技术总结
本公开提供一种真空干燥设备、抽真空装置及其控制装置，涉及真空干燥技术领域。该抽真空装置包括罗茨泵和旋片泵，罗茨泵的出口与所述旋片泵的入口连接。该控制装置包括调节阀、第一真空度检测器件、第二真空度检测器件和控制器。调节阀的入口与真空罐连接，调节阀的出口与罗茨泵的入口连接；第一真空度检测器件用于检测罗茨泵出口的真空度，并输出第一真空度；第二真空度检测器件用于检测罗茨泵入口的真空度，并输出第二真空度；控制器用于在接收到一第一启动信号时，控制调节阀和旋片泵开启，并能根据第一真空度和第二真空度调节调节阀的开度和