一种半导体清洗用输送机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体生产领域，具体是一种半导体清洗用输送机构。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，在对半导体进行生产的过程中，需要对晶圆进行清洗。
3.但是，目前在对晶圆进行清洗时，需要人工将晶圆放置入清洗槽进行清洗，增大了操作者的工作量，同时对晶圆进行输送时，需要对晶圆进行夹持，夹持块会对人工将晶圆取出时造成遮挡，降低了工作效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于：为了解决需要自动对晶圆进行输送和夹持块影响晶圆的取出的问题，提供一种半导体清洗用输送机构。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体清洗用输送机构，包括主体、输送装置和夹持装置，所述主体包括有底座，所述底座的顶端设置有清洗槽，所述底座的顶端位于清洗槽的一侧连接有安装板；
6.其中，所述输送装置包括有位于安装板外壁的输送电机，所述输送电机的输出端连接有输送轴，所述输送轴的一端连接有输送盘，所述输送盘的外壁连接有转动板，所述安装板的外壁位于输送电机一侧连接有固定板，所述输送盘的一侧设置有一号输送带，所述输送盘的另一侧设置有二号输送带，所述二号输送带的顶端设置有凹槽，所述转动板的内壁连接有连接板，所述连接板的内壁连接有转动轴，所述转动轴的一端连接有一号齿轮，所述一号齿轮的外壁连接有二号齿轮，所述二号齿轮的一端连接有连接轴，所述连接轴的一端连接有三号齿轮，所述三号齿轮的外壁连接有四号齿轮，所述四号齿轮的内壁连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端连接有滑块，所述螺纹杆的另一端连接有连接块，所述连接块与转动板之间连接有连接弹簧。
7.作为本实用新型再进一步的方案：所述夹持装置包括有位于一号输送带内壁的夹持壳，所述夹持壳的顶端设置有放置槽，所述放置槽的内壁连接有挡板，所述挡板与放置槽之间连接有扭簧，所述挡板的底端设置有卡槽，所述夹持壳的内部位于卡槽的下方连接有卡块，所述卡块与夹持壳之间连接有固定弹簧，所述卡块的外壁连接有转动盘，所述转动盘的外壁连接有推动杆。
8.作为本实用新型再进一步的方案：所述一号齿轮的轮齿与二号齿轮的齿槽相啮合，所述三号齿轮的轮齿与四号齿轮的齿槽相啮合。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述螺纹杆的外壁设置有外螺纹，所述四号齿轮的内壁设置有内螺纹，所述螺纹杆的外螺纹与四号齿轮的内螺纹相契合，所述滑块的一端为斜面。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述凹槽的内壁与夹持壳的外壁相契合，所述放置槽与挡板通过转轴进行连接，所述连接板的外壁和夹持壳的顶端均设置有磁铁。
11.作为本实用新型再进一步的方案：所述一号输送带的内壁连接有限位块，所述限位块与一号输送带之间连接有限位弹簧，所述限位块的一端为圆面，所述夹持壳的两端设置有限位槽，所述限位槽的内壁与限位块的外壁相契合。
12.作为本实用新型再进一步的方案：所述卡槽的内壁与卡块的外壁相契合，所述卡块和推动杆的外壁设置有齿槽，所述转动盘的外壁设置有轮齿，所述转动盘的轮齿与卡块和推动杆的齿槽相啮合。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、通过设置输送装置，将挡板通过限位块和限位槽与一号输送带进行连接，一号输送带运转带动夹持壳进行位移，直至夹持壳与连接板接触，从而通过磁铁进行连接，输送电机运转带动夹持壳进行转动，夹持壳位移至清洗槽内对晶圆进行清洗，清洗完成后，夹持壳继续转动，至水平位置后，滑块与固定板接触带动夹持壳进行转动，夹持壳与凹槽接触，二号输送带运转将夹持壳输送走，便于对晶圆进行输送；
15.2、通过设置夹持装置，将晶圆放入放置槽，转动挡板将放置槽遮挡住，卡块受固定弹簧弹力作用进行位移进入卡槽，对挡板进行固定，清洗完成后，夹持壳与凹槽接触，二号输送带运转将夹持壳输送走，夹持壳与凹槽接触，推动杆与凹槽接触进行位移，推动杆位移带动转动盘进行转动，转动盘转动带动卡块进行位移，卡块位移出卡槽，取消对挡板的固定，挡板受扭簧的作用进行转动，将放置槽露出，方便操作者将晶圆取出，便于对晶圆进行夹持，且不会对操作者取出时造成阻挡。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构示意图；
17.图2为本实用新型输送装置的安装示意图；
18.图3为本实用新型夹持装置的安装示意图；
19.图4为本实用新型夹持装置的截面图；
20.图5为本实用新型a处的放大图。
21.图中：1、主体；101、底座；102、清洗槽；103、安装板；2、输送装置；201、输送电机；202、输送轴；203、输送盘；204、转动板；205、固定板；206、一号输送带；207、二号输送带；208、凹槽；209、连接板；210、转动轴；211、一号齿轮；212、二号齿轮；213、连接轴；214、三号齿轮；215、四号齿轮；216、螺纹杆；217、滑块；218、连接块；219、连接弹簧；3、夹持装置；301、夹持壳；302、放置槽；303、挡板；304、扭簧；305、卡槽；306、卡块；307、固定弹簧；308、转动盘；309、推动杆。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。
