一种用于还原尾气高纯硅粉收集器的制作方法

文档序号:15410311发布日期:2018-09-11 20:53阅读:375来源:国知局

本实用新型涉及多晶硅还原装置高纯硅粉收集相关技术领域,具体涉及一种用于还原尾气高纯硅粉收集器。



背景技术:

还原尾气夹带的细硅粉温度高,压力高,硅粉非常细,平均粒径不到5微米,最大粒径不超过10微米。如果不及时去除还原尾气中的硅粉,会导致下游管道及设备磨损严重,也会产生堵塞,不利于装置的平稳运行。而且这么细的硅粉进入下游后,无法回收,而这种粒度的高纯硅粉是生产氮化硅的理想原料,因此细硅粉进入下游造成了资源浪费。

目前该行业的国内及国外企业,还没有对还原尾气中的细硅粉进行回收,任由其进入下游CDI装置,随着气相冷凝后,再用过滤器将细硅粉过滤下来,但是由于硅粉非常细,过滤器反冲洗频率很高,压降较大,更换频率很高,所以成本较高,而且会造成液相输送泵故障率较高。而且过滤器滤芯非常容易堵塞,需要经常更换过滤器,维护成本极高。

本实用新型利用维护成本几乎可以忽略的旋风分离器分离这种细硅粉,得到的细硅粉可以作为氮化硅原料,回收了一部分成本,这不但有效保护了下游设备及管道,减轻其磨损,而且减轻了下游处理成本。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了弥补现有技术的不足,提供了一种维护简单、收集效果好的用于还原尾气高纯硅粉收集器。

为了达到本实用新型的目的,技术方案如下:

一种用于还原尾气高纯硅粉收集器,具有罐体,其特征在于,所述罐体上设有进气管、旋风分离器和气体出口,所述罐体为圆柱体结构且为收集器主体,所述的进气管设于罐体的顶部,进气管的上端凸出于罐体外部、下端与所述旋风分离器连通;旋风分离器设于罐体内部且具有多个,每个旋风分离器的上部都与所述进气管连通,旋风分离器围绕罐体中心环形均匀布置,旋风分离器内部具有螺旋形的流道使得气体产生螺旋形流向,旋风分离器的下端设有翼阀。

优选地,罐体下部设有硅粉收集器,硅粉收集器的底部设有硅粉下料口;罐体内部上端具有集气室,气体出口位于罐体侧顶部并与所述集气室连通。

本实用新型具有的有益效果:

维护成本低,还可以回收高纯硅粉,用于氮化硅厂家原料,而且,高纯硅粉收集后,进入下游的硅粉量极大降低,可以有效保护下游设备的免受磨损、堵塞,对下游的平稳运行,起了很好的保障作用。

附图说明

图1是本实用用于还原尾气高纯硅粉收集器的结构示意图;

图2为图1的俯视结构示意图;

图3为图1的A-A向结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步描述,但本实用新型的保护范围不仅仅局限于实施例。

结合图1和图2所示,一种用于还原尾气高纯硅粉收集器,具有罐体1,所述罐体上设有进气管2、旋风分离器3和气体出口6,罐体1为圆柱体结构且为收集器主体。进气管2设于罐体1的顶部,进气管2的上端凸出于罐体外部、下端与所述旋风分离器3连通,罐体1的内部上端具有集气室5,气体出口6位于罐体侧顶部并与所述集气室连通。干净气体汇集在集气室5内,干净气体经过气体出口6排出收集器。

继续结合图3所示,旋风分离器3设于罐体内部且具有多个,每个旋风分离器3的上部都与所述进气管2连通,旋风分离器3围绕罐体1中心环形均匀布置,在本实施例中,旋风分离器3具有六个,当然,在其他实施例中,旋风分离器3的数量可根据实际需要增加或者减少。旋风分离器3内部具有螺旋形的流道31,流道31的结构犹如螺纹一样,这使得气体产生螺旋形流向,旋风分离器的下端设有翼阀7。

罐体1下部设有硅粉收集器4,硅粉收集器4的底部设有硅粉下料口41。旋风分离器3的底部置于硅粉收集器4内,并且旋风分离器3的下端设有翼阀7,经过旋风分离器3的细硅粉经过翼阀7进入罐体下端的硅粉收集器4,再经硅粉下料口41排出。

含有细硅粉的气体从顶部进气管2进入罐体1,由于所有的旋风分离器都与进气管连通,并且旋风分离器是均匀分布的,因此,无论气量大小,根据气体流动原理,进气管内的气体都会均分为若干股气流,每股气流进入一个旋风分离器3,收集的细硅粉经旋风分离器3后进入硅粉收集器4,干净的气体汇集在集气室5后,从侧顶部气体出口6排出。

最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案,因此,尽管本说明书参照上述的各个实施例对本实用新型已进行了详细的说明,但是,本领域的普通技术人员应当理解,仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换,而一切不脱离本实用新型的精神和范围的技术方案及其改进,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围中。

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