绕壁236共同界定出一与所述出气孔237连通的分流空间238。所述围绕壁236左侧形成有两个沿所述第二方向z相间隔且连通于所述分流空间238的第一排气孔239，所述围绕壁236右侧则形成有一连通于所述分流空间238的第二排气孔240。
40.参阅图2、图4、图5、图6及图7，所述进气装置3设置于所述烘烤箱2的内炉22并包括一导流外壳4、一第一加热器5、一第二加热器6、一第一鼓风机7，及一第二鼓风机8。所述导流外壳4包覆住所述内炉22的底板221、所述侧板222、223、所述背板224及所述顶板225并使所述烘烤腔室226外露。所述导流外壳4通过多个固定架(图未示)与所述箱壳21连接，使得所述导流外壳4能稳固地固定在所述容置空间211内。所述导流外壳4包含一下承载架41、一上承载架42、一第一侧导流罩43、一后导流罩44、一第二侧导流罩45、一下导流罩46，及一上导流罩47。所述下承载架41具有一固定地连接于所述底板221底端的下承载架体411、一连接于所述下承载架体411右侧且抵接于所述侧板223外侧的侧立板412，及一连接于所述侧立板412顶端的下平板413。所述下承载架体411形成有一供所述第一加热器5容置并与所述通气孔228连通的加热腔室414，及多个连通于所述加热腔室414底端的通气孔415。所述下平板413形成有一下通气孔416。所述上承载架42具有一固定地连接于所述顶板225顶端的上承载架体421、一连接于所述上承载架体421右侧且抵接于所述侧板223外侧的侧立板422，及一连接于所述侧立板422底端的上平板423。所述上承载架体421承载所述第二加热器6。所述上平板423与所述下平板413沿所述第二方向z相间隔，所述上平板423形成有一上通气孔424。
41.参阅图4、图5及图6，所述第一侧导流罩43固定地连接于所述下承载架体411左侧及所述侧板222外侧，所述第一侧导流罩43界定出一与所述加热腔室414连通的第一容室431、一连通于所述第一容室431后端的后通气孔432，及两个连通于所述第一容室431前端且沿所述第二方向z相间隔的第一回流孔433。所述第一回流孔433用以分别连通于所述第一排气孔239。所述后导流罩44固定地连接于所述第一侧导流罩43后侧且遮蔽所述内炉22的背板224。
42.参阅图4、图6及图7，所述第二侧导流罩45罩住所述下承载架41的下平板413且固定地连接于所述下平板413及所述下承载架体411。所述第二侧导流罩45还固定地连接于所述上承载架42的上平板423底端以及上承载架体421与侧立板422之间。所述第二侧导流罩45还固定地连接于所述后导流罩44右侧。所述第二侧导流罩45与所述下平板413及所述上平板423共同界定出一第二容室451。所述第二侧导流罩45界定一连通于所述第二容室451前端的第二回流孔452，所述第二回流孔452用以连通所述第二排气孔240。
43.参阅图2、图4及图7，所述下导流罩46固定地连接于所述下承载架41的下承载架体411底端、所述第一侧导流罩43底端、所述后导流罩44底部，以及所述第二侧导流罩45底端。所述下导流罩46封闭所述第一容室431底部。所述下导流罩46、所述下承载架41及所述第二侧导流罩45共同界定出一连通于所述通气孔415与所述下通气孔416之间的下导流空间481。
44.参阅图2、图4、图5及图7，所述上导流罩47罩设于所述上承载架42顶端且固定地连
接于所述上承载架42、所述第一侧导流罩43顶端、所述后导流罩44顶部，以及所述第二侧导流罩45顶端。所述上导流罩47封闭所述第一容室431顶部。所述上导流罩47与所述上承载架42共同界定出一连通于所述通气孔229与所述上通气孔424之间的上导流空间482。
45.参阅图4、图5及图6，所述上承载架42、所述第一侧导流罩43、所述后导流罩44、所述第二侧导流罩45，以及所述下导流罩46共同界定出一连通于所述后通气孔432与所述通气孔227之间的后导流空间480，所述后导流空间480与所述加热腔室414的一部分相连通。所述后通气孔432与所述后导流空间480共同构成一第一导流道r1。
