一种无氰Au-Sn合金镀液及其制备方法和应用与流程

文档序号:13290282阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种无氰Au-Sn合金镀液,由下述原料组分制得:其中,所述金离子由氯金酸或氯金酸盐提供;所述亚锡离子由氯化亚锡、硫酸亚锡、焦磷酸亚锡或甲基磺酸亚锡提供;所述亚锡离子络合剂为焦磷酸钠、焦磷酸钾或甲基磺酸;所述乙内酰脲及其衍生物为乙内酰脲、5,5-二甲基乙内酰脲、3-羟甲基-5,5-二甲基乙内酰脲、1,3-二氯-5,5-二甲基乙内酰脲、1,3-二氯乙内酰脲或1,3-二甲基乙内酰脲;所述亚硫酸盐为亚硫酸钠或亚硫酸钾;所述稳定剂为乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠、氨基三甲叉膦酸、羟基亚乙基二膦酸、乙二胺四亚甲基膦酸、柠檬酸盐、酒石酸盐中的一种或两种物质的混合;所述亚锡离子抗氧化剂为邻苯二酚、间苯二酚、对苯二酚、酚磺酸中的一种或多种。2.根据权利要求1所述的Au-Sn合金镀液,其特征在于:所述Au-Sn合金镀液的pH值为6~8。3.根据权利要求1所述的Au-Sn合金镀液,其特征在于:所述乙内酰脲及其衍生物与金离子的摩尔浓度比为10:1~14:1。4.根据权利要求1所述的Au-Sn合金镀液,其特征在于:所述亚硫酸盐与金离子摩尔浓度比为12:1~24:1。5.根据权利要求1所述的Au-Sn合金镀液,其特征在于:所述亚锡离子络合剂与亚锡离子优选摩尔浓度比为6:1~9:1。6.根据权利要求1所述的Au-Sn合金镀液,其特征在于:所述亚锡离子抗氧化剂的浓度为0.02~0.04mol/L。7.根据权利要求1所述的Au-Sn合金镀液,其特征在于:所述Au-Sn合金镀液按下述方法制备,包括下述工艺步骤:①将氯金酸溶液的pH值调节至6~7,然后将该溶液加入到pH值为10~11的碱性乙内酰脲及其衍生物的溶液中,45℃水浴加热24小时,得到Au(III)-乙内酰脲类络合物;②按比例,将亚硫酸盐、镀液稳定剂以及步骤①所得Au(III)-乙内酰脲类络合物溶于水,搅拌20分钟,得溶液I;③按比例,将亚锡离子络合剂,亚锡离子抗氧化剂以及亚锡离子盐溶于水,搅拌20分钟,得到溶液Ⅱ;④将溶液II逐滴滴入到溶液I中,搅拌均匀,调节pH值至5~10,得到Au-Sn合金镀液。8.利用权利要求1所述Au-Sn合金镀液进行合金电镀的方法,其特征在于:采用周期脉冲的供电方式,在正向峰值电流密度为10-80mA/cm2,施镀温度为35-65℃的条件下电镀。9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于:阳极采用铂钛网阳极、金阳极或者铂阳极。
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