技术特征：
1.一种单晶炉副室智能清洁装置，包括可伸缩支撑部件(10)和储液装置(18)，可伸缩支撑部件(10)上部安装有用于清洗副室内壁的清洗装置，储液装置(18)通过第一管路(3)与清洗装置连接，第一管路(3)上连接有抽水泵(13)，其特征在于，还包括车体(24)、控制器(22)和电源，车体(24)内底部固定有电机(17)，电机(17)上部设有转盘(16)，电机输出轴(23)与转盘(16)底部圆心相连，转盘(16)底部与电机(17)之间至少安装有3个加强筋(25)，加强筋(25)第一端固定在电机(17)轴上，其第二端固定在转盘(16)上，加强筋(25)第二端与转盘(16)圆心之间的距离为d，d与转盘(16)半径r之间的关系为：r/2＜d＜r；可伸缩支撑部件(10)安装在转盘(16)上，其顶部安装有第一距离传感器(1)，其下部套设有上部开口的接水装置(11)，该接水装置(11)固定在可伸缩支撑部件(10)上，其直径大于副室内径、且不会随着可伸缩支撑部件(10)的伸出或缩回而上下移动，控制器(22)和电源安装在转盘(16)底部，储液装置(18)和抽水泵(13)均安装在转盘(16)上，第一距离传感器(1)、电机(17)、抽水泵(13)、电源均与控制器(22)电连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室智能清洁装置，其特征在于，清洗装置包括至少两个第一电动伸缩杆(7)，第一电动伸缩杆(7)一端安装在可伸缩支撑部件(10)上，其另一端安装有固定架(2)，其内侧安装有第三距离传感器，其外侧固定有清洗件(4)；第一管路(3)出液口固定在固定架(2)外侧，其进液口位于在储液装置(18)底部；第一电动伸缩杆(7)、第三距离传感器均与控制器(22)电连接。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉副室智能清洁装置，其特征在于，转盘(16)上安装有废液盛放装置(14)，废液盛放装置(14)进液口通过第二管路(12)与接水装置(11)底部出液口连接。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉副室智能清洁装置，其特征在于，储液装置(18)和废液盛放装置(14)均为密封结构，储液装置(18)、废液盛放装置(14)和接水装置(11)均由透明材料制造而成，储液装置(18)上部开设有进液口，废液盛放装置(14)侧壁下部开设有出液口，储液装置(18)的进液口和废液盛放装置(14)的出液口均通过密封盖(15)密封。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉副室智能清洁装置，其特征在于，储液装置(18)、废液盛放装置(14)以及可伸缩支撑部件(10)均为圆柱形，储液装置(18)和废液盛放装置(14)高度相等；储液装置(18)置于废液盛放装置(14)内部，其内径是废液盛放装置(14)内径的1/3-1/2；可伸缩支撑部件(10)固定安装在储液装置(18)顶部，储液装置(18)、废液盛放装置(14)、可伸缩支撑部件(10)同轴设置。6.根据权利要求5所述的一种单晶炉副室智能清洁装置，其特征在于，还包括用于扫除和吸走副室内壁挥发物的清扫装置清扫装置，清扫装置包括至少两个第二电动伸缩杆(8)、吸气装置(21)和第三管路(9)，第二电动伸缩杆(8)位于第一电动伸缩杆(7)下部，其一端固定在可伸缩支撑部件(10)上部，其另一端安装有支架(5)，支架(5)外侧边缘处均布有清扫刷(6)，支架(5)上安装有第二距离传感器，第二距离传感器、吸气装置(21)、第二电动伸缩杆(8)分别与控制器(22)相连；第三管路(9)吸气口固定在支架(5)外侧，其出气口连接吸气装置(21)的进气口，吸气装置(21)安装在废液盛放装置(14)上部或转盘(16)上。7.根据权利要求6所述的一种单晶炉副室智能清洁装置，其特征在于，第三管路(9)的出气口直径由内向外逐渐增大呈圆锥状；接水装置(11)其上部开口直径大于下部开口直径呈圆锥状，接水装置(11)与可伸缩支撑部件(10)接触部分通过密封圈密封。
