二极管芯片表面金属化处理装置的制作方法

文档序号:18221582发布日期:2019-07-19 23:03阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了二极管芯片表面金属化处理装置,包括阴极、第一器件滑轨、废液出口阀、阳极槽、阳极、电镀液存储罐、液流控制器、电镀液入口阀、电机、加热管、过滤网、真空泵、第二器件滑轨、真空腔壳体,所述阴极固定在真空腔壳体上部,所述第一器件滑轨固定在真空腔壳体左方,所述第二器件滑轨固定在真空腔壳体右方,所述阳极槽固定在真空腔壳体底部,所述阳极设在阳极槽内,所述加热管环绕在真空腔壳体外表面。本实用新型真空腔壳体外表面环绕的加热管,避免了电镀液在真空腔内不均匀沉积,而电镀液从真空腔壳体下方进入真空腔,避免了在器件表面的通孔中金属原子填充过量,提高了作业精度,有效解决了沉积过量造成的短路现象。

技术研发人员:李德鹏
受保护的技术使用者:青岛金汇源电子有限公司
技术研发日:2018.12.11
技术公布日:2019.07.19

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