46.参阅图4、图6及图7，所述下导流空间481与所述通气孔415(如图2所示)及所述下通气孔416共同构成一第二导流道r2。所述上导流空间482与所述上通气孔424共同构成一第三导流道r3。所述分流空间238、所述第一排气孔239及所述第二排气孔240共同构成一回流道r4，所述回流道r4连通于所述出气侧的所述出气孔237(如图3所示)、所述第一回流孔433及所述第二回流孔452之间。
47.参阅图4、图5及图6，所述第一鼓风机7包含一第一鼓风扇71，及一第一马达72。所述第一鼓风扇71固定地连接于所述第一侧导流罩43内侧且位于所述第一容室431内。所述第一鼓风扇71形成有一面向所述侧板222并与所述侧板222相间隔的进气口711，及一与所述后通气孔432连通的出气口712。所述第一马达72固定地连接于所述第一侧导流罩43外侧并与所述第一鼓风扇71连接，所述第一马达72用以驱动所述第一鼓风扇71运转，借此，使得所述第一鼓风扇71的出气口712能产生一流入所述第一导流道r1内的气流。
48.参阅图4、图6及图7，所述第二鼓风机8包含一第二鼓风扇81，及一第二马达82。所述第二鼓风扇81固定地连接于所述下平板413及所述上平板423之间且位于所述第二容室451内。所述第二鼓风扇81形成有一面向所述侧板223并与所述侧板223相间隔的进气口811、一与所述下通气孔416连通的第一出气口812，及一与所述上通气孔424连通的第二出气口813。所述第二马达82固定地连接于所述箱壳21外侧并与所述第二鼓风扇81连接，所述第二马达82用以驱动所述第二鼓风扇81运转，借此，使得所述第二鼓风扇81的第一出气口812能产生一流入所述第二导流道r2内的气流，而所述第二出气口813能产生一流入所述第三导流道r3内的气流。
49.以下针对所述基板烘烤设备200烘烤所述基板1的方式进行说明：
50.参阅图2及图6，先将所述门23的门体231开启。通过一移载机构(图未示)将承载有所述基板1的所述承载架经由所述开口212输送至所述烘烤腔室226内。将所述门体231关闭，使所述第一排气孔239分别与所述第一回流孔433连通，以及所述第二排气孔240与所述第二回流孔452连通。
51.参阅图4、图5及图6，控制所述第一加热器5及所述第二加热器6运转，使所述加热腔室414及所述第三导流道r3内产生热气。控制所述第一马达72运作，使所述第一马达72驱动所述第一鼓风扇71运转。所述第一鼓风扇71在运转过程中会经由所述进气口711吸取所述第一容室431内的气体，使得所述第一容室431内产生负压进而产生吸力。借此，所述进气口711能通过所述第一容室431吸取所述加热腔室414内的所述热气，使得所述第一鼓风扇71的出气口712所排出的所述气流是具有温度的热气流。并且，与所述第一容室431连通的所述第一回流孔433、与所述第一回流孔433连通的所述第一排气孔239，以及与所述第一排气孔239连通的所述分流空间238也会产生吸力。
52.所述第一鼓风扇71的出气口712所排出的所述气流流入所述第一导流道r1后会被所述第一导流道r1导引而向后流动至所述背板224后方。随后，所述气流会沿着所述第一方向x向前流动并经由所述通气孔227流入所述烘烤腔室226内。所述气流经由所述背板224所界定出的所述第一进气侧流入所述烘烤腔室226后会沿着所述第一方向x向前流动以对所述基板1进行烘烤。之后，所述气流会经由所述端壁235所界定出的所述出气侧的所述出气孔237(如图3所示)流入所述分流空间238内并经由所述第一排气孔239、所述第一回流孔433回流至所述第一容室431内，从而完成在所述第一容室431、所述第一鼓风扇71、所述第一导流道r1、所述通气孔227、所述烘烤腔室226、所述出气孔237、所述回流道r4以及所述第一回流孔433所构成的一第一流动路径p1内的流动。借由所述第一鼓风扇71的持续运转，使得所述气流会沿着所述第一流动路径p1持续地循环流动。
53.参阅图2、图4、图6及图7，控制所述第二马达82运作，使所述第二马达82驱动所述第二鼓风扇81运转。所述第二鼓风扇81在运转过程中会经由所述进气口811吸取所述第二容室451内的气体，使得所述第二容室451内产生负压进而产生吸力。与所述第二容室451连通的所述第二回流孔452、与所述第二回流孔452连通的所述第二排气孔240也会产生吸力，以吸取经由所述出气侧出气至所述分流空间238内的所述气流的一部分。借此，使得所述第二鼓风扇81的第一出气口812所排出的所述气流以及所述第二出气口813所排出的所述气流皆是具有温度的热气流。