24.请参阅图1～5，本实用新型实施例中，一种半导体清洗用输送机构，包括主体1、输送装置2和夹持装置3，主体1包括有底座101，底座101的顶端设置有清洗槽102，底座101的顶端位于清洗槽102的一侧连接有安装板103；
25.其中，输送装置2包括有位于安装板103外壁的输送电机201，输送电机201的输出端连接有输送轴202，输送轴202的一端连接有输送盘203，输送盘203的外壁连接有转动板204，安装板103的外壁位于输送电机201一侧连接有固定板205，输送盘203的一侧设置有一号输送带206，输送盘203的另一侧设置有二号输送带207，二号输送带207的顶端设置有凹槽208，转动板204的内壁连接有连接板209，连接板209的内壁连接有转动轴210，转动轴210的一端连接有一号齿轮211，一号齿轮211的外壁连接有二号齿轮212，二号齿轮212的一端连接有连接轴213，连接轴213的一端连接有三号齿轮214，三号齿轮214的外壁连接有四号齿轮215，四号齿轮215的内壁连接有螺纹杆216，螺纹杆216的一端连接有滑块217，螺纹杆216的另一端连接有连接块218，连接块218与转动板204之间连接有连接弹簧219，便于对晶圆进行输送。
26.请着重参阅图1、图3和图4，夹持装置3包括有位于一号输送带206内壁的夹持壳301，夹持壳301的顶端设置有放置槽302，放置槽302的内壁连接有挡板303，挡板303与放置槽302之间连接有扭簧304，挡板303的底端设置有卡槽305，夹持壳301的内部位于卡槽305的下方连接有卡块306，卡块306与夹持壳301之间连接有固定弹簧307，卡块306的外壁连接有转动盘308，转动盘308的外壁连接有推动杆309，便于对晶圆进行夹持。
27.请着重参阅图1和图3，一号齿轮211的轮齿与二号齿轮212的齿槽相啮合，便于一号齿轮211转动带动二号齿轮212进行转动，三号齿轮214的轮齿与四号齿轮215的齿槽相啮合，便于三号齿轮214转动带动四号齿轮215进行转动。
28.请着重参阅图1
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4，螺纹杆216的外壁设置有外螺纹，四号齿轮215的内壁设置有内螺纹，螺纹杆216的外螺纹与四号齿轮215的内螺纹相契合，便于螺纹杆216位移带动四号齿轮215进行转动，滑块217的一端为斜面，便于滑块217受力进行位移。
29.请着重参阅图1
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4，凹槽208的内壁与夹持壳301的外壁相契合，便于凹槽208的内壁与夹持壳301的外壁贴合进行连接，放置槽302与挡板303通过转轴进行连接，便于放置槽
302与挡板303进行相对转动，连接板209的外壁和夹持壳301的顶端均设置有磁铁，便于连接板209和夹持壳301进行连接。
30.请着重参阅图1
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5，一号输送带206的内壁连接有限位块，限位块与一号输送带206之间连接有限位弹簧，限位块的一端为圆面，便于限位块受力进行位移，夹持壳301的两端设置有限位槽，限位槽的内壁与限位块的外壁相契合，便于限位块的外壁与限位槽的内壁贴合，对夹持壳301进行限位连接。
31.请着重参阅图1
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4，卡槽305的内壁与卡块306的外壁相契合，便于卡槽305的内壁与卡块306的外壁贴合进行固定，卡块306和推动杆309的外壁设置有齿槽，转动盘308的外壁设置有轮齿，转动盘308的轮齿与卡块306和推动杆309的齿槽相啮合，便于推动杆309位移通过转动盘308带动卡块306进行位移。
32.本实用新型的工作原理是：首先，将晶圆放入放置槽302，转动挡板303将放置槽302遮挡住，卡块306受固定弹簧307弹力作用进行位移进入卡槽305，对挡板303进行固定，将挡板303通过限位块和限位槽与一号输送带206进行连接，一号输送带206运转带动夹持壳301进行位移，直至夹持壳301与连接板209接触，从而通过磁铁进行连接，输送电机201运转带动输送轴202进行转动，输送轴202转动带动输送盘203进行转动，输送盘203转动带动转动板204进行转动，转动板204转动带动连接板209进行转动，连接板209转动带动夹持壳301进行转动，夹持壳301位移至清洗槽102内对晶圆进行清洗，清洗完成后，夹持壳301继续转动，至水平位置后，滑块217与固定板205接触进行位移，滑块217位移带动螺纹杆216进行位移，螺纹杆216位移带动四号齿轮215进行转动，四号齿轮215转动带动三号齿轮214进行转动，三号齿轮214转动带动连接轴213进行转动，连接轴213转动带动二号齿轮212进行转动，二号齿轮212转动带动一号齿轮211进行转动，一号齿轮211转动带动转动轴210进行转动，转动轴210转动带动连接板209进行转动，连接板209转动带动夹持壳301进行转动，夹持壳301与凹槽208接触，二号输送带207运转将夹持壳301输送走，夹持壳301与凹槽208接触，推动杆309与凹槽208接触进行位移，推动杆309位移带动转动盘308进行转动，转动盘308转动带动卡块306进行位移，卡块306位移出卡槽305，取消对挡板303的固定，挡板303受扭簧304的作用进行转动，将放置槽302露出，方便操作者将晶圆取出。
33.以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。