一种MEMS器件的应力隔离封装结构的制作方法

文档序号:38749851发布日期:2024-07-24 22:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种mems器件的应力隔离封装结构,包括封装管壳、mems芯片、粘片胶和封装盖板,所述封装盖板位于封装管壳上,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的mems器件的应力隔离封装结构,其特征在于:所述的凸点的形状为直柱形、圆柱形、空心直柱形或空心圆柱形。

3.根据权利要求2所述的mems器件的应力隔离封装结构,其特征在于:所述的凸点的数量至少有一个。

4.根据权利要求1所述的mems器件的应力隔离封装结构,其特征在于:所述的应力隔离基板的材料是热膨胀系数与硅材料相同或相近的材料。

5.根据权利要求4所述的mems器件的应力隔离封装结构,其特征在于:所述的应力隔离基板的材料是单晶硅片、多晶硅或低膨胀玻璃。

6.根据权利要求1所述的mems器件的应力隔离封装结构,其特征在于:应力隔离基板与mems芯片粘接的一面设有防胶溢流槽。


技术总结
本技术公开一种MEMS器件的应力隔离封装结构,包括封装管壳、MEMS芯片、呈“T”字形、倒“T”字形或“工”字形的应力隔离基板、粘片胶和封装盖板,MEMS芯片通过应力隔离基板和粘片胶固定在封装管壳内,MEMS芯片的压焊块通过键合引线与封装管壳的内焊盘连接,将MEMS芯片的电信号引出。本技术采用呈“T”字形、倒“T”字形或“工”字形的应力隔离基板,并将这种应力隔离基板通过粘片胶与封装管壳和MEMS芯片分别粘接,利用应力隔离基板凸点接触面积小的特点,减少了传递至MEMS芯片的应力,实现低应力封装,提高产品的性能。

技术研发人员:苏佳乐,郭中洋,华亚平
受保护的技术使用者:安徽芯动联科微系统股份有限公司
技术研发日:20231129
技术公布日:2024/7/23
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