54.所述第二鼓风扇81的第一出气口812所排出的所述气流流入所述第二导流道r2后会被所述第二导流道r2导引而向下流动至所述下承载架体411下方。随后，所述气流会沿所述第二方向z向上流动并经由所述通气孔415(如图2所示)流入所述加热腔室414内。所述气流会带动所述加热腔室414内的所述热气向上流动并经由所述通气孔228流入所述烘烤腔室226内。所述气流经由所述底板221所界定出的所述第二进气侧流入所述烘烤腔室226后会沿着所述第二方向z向上流动以对所述基板1进行烘烤。与此同时，所述气流会与所述烘烤腔室226内沿所述第一方向x向前流动的所述气流汇流在一起，并且会被向前流动的所述气流带动而同时朝向所述出气侧方向流动。
55.所述第二鼓风扇81的第二出气口813所排出的所述气流流入所述第三导流道r3后会被所述第三导流道r3导引而向上流动至所述上承载架体421上方。随后，所述气流会沿所述第二方向z向下流动并流过所述第二加热器6，所述气流带动所述第二加热器6所产生的热气向下流动并经由所述通气孔229(如图2所示)流入所述烘烤腔室226内。所述气流经由所述顶板225所界定出的所述第三进气侧流入所述烘烤腔室226后会沿着所述第二方向z向下流动以对所述基板1进行烘烤。与此同时，所述气流会与所述烘烤腔室226内沿所述第一方向x向前流动的所述气流汇流在一起，并且会被向前流动的所述气流带动而同时朝向所述出气侧方向流动。
56.前述在所述烘烤腔室226内所述气流汇流在一起所构成的一汇流气流会经由所述出气孔237(如图3所示)流入所述分流空间238内，所述汇流气流的一部分会经由所述第一排气孔239、所述第一回流孔433回流至所述第一容室431内并沿着所述第一流动路径p1持续地循环流动。所述汇流气流的其余部分则会经由所述第二排气孔240、所述第二回流孔452回流至所述第二容室451内。所述汇流气流的其余部分经由所述第二鼓风扇81的分流后，其中一部分会沿着所述第二鼓风扇81、所述第二导流道r2、所述通气孔415、所述加热腔
室414、所述通气孔228、所述烘烤腔室226、所述出气孔237、所述回流道r4、所述第二回流孔452以及所述第二容室451所构成的一第二流动路径p2流动，而另一部分则会沿着所述第二鼓风扇81、所述第三导流道r3、所述通气孔229、所述烘烤腔室226、所述出气孔237、所述回流道r4、所述第二回流孔452以及所述第二容室451所构成的一第三流动路径p3流动。借由所述第二鼓风扇81的持续运转，使得所述汇流气流的其余部分会沿着所述第二流动路径p2及所述第三流动路径p3持续地循环流动。
57.借由所述第二进气侧流入所述烘烤腔室226内的所述气流沿所述第二方向z向上流动并对所述基板1进行烘烤，能确保每一个所述基板1下半部沿所述第一方向x延伸的所有部位皆能被均匀地烘烤。借由所述第三进气侧流入所述烘烤腔室226内的所述气流沿所述第二方向z向下流动并对所述基板1进行烘烤，能确保每一个所述基板1上半部沿所述第一方向x延伸的所有部位皆能被均匀地烘烤。借此，能提升每一个所述基板1上的烘烤温度均匀性，使得每一个所述基板1沿所述第一方向x延伸的所有部位的温度趋近于一致，从而能提升烘烤的质量。
58.借由所述加热腔室414与所述第一容室431及所述第二导流道r2连通，所述第一鼓风扇71与所述第二鼓风扇81各自所产生的所述气流至少能够带动所述第一加热器5所产生的所述热气流动，使得所述第一鼓风扇71及所述第二鼓风扇81所排出的所述气流皆是具有温度的热气流。在本第一实施例中，借由所述第一加热器5及所述第二加热器6分别邻近于所述底板221所界定出的所述第二进气侧的外侧及所述顶板225所界定出的所述第三进气侧的外侧的设计方式，能确保经由所述第二进气侧及所述第三进气侧流入所述烘烤腔室226内的所述气流的温度能趋近于一致。借此，能更进一步地提升烘烤所述基板1的烘烤温度均匀性及烘烤质量。
