一种用于清洗机的花篮检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体清洗机技术领域，尤其涉及一种用于清洗机的花篮检测装置。


背景技术：

2.硅片扩散工艺，是将硅片插在石英舟上，然后将石英舟连同硅片一起放入石英管，并一起放入高温扩散炉中，之后在炉管的尾部通入一定量含有扩散源的气体，在高温条件下，通过扩散源气体与硅片发生化学反应，完成扩散工艺。由于每次扩散工艺后，石英舟表面都会残存一定量扩散后的微粒，而石英舟又直接与硅片接触，因此，石英舟表面的清洁度直接影响到整个扩散工艺的质量。为此，本司研发了半导体清洗机来对石英舟进行高效清洗。
3.现有清洗机在使用时存在不足之处，在硅材料清洗过程中，需要机械手携带装有硅材料(石英舟)的花篮在化学溶液中运动，当检测到花篮在机械手位置错误时，需要停止机械手的运动，防止故障扩大。但是检测用的传感器无法放在化学溶液中工作，在潮湿的化学化境中，腐蚀气体会减少传感器的使用寿命。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服传统技术中存在的上述问题，提供一种用于清洗机的花篮检测装置。
5.为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型是通过以下技术方案实现：
6.一种用于清洗机的花篮检测装置，包括机械手、花篮和检测组件，所述机械手的吊杆底端设有轴线方向与水平方向平行的定位柱，所述花篮的上端设有吊钩，且吊钩的下部设有与定位柱配合的定位卡槽，上端设有平面检测部，所述检测组件包括导向座、检测座、检测杆、限位环、导向环、压力传感器、控制器和悬挂机构，所述导向座和检测座固定在机械手上，所述导向座沿竖直方向穿设有检测杆，且检测杆的底端在自身重力作用下与平面检测部相抵，所述检测杆位于导向座穿孔上方的杆体固定有限位环，所述检测座的下端设有与检测杆配合的导向环，所述检测座的内部经悬挂机构安装有位于导向环正上方的压力传感器，所述压力传感器经线缆与控制器进行连接。
7.进一步地，上述用于清洗机的花篮检测装置中，所述导向座为l形座，其由水平导向部和竖直安装部构成，水平导向部开设有导向穿孔，竖直安装部通过焊接与机械手固定。
8.进一步地，上述用于清洗机的花篮检测装置中，所述检测杆位于限位环两侧的杆体杆径相等或不等。
9.进一步地，上述用于清洗机的花篮检测装置中，所述悬挂机构包括螺纹柱、安装筒、缓冲弹簧和环形压片，所述螺纹柱固定于检测座的腔体顶壁，所述安装筒的顶端设有与螺纹柱配合的螺纹凸管，底端开口设有向内延伸的防掉落挡边，所述安装筒的内腔中设有缓冲弹簧，且缓冲弹簧和压力传感器之间放置有环形压片。
10.进一步地，上述用于清洗机的花篮检测装置中，所述安装筒的侧端开设有便于侧向放入压力传感器以及便于压力传感器线缆自适应运动的条形竖缝。
11.进一步地，上述用于清洗机的花篮检测装置中，所述控制器与机械手的动力机构进行连接，当控制器接收到压力传感器传来的异常信号时，其能够控制机械手的动力机构停止动作。
12.本实用新型的有益效果是：
13.本实用新型结构设计合理，其检测组件中的压力传感器外侧设有检测座来提供防护，利用检测杆来传递花篮在机械手的位置信息，当花篮在机械手的位置信息错误时，检测杆会顶压压力传感器，压力传感器发送异常信号给控制器，控制器及时停止机械手的运动，防止故障扩大，通过这种方式使得检测器可以在潮湿的化学化境中进行有效工作，保障检测器的使用寿命。
14.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上的所有优点。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本实用新型的使用状态示意图；
17.图2为本实用新型中检测组件的结构示意图一；
18.图3为本实用新型中检测组件的结构示意图二；
19.图4为本实用新型中悬挂机构的结构示意图；
20.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
21.1-机械手，2-花篮，3-定位柱，4-吊钩，5-检测组件，501-导向座，502-检测座，503-检测杆，504-限位环，505-导向环，506-压力传感器，507-控制器，508-悬挂机构，5081-螺纹柱，5082-安装筒，5083-缓冲弹簧，5084-环形压片，5085-条形竖缝。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-4所示，本实施例为一种用于清洗机的花篮检测装置，包括机械手1、花篮2和检测组件5，机械手1的吊杆底端设有轴线方向与水平方向平行的定位柱3，花篮2的上端设有吊钩4，且吊钩4的下部设有与定位柱3配合的定位卡槽，上端设有平面检测部。
24.本实施例中，检测组件5包括导向座501、检测座502、检测杆503、限位环504、导向环505、压力传感器506、控制器507和悬挂机构508，导向座501和检测座502固定在机械手1上，导向座501沿竖直方向穿设有检测杆503，且检测杆503的底端在自身重力作用下与平面检测部相抵。检测杆503位于导向座501穿孔上方的杆体固定有限位环504，检测座502的下
端设有与检测杆503配合的导向环505，检测座502的内部经悬挂机构508安装有位于导向环505正上方的压力传感器506。导向环505内部的导向孔中安装有轴封。
25.本实施例中，导向座501为l形座，其由水平导向部和竖直安装部构成，水平导向部开设有导向穿孔，竖直安装部通过焊接与机械手1固定。
26.本实施例中，检测杆503位于限位环504两侧的杆体杆径相等或不等。
27.本实施例中，悬挂机构508包括螺纹柱5081、安装筒5082、缓冲弹簧5083和环形压片5084，螺纹柱5081固定于检测座502的腔体顶壁，安装筒5082的顶端设有与螺纹柱5081配合的螺纹凸管，底端开口设有向内延伸的防掉落挡边。安装筒5082的内腔中设有缓冲弹簧5083，且缓冲弹簧5083和压力传感器506之间放置有环形压片5084。安装筒5082的侧端开设有便于侧向放入压力传感器506以及便于压力传感器线缆自适应运动的条形竖缝5085。
28.本实施例中，压力传感器506为盘形结构，其检测面朝下，安装筒5082的防掉落挡边用于为压力传感器提供支撑，同时不影响其检测受力。压力传感器506经线缆与控制器507进行连接。控制器507与机械手1的动力机构进行连接，当控制器507接收到压力传感器506传来的异常信号时，其能够控制机械手1的动力机构停止动作，从而防止故障进一步扩大，便于操作工人快速进行查看和检修。
29.本实施例的一个具体应用为：本实施例结构设计合理，其检测组件5中的压力传感器506外侧设有检测座502来提供防护，利用检测杆503来传递花篮2在机械手1的位置信息，当花篮2在机械手1的位置信息错误时，检测杆503会顶压压力传感器506，压力传感器506发送异常信号给控制器507，控制器507及时停止机械手1的运动，防止故障扩大，通过这种方式使得检测器可以在潮湿的化学化境中进行有效工作，保障检测器的使用寿命。
30.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。