技术总结
本实用新型公开了一种油扩散泵内部加热装置，包括扩散泵底板、固定条、安装孔、加热丝、油锅以及热电偶，扩散泵底板表面固定安装设置有安装孔，安装孔上固定连接设置有加热丝，扩散泵底板顶端等间隔距离固定安装设置有固定条，加热丝与扩散泵底板之间通过固定条固定连接，扩散泵底板顶端中部固定安装设置有油锅，油锅底端固定连接设置有油锅支杆，扩散泵底板顶端固定安装设置有热电偶。本实用新型结构简单合理，通过在扩散泵底板盘制九组加热器，形状为圆弧形，均匀排布在扩散泵底板上，使加热丝可以直接和扩散泵内部扩散泵油接触，提高加热效率，提高能源利用率且加热速度更快；保证了加热的温度效果，具有良好的应用前景。
技术研发人员：苗润财;苗伟伟;常磊
受保护的技术使用者：上海繁枫真空科技有限公司
技术研发日：2018.10.11
技术公布日：2019.07.23