1.一种抽真空装置的控制装置,所述抽真空装置包括罗茨泵和旋片泵,所述罗茨泵的出口与所述旋片泵的入口连接,其特征在于,所述控制装置包括:
调节阀,所述调节阀的入口用于与真空罐连接,所述调节阀的出口用于与所述罗茨泵的入口连接;
第一真空度检测器件,能设于所述罗茨泵的出口,用于检测所述罗茨泵出口的真空度,并输出第一真空度;
第二真空度检测器件,能设于所述罗茨泵的入口,用于检测所述罗茨泵入口的真空度,并输出第二真空度;
控制器,同时与所述调节阀、所述第一真空度检测器件和所述第二真空度检测器件连接,并能与所述罗茨泵和所述旋片泵连接,用于在接收到一第一启动信号时,控制所述调节阀和所述旋片泵开启,并能根据所述第一真空度和所述第二真空度调节所述调节阀的开度和控制所述罗茨泵开启。
2.根据权利要求1所述的控制装置,其特征在于,所述控制器包括:
比较电路,用于比较所述第一真空度与一阈值以及比较所述第二真空度与所述罗茨泵的启动真空度,能在所述第一真空度大于所述阈值和/或所述第二真空度大于所述启动真空度时,输出第一调节信号,能在所述第二真空度达到所述启动真空度时,输出第二启动信号;
调节电路,同时与所述调节阀和所述比较电路连接,用于在接收到所述第一调节信号时,降低所述调节阀的开度;
控制电路,与所述比较电路连接,且能与所述罗茨泵连接,用于接收到所述第一启动信号时,控制所述旋片泵打开并控制所述调节阀以初始开度开启,并在接收到所述第二启动信号时,控制所述罗茨泵开启。
3.根据权利要求2所述的控制装置,其特征在于,所述比较电路还用于在所述第一真空度小于所述阈值,且所述第二真空度小于所述启动真空度时,输出第二调节信号;
所述调节电路还用于在接收到所述第二调节信号时,增大所述调节阀的开度。
4.根据权利要求2所述的控制装置,其特征在于,所述初始开度为不小于10°。
5.根据权利要求2所述的控制装置,其特征在于,所述控制装置还包括:
第三真空度检测器件,与所述控制器连接,且能设于所述真空罐,用于检测所述真空罐的真空度,并输出第三真空度;
所述比较电路还用于比较所述第三真空度与所述启动真空度,并在所述第三真空度小于所述启动真空度时,输出第三调节信号;
所述调节电路还用于在接收到所述第三调节信号时,使所述调节阀的开度达到最大开度。
6.根据权利要求2所述的控制装置,其特征在于,所述阈值不小于90kpa。
7.根据权利要求2所述的控制装置,其特征在于,所述调节电路、所述调节电路和所述控制电路集成于同一电路板。
8.根据权利要求1-7任一项所述的控制装置,其特征在于,所述抽真空装置还包括:
启动开关,与所述控制器连接,用于在被触发时,向所述控制器输出所述第一启动信号。
9.一种抽真空装置,其特征在于,包括:
权利要求1-8任一项所述控制装置,所述调节阀的入口用于真空罐连接;
罗茨泵,所述罗茨泵的入口与所述调节阀的出口连接;
旋片泵,所述旋片泵的入口与所述罗茨泵的出口连接,所述旋片泵的出口与大气连通。
10.一种真空干燥设备,其特征在于,包括:
真空罐;
权利要求9所述的抽真空装置,所述调节阀的入口与所述真空罐连接。