8.根据权利要求7所述的一种单晶炉副室智能清洁装置，其特征在于，在车体(24)一侧安装把手(20)，车体(24)内部安装有隔板(26)，隔板(26)长宽与车体(24)底板相同，隔板(26)中间开设有与转盘(16)直径相同的通孔。9.根据权利要求8所述的一种单晶炉副室智能清洁装置，其特征在于，可伸缩支撑部件(10)为电动伸缩杆，与控制器(22)电连接；可伸缩支撑部件(10)、第一电动伸缩杆(7)、第三电动伸缩杆均为空心结构，第一管路(3)位于可伸缩支撑部件(10)和第二电动伸缩杆(8)内部，第三管路(9)位于可伸缩支撑部件(10)和第一电动伸缩杆(7)内部。10.一种如权利要求9所述装置的控制方法，其特征在于，具体步骤如下：s1在控制器(22)中预先设置距离值d1、d2、d3，在储液装置(18)中装入清洗液，将清洗件(4)固定在固定架(2)上，通过把手(20)将车体(24)推到待清洁副室下部；s2打开电源，控制器(22)上电，控制器(22)控制可伸缩支撑部件(10)伸出，第一距离传感器(1)检测可伸缩支撑部件(10)与副室内壁顶部的实时距离，并传送至控制器(22)，当第一距离传感器(1)传送的实时距离为d1时，控制器(22)控制可伸缩支撑部件(10)停止伸出动作，此时，固定架(2)上部的清洗棉紧贴副室内壁上部，对副室内壁上部进行清洗；s3控制器(22)控制电机(17)和抽水泵(13)工作：抽水泵(13)工作，将储液装置(18)内部的清洗液通过第二管路(12)送至清洗件(4)，清洗液逐渐渗透至整个清洗件(4)；电机(17)带动转盘(16)转动，转盘(16)转动带动可伸缩支撑部件(10)转动，可伸缩支撑部件(10)带动第一电动伸缩杆(7)和第二电动伸缩杆(8)转动，对副室内壁顶部进行清洗；s4控制器(22)控制第一电动伸缩杆(7)和第二电动伸缩杆(8)向外伸出：第一电动伸缩杆(7)边转动边向外伸出，其端部的固定架(2)上部的清洗件(4)随着第一电动伸缩杆(7)边转动边向外伸出，第一电动伸缩杆(7)向外伸出的速度，能够保证固定架(2)上部的清洗件(4)对副室内壁顶部全部清洗；第一电动伸缩杆(7)和第二电动伸缩杆(8)伸出，当第二距离传感器和第三距离传感器检测到距离障碍物的实时距离信号传送至控制器(22)，当第二距离传感器和第三距离传感器的实时距离分别为d2和d3时，控制器(22)控制第一电动伸缩杆(7)和第二电动伸缩杆(8)停止向外伸出；s5控制器(22)控制吸气装置(21)工作：吸气装置(21)通过第三管路(9)吸除副室内壁的杂质，随着第二电动伸缩杆(8)的转动，清扫刷(6)和第三管路(9)的吸气口围绕副室内壁旋转一周，对副室内壁进行清扫，同时，清洗件(4)随着第一电动伸缩杆(7)的转动也围绕副室内壁侧壁旋转一周，对副室内壁侧壁进行清洗；s6控制器(22)控制可伸缩支撑部件(10)回缩，可神作支撑部件(10)每转动设定圈数，向下回缩设定距离，清洗件(4)和清扫刷(6)随着可伸缩支撑部件(10)的转动和回缩，对整个副室内壁进行清洁；清洗和清扫过程中的废液和杂质均顺着副室内壁掉落到接水装置(11)，接水装置(11)中的废液及杂质通过第二管路(12)流入废液盛放装置(14)；s7当可伸缩支撑部件(10)复位后，控制器(22)控制抽水泵(13)、吸气装置(21)、电机(17)停止工作，同时控制第一电动伸缩杆(7)和第二电动伸缩杆(8)复位，清洗工作结束。
技术总结
本发明公开一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法，包括可伸缩支撑部件和储液装置，可伸缩支撑部件上部安装有清洗装置，储液装置通过第一管路与清洗装置连接，第一管路上连接有抽水泵，还包括车体、控制器和电源，车体内底部固定有电机，电机输出轴与转盘底部圆心相连，转盘底部与电机之间安装有加强筋，加强筋固定在电机轴与转盘底部之间；可伸缩支撑部件安装在转盘上，其顶部安装有第一距离传感器，其下部安装有接水装置，该接水装置直径大于副室内径，第一距离传感器、电机、抽水泵、电源均与控制器电连接。本发明智能化程度高，操作方便、简单，能够有效地避免清洗液滴落到地面，清洁更加彻底，且适用于多种直径的副室。且适用于多种直径的副室。且适用于多种直径的副室。
技术研发人员：佘辉 关春洋 吴亚娟
受保护的技术使用者：江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司
技术研发日：2021.10.11
技术公布日：2022/1/28