一种用于微电子材料半导体原料回收再利用设备的制作方法

文档序号:20035008发布日期:2020-02-28 11:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于微电子材料半导体原料回收再利用设备,包括处理箱(1)与支撑柱(7),所述支撑柱(7)上壁设有驱动机构,其特征在于:所述处理箱(1)内部设有破碎机构,所述处理箱(1)两内壁均设有除尘机构,所述除尘机构包括固定连接在处理箱(1)内壁的橡胶盒(2),所述橡胶盒(2)内壁固定连接有永磁块(24),所述永磁块(24)侧壁固定插接有铜框(25),所述橡胶盒(2)上壁通过拉伸弹簧(20)弹性连接有移动板(22),所述铜框(25)两端通过导线分别与拉伸弹簧(20)的上下侧壁固定连接,所述移动板(22)远离处理箱(1)一端的侧壁固定连接有毛皮层(23),且毛皮层(23)与橡胶盒(2)内壁接触,所述橡胶盒(2)内部转动连接有旋转磁块(26),所述处理箱(1)下壁固定连接有电熔箱(4),所述电熔箱(4)上设有自搅拌机构,所述自搅拌机构包括固定连接在电熔箱(4)侧壁的导热罩(11)与隔热罩(12),所述导热罩(11)与隔热罩(12)内共同设有转盘(10),所述转盘(10)内部设有两个弧形腔(18),两个所述弧形腔(18)通过连接腔(19)连通,两个所述弧形腔(18)内壁均通过记忆金属片(15)弹性连接有滑塞(16),两个所述滑塞(16)之间的空间填充有配重液(17),两个所述转盘(10)相对的侧壁共同固定连接有第一转轴(13),且第一转轴(13)贯穿电熔箱(4)侧壁,所述第一转轴(13)位于电熔箱(4)内的侧壁交错设有多个搅拌刀片(14)。

2.根据权利要求1所述的一种用于微电子材料半导体原料回收再利用设备,其特征在于:所述驱动机构包括设置在支撑柱(7)上壁的驱动电机(8),所述处理箱(1)侧壁转动连接有两个第二转轴(6),且其中一个第二转轴(6)与驱动电机(8)的输出轴固定连接,两个所述第二转轴(6)位于处理箱(1)外的侧壁均固定连接有齿轮(9),且两个齿轮(9)啮合。

3.根据权利要求2所述的一种用于微电子材料半导体原料回收再利用设备,其特征在于:所述破碎机构包括设置在处理箱(1)内的两个破碎筒(3),且破碎筒(3)侧壁为齿状,两个所述破碎筒(3)分别固定连接在两个第二转轴(6)侧壁。

4.根据权利要求2所述的一种用于微电子材料半导体原料回收再利用设备,其特征在于:所述旋转磁块(26)固定连接在第二转轴(6)侧壁,所述旋转磁块(26)与永磁块(24)异极相吸。

5.根据权利要求3所述的一种用于微电子材料半导体原料回收再利用设备,其特征在于:所述电熔箱(4)上壁连通设有接料斗(5),所述接料斗(5)位于两个破碎筒(3)之间。

6.根据权利要求1所述的一种用于微电子材料半导体原料回收再利用设备,其特征在于:所述橡胶盒(2)内壁设有滑槽(21),所述移动板(22)远离毛皮层(23)的一端位于滑槽(21)内。

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