59.借由所述出气侧、所述烘烤腔室226及所述第一进气侧沿所述第一方向x排列，所述第三进气侧、所述烘烤腔室226及所述第二进气侧沿所述第二方向z排列，以及所述第一鼓风扇71与所述第二鼓风扇81分别位于所述侧板222、223外侧且沿所述第三方向y相间隔的方式，使得所述第一鼓风扇71与所述第二鼓风扇81不会遮蔽所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述第三进气侧进而影响所述气流流入的顺畅性。此外，借由所述导流外壳4包覆住所述第一进气侧、所述第二进气侧、所述第三进气侧及所述侧板222、223，且所述第一鼓风扇71与所述第二鼓风扇81设置于所述导流外壳4内的方式，使得所述内炉22与所述进气装置3的整体结构非常紧凑，能缩小整体结构的体积。
60.借由所述第二鼓风扇81为一具有双出气口的鼓风扇，使得所述第二鼓风扇81的第一出气口812及第二出气口813能分别在所述第二导流道r2及所述第三导流道r3内产生所述气流。借此，能节省鼓风机的使用数量以降低所述基板烘烤设备200(如图1所示)的制造成本。
61.借由所述门23界定出所述出气侧及所述回流道r4的方式，除了能提升所述基板1进出所述烘烤腔室226的便利性之外，还进一步地增添了与所述内炉22及所述进气装置3相配合后整体结构的紧凑性，使得所述内炉22的每一侧皆能被有效地利用。
62.需说明的是，本第一实施例的所述基板烘烤设备200也可依照需求而有以下不同的实施态样:
63.其中一种实施态样是所述内炉22只具有所述第一进气侧及所述第二进气侧的两
个进气侧，所述内炉22省略所述第三进气侧。
64.另一种实施态样是所述内炉22只具有所述第一进气侧及所述第三进气侧的两个进气侧，所述内炉22省略所述第二进气侧。
65.又一种实施态样是所述进气装置3只设置所述第一加热器5而省略所述第二加热器6。
66.参阅图8及图9，本实用新型基板烘烤设备200的第二实施例，其整体结构大致与所述第一实施例相同，不同处在于所述烘烤箱2具有两个进气侧及两个出气侧。
67.在本第二实施例中，所述背板224为一位于所述烘烤腔室226后侧的第二出气侧，每一个所述通气孔227(如图4所示)为一第二出气孔。所述底板221为一位于所述烘烤腔室226底侧的第一进气侧，每一个所述通气孔228为一第一进气孔。所述顶板225为一位于所述烘烤腔室226顶侧的第二进气侧，每一个所述通气孔229为一第二进气孔。所述第二进气侧、所述烘烤腔室226及所述第一进气侧沿所述第二方向z排列。所述导流壳234的端壁235为一位于所述烘烤腔室226前侧的第一出气侧，每一个所述出气孔237(如图3所示)为一第一出气孔。所述第一出气侧、所述烘烤腔室226及所述第二出气侧沿所述第一方向x排列。
68.所述导流壳234省略如图3所示的所述第一排气孔239。所述第一侧导流罩43省略如图5所示的所述第一回流孔433。所述上导流罩47形成有一连通于所述第一容室431顶部的排气孔471。所述分流空间238及所述第二排气孔240共同构成所述回流道r4，所述回流道r4连通于所述第一出气侧的所述出气孔237及所述第二回流孔452之间。所述第一鼓风机7的第一鼓风扇71的出气口712朝向上方且与所述排气孔471连通。
69.所述第一鼓风扇71在运转过程中会经由所述进气口711吸取所述第一容室431内的气体，使得所述第一容室431内产生负压进而产生吸力。此时，与所述第一容室431连通的所述后通气孔432以及与所述后通气孔432连通的所述后导流空间480也会产生吸力。借此，使得所述烘烤腔室226内的气流能经由所述通气孔227、所述第一导流道r1、所述第一容室431、所述第一鼓风扇71及所述排气孔471排出所述导流外壳4外。本第二实施例的所述烘烤箱2通过所述第一出气侧及所述第二出气侧能同时使所述烘烤腔室226进行出气，借此能提升出气的速度及效率。需说明的是，本案的所述基板烘烤设备200在其他的实施态样中，也可视需求将所述烘烤箱2设计成具有四个或四个以上的进气侧，不以前述实施例为限。
70.归纳上述，各实施例的所述基板烘烤设备200，借由所述内炉22具有至少两个进气侧，以及所述进气装置3产生的热气流能分别经由所述进气侧流入所述烘烤腔室226内对所述基板1进行烘烤，能提升每一个所述基板1的烘烤温度均匀性，使得每一个所述基板1沿所述第一方向x延伸的所有部位的温度趋近于一致，从而能提升烘烤的质量，确实能达到本实用新型所诉求的目的。