一种用于还原尾气高纯硅粉收集器的制作方法

文档序号:15410311发布日期:2018-09-11 20:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于还原尾气高纯硅粉收集器,具有罐体(1),其特征在于,所述罐体上设有进气管(2)、旋风分离器(3)和气体出口(6),所述罐体(1)为圆柱体结构且为收集器主体,所述的进气管(2)设于罐体(1)的顶部,进气管的上端凸出于罐体外部、下端与所述旋风分离器(3)连通;旋风分离器设于罐体内部且具有多个,每个旋风分离器的上部都与所述进气管连通,旋风分离器围绕罐体中心环形均匀布置,旋风分离器内部具有螺旋形的流道使得气体产生螺旋形流向,旋风分离器的下端设有翼阀(7)。

2.根据权利要求1所述的用于还原尾气高纯硅粉收集器,其特征在于,罐体下部设有硅粉收集器(4),硅粉收集器(4)的底部设有硅粉下料口(41);罐体内部上端具有集气室(5),气体出口(6)位于罐体侧顶部并与所述集气室连通。

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