碳化硅基板研磨液的再生方法与流程

文档序号:35102884发布日期:2023-08-10 11:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种碳化硅基板研磨液的再生方法,包括下列步骤:

2.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(a)中,所述第一过滤单元的孔径是介于5μm至40μm之间。

3.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(b)中,所述滤液中的过锰酸钾浓度是调整至0.5wt%至3.0wt%之间。

4.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(b)中,所述滤液中的氧化铝浓度是调整至1.0wt%至20.0wt%之间。

5.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(b)中,所述滤液的ph是调整至8至12之间。

6.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(b)中,所述滤液中的氧化铝的粒径分布是调整至0.1μm至20μm之间。

7.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(c)中,所述第一孔径是介于5μm至40μm之间。

8.根据权利要求1所述的再生方法,其中,在步骤(c)中,是将调整后的所述滤液先通过具有第二孔径的第三过滤单元后,再通过具有所述第一孔径的所述第二过滤单元,以获得所述再生研磨液,其中所述第一孔径不同于所述第二孔径。

9.根据权利要求8所述的再生方法,其中,在步骤(c)中,所述第二孔径是介于30μm至80μm之间。

10.根据权利要求1所述的再生方法,其中,所述再生研磨液包括:


技术总结
本公开的碳化硅基板研磨液的再生方法,包括下列步骤:(A)将废弃研磨液通过第一过滤单元,以获得滤液;(B)调整滤液中的过锰酸钾浓度及氧化铝浓度、调整滤液的pH、并调整滤液中氧化铝的粒径分布;以及(C)将调整后的滤液通过具有第一孔径的第二过滤单元,以获得再生研磨液。

技术研发人员:赵宗怡,吴威奇,林佳慧
受保护的技术使用者:台湾永光化学工业股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/14
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