1.一种碳化硅基板研磨液的再生方法,包括下列步骤:
2.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(a)中,所述第一过滤单元的孔径是介于5μm至40μm之间。
3.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(b)中,所述滤液中的过锰酸钾浓度是调整至0.5wt%至3.0wt%之间。
4.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(b)中,所述滤液中的氧化铝浓度是调整至1.0wt%至20.0wt%之间。
5.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(b)中,所述滤液的ph是调整至8至12之间。
6.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(b)中,所述滤液中的氧化铝的粒径分布是调整至0.1μm至20μm之间。
7.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(c)中,所述第一孔径是介于5μm至40μm之间。
8.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(c)中,是将调整后的所述滤液先通过具有第二孔径的第三过滤单元后,再通过具有所述第一孔径的所述第二过滤单元,以获得所述再生研磨液,其中所述第一孔径不同于所述第二孔径。
9.根据权利要求8所述的再生方法,其中,在步骤(c)中,所述第二孔径是介于30μm至80μm之间。
10.根据权利要求1所述的再生方法,其中,所述再生研磨液包括: