技术特征：
1.一种基板烘烤设备，其特征在于：所述基板烘烤设备包含烘烤箱，及进气装置，所述烘烤箱界定烘烤腔室，所述烘烤箱包括至少两个进气侧及至少一出气侧，所述进气侧及所述出气侧分别位于所述烘烤腔室的三个相异侧，所述进气装置设置于所述烘烤箱且至少连通于所述进气侧，所述进气装置用以产生热气流并能使所述热气流经由所述进气侧流入所述烘烤腔室内。2.根据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述烘烤箱包括三个进气侧，所述进气侧分别为第一进气侧、第二进气侧，及第三进气侧，所述第一进气侧与所述出气侧分别位于所述烘烤腔室的两相反侧，所述第二进气侧与所述第三进气侧分别位于所述烘烤腔室的另两相反侧，所述进气装置连通所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述第三进气侧，所述进气装置所产生的所述热气流能经由所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述第三进气侧流入所述烘烤腔室内。3.根据权利要求2所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述出气侧、所述烘烤腔室及所述第一进气侧沿第一方向排列，所述第三进气侧、所述烘烤腔室及所述第二进气侧沿垂直于所述第一方向的第二方向排列，所述烘烤箱还包括两个分别位于所述烘烤腔室的另两相反侧的侧板，所述侧板沿第三方向相间隔，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向，所述进气装置包括导流外壳、第一加热器、第一鼓风机，及第二鼓风机，所述导流外壳包覆住所述第一进气侧、所述第二进气侧、所述第三进气侧及所述侧板，所述第一加热器设置于所述导流外壳内用以产生热气，所述第一鼓风机包含设置于所述导流外壳内且位于其中一个所述侧板的外侧的第一鼓风扇，所述第一鼓风扇用以产生流向所述第一进气侧的气流，所述第二鼓风机包含设置于所述导流外壳内且位于其中另一个所述侧板的外侧的第二鼓风扇，所述第二鼓风扇用以产生流向所述第二进气侧及所述第三进气侧的气流。4.根据权利要求3所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述导流外壳界定供所述第一加热器容置并与所述第二进气侧连通的加热腔室、供所述第一鼓风扇容置并与所述加热腔室连通的第一容室、连通于所述第一鼓风扇与所述第一进气侧之间的第一导流道、供所述第二鼓风扇容置的第二容室、连通于所述第二鼓风扇与所述加热腔室之间的第二导流道、连通于所述第二鼓风扇与所述第三进气侧之间的第三导流道、与所述第一容室连通的第一回流孔，及与所述第二容室连通的第二回流孔，所述烘烤箱还界定连通于所述出气侧、所述第一回流孔及所述第二回流孔之间的回流道。5.根据权利要求4所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述进气装置包括设置于所述第三导流道内且邻近于所述第三进气侧的外侧的第二加热器。6.根据权利要求4所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述第一进气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述第一导流道之间的第一进气孔，所述第二进气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述加热腔室之间的第二进气孔，所述第三进气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述第三导流道之间的第三进气孔，所述出气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述回流道之间的出气孔。7.根据权利要求4至6中任一权利要求所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述烘烤箱包括箱壳、设置于所述箱壳内的内炉，及设置于所述箱壳的门，所述箱壳界定与所述烘烤腔室位置相对应的开口，所述内炉具有所述烘烤腔室、所述第一进气侧、所述第二进气侧、所述第三进气侧及所述侧板，所述门具有用以控制所述开口启闭的门板，及设置于所述门板
背面且对应于所述烘烤腔室的导流壳，所述导流壳具有所述出气侧，所述导流壳与所述门板共同界定出所述回流道。8.根据权利要求7所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述导流壳具有与所述门板相间隔且界定出所述出气侧的端壁，及连接于所述端壁外周围与所述门板之间的围绕壁，所述门板、所述端壁及所述围绕壁共同界定出与所述出气侧连通的分流空间，所述围绕壁形成有连通于所述分流空间与所述第一回流孔之间的第一排气孔，及连通于所述分流空间与所述第二回流孔之间的第二排气孔，所述分流空间、所述第一排气孔及所述第二排气孔共同构成所述回流道。9.根据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述烘烤箱包括内炉，所述内炉具有所述烘烤腔室及所述进气侧，所述进气侧分别位于所述烘烤腔室的两相反侧，所述进气装置包括导流外壳、第一加热器，及第二加热器，所述导流外壳包覆住所述进气侧，所述第一加热器及所述第二加热器设置于所述导流外壳内且分别邻近于所述进气侧的外侧用以产生热气。