技术特征：
1.一种半导体清洗用输送机构，包括主体(1)、输送装置(2)和夹持装置(3)，其特征在于，所述主体(1)包括有底座(101)，所述底座(101)的顶端设置有清洗槽(102)，所述底座(101)的顶端位于清洗槽(102)的一侧连接有安装板(103)；其中，所述输送装置(2)包括有位于安装板(103)外壁的输送电机(201)，所述输送电机(201)的输出端连接有输送轴(202)，所述输送轴(202)的一端连接有输送盘(203)，所述输送盘(203)的外壁连接有转动板(204)，所述安装板(103)的外壁位于输送电机(201)一侧连接有固定板(205)，所述输送盘(203)的一侧设置有一号输送带(206)，所述输送盘(203)的另一侧设置有二号输送带(207)，所述二号输送带(207)的顶端设置有凹槽(208)，所述转动板(204)的内壁连接有连接板(209)，所述连接板(209)的内壁连接有转动轴(210)，所述转动轴(210)的一端连接有一号齿轮(211)，所述一号齿轮(211)的外壁连接有二号齿轮(212)，所述二号齿轮(212)的一端连接有连接轴(213)，所述连接轴(213)的一端连接有三号齿轮(214)，所述三号齿轮(214)的外壁连接有四号齿轮(215)，所述四号齿轮(215)的内壁连接有螺纹杆(216)，所述螺纹杆(216)的一端连接有滑块(217)，所述螺纹杆(216)的另一端连接有连接块(218)，所述连接块(218)与转动板(204)之间连接有连接弹簧(219)。2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于，所述夹持装置(3)包括有位于一号输送带(206)内壁的夹持壳(301)，所述夹持壳(301)的顶端设置有放置槽(302)，所述放置槽(302)的内壁连接有挡板(303)，所述挡板(303)与放置槽(302)之间连接有扭簧(304)，所述挡板(303)的底端设置有卡槽(305)，所述夹持壳(301)的内部位于卡槽(305)的下方连接有卡块(306)，所述卡块(306)与夹持壳(301)之间连接有固定弹簧(307)，所述卡块(306)的外壁连接有转动盘(308)，所述转动盘(308)的外壁连接有推动杆(309)。3.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于，所述一号齿轮(211)的轮齿与二号齿轮(212)的齿槽相啮合，所述三号齿轮(214)的轮齿与四号齿轮(215)的齿槽相啮合。4.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于，所述螺纹杆(216)的外壁设置有外螺纹，所述四号齿轮(215)的内壁设置有内螺纹，所述螺纹杆(216)的外螺纹与四号齿轮(215)的内螺纹相契合，所述滑块(217)的一端为斜面。5.根据权利要求2所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于，所述凹槽(208)的内壁与夹持壳(301)的外壁相契合，所述放置槽(302)与挡板(303)通过转轴进行连接，所述连接板(209)的外壁和夹持壳(301)的顶端均设置有磁铁。6.根据权利要求2所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于，所述一号输送带(206)的内壁连接有限位块，所述限位块与一号输送带(206)之间连接有限位弹簧，所述限位块的一端为圆面，所述夹持壳(301)的两端设置有限位槽，所述限位槽的内壁与限位块的外壁相契合。7.根据权利要求2所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于，所述卡槽(305)的内壁与卡块(306)的外壁相契合，所述卡块(306)和推动杆(309)的外壁设置有齿槽，所述转动盘(308)的外壁设置有轮齿，所述转动盘(308)的轮齿与卡块(306)和推动杆(309)的齿槽相啮合。
技术总结
本实用新型公开了一种半导体清洗用输送机构，涉及半导体生产领域，包括主体、输送装置和夹持装置，所述主体包括有底座，所述底座的顶端设置有清洗槽，所述底座的顶端位于清洗槽的一侧连接有安装板。本实用新型通过设置输送装置，将挡板通过限位块和限位槽与一号输送带进行连接，一号输送带运转带动夹持壳进行位移，直至夹持壳与连接板接触，从而通过磁铁进行连接，输送电机运转带动夹持壳进行转动，夹持壳位移至清洗槽内对晶圆进行清洗，清洗完成后，夹持壳继续转动，至水平位置后，滑块与固定板接触带动夹持壳进行转动，夹持壳与凹槽接触，二号输送带运转将夹持壳输送走，便于对晶圆进行输送。圆进行输送。圆进行输送。
技术研发人员：郝齐齐
受保护的技术使用者：安徽富乐德科技发展股份有限公司
技术研发日：2021.05.18
技术公布日：2021/11/17