10.根据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述烘烤箱包括两个进气侧及两个出气侧，所述进气侧分别为第一进气侧及第二进气侧，所述第一进气侧与所述第二进气侧分别位于所述烘烤腔室的两相反侧，所述出气侧分别为第一出气侧及第二出气侧，所述第一出气侧与所述第二出气侧分别位于所述烘烤腔室的另两相反侧，所述进气装置连通所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述第二出气侧，所述进气装置所产生的所述热气流能经由所述第一进气侧及所述第二进气侧流入所述烘烤腔室内。11.根据权利要求10所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述第一出气侧、所述烘烤腔室及所述第二出气侧沿第一方向排列，所述第二进气侧、所述烘烤腔室及所述第一进气侧沿垂直于所述第一方向的第二方向排列，所述烘烤箱还包括两个分别位于所述烘烤腔室的另两相反侧的侧板，所述侧板沿第三方向相间隔，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向，所述进气装置包括导流外壳、第一加热器、第一鼓风机，及第二鼓风机，所述导流外壳包覆住所述第二出气侧、所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述侧板，所述第一加热器设置于所述导流外壳内用以产生热气，所述第一鼓风机包含设置于所述导流外壳内且位于其中一个所述侧板的外侧的第一鼓风扇，所述第一鼓风扇用以产生流向所述导流外壳外的气流，所述第二鼓风机包含设置于所述导流外壳内且位于其中另一个所述侧板的外侧的第二鼓风扇，所述第二鼓风扇用以产生流向所述第一进气侧及所述第二进气侧的气流。12.根据权利要求11所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述导流外壳界定供所述第一加热器容置并与所述第一进气侧连通的加热腔室、供所述第一鼓风扇容置的第一容室、连通于所述第一容室与所述第二出气侧之间的第一导流道、供所述第二鼓风扇容置的第二容室、连通于所述第二鼓风扇与所述加热腔室之间的第二导流道、连通于所述第二鼓风扇与所述第二进气侧之间的第三导流道，及与所述第二容室连通的回流孔，所述烘烤箱还界定连通于所述第一出气侧及所述回流孔之间的回流道。13.根据权利要求12所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述进气装置包括设置于所述第三导流道内且邻近于所述第二进气侧的外侧的第二加热器。14.根据权利要求12所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述第一进气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述加热腔室之间的第一进气孔，所述第二进气侧形成有多个连通于
所述烘烤腔室与所述第三导流道之间的第二进气孔，所述第一出气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述回流道之间的第一出气孔，所述第二出气侧形成有多个连通于所述烘烤腔室与所述第一导流道之间的第二出气孔。15.根据权利要求12至14中任一权利要求所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述烘烤箱包括箱壳、设置于所述箱壳内的内炉，及设置于所述箱壳的门，所述箱壳界定与所述烘烤腔室位置相对应的开口，所述内炉具有所述烘烤腔室、所述第二出气侧、所述第一进气侧、所述第二进气侧及所述侧板，所述门具有用以控制所述开口启闭的门板，及设置于所述门板背面且对应于所述烘烤腔室的导流壳，所述导流壳具有所述第一出气侧，所述导流壳与所述门板共同界定出所述回流道。16.根据权利要求15所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述导流壳具有与所述门板相间隔且界定出所述第一出气侧的端壁，及连接于所述端壁外周围与所述门板之间的围绕壁，所述门板、所述端壁及所述围绕壁共同界定出与所述第一出气侧连通的分流空间，所述围绕壁形成有连通于所述分流空间与所述回流孔之间的排气孔，所述分流空间及所述排气孔共同构成所述回流道。17.根据权利要求4或12所述的基板烘烤设备，其特征在于：所述第二鼓风扇形成有与所述第二导流道连通的第一出气口，及与所述第三导流道连通的第二出气口。
技术总结
一种基板烘烤设备，包含烘烤箱，及进气装置。所述烘烤箱界定烘烤腔室，所述烘烤箱包括至少两个进气侧及至少一出气侧，所述进气侧及所述出气侧分别位于所述烘烤腔室的三个相异侧。所述进气装置设置于所述烘烤箱且至少连通于所述进气侧，所述进气装置用以产生热气流并能使所述热气流经由所述进气侧流入所述烘烤腔室内。借此，能提升烘烤基板的温度均匀性，从而提升烘烤的质量。而提升烘烤的质量。而提升烘烤的质量。
技术研发人员：陈安顺
受保护的技术使用者：群翊工业股份有限公司
技术研发日：2022.04.26
技术公布日：2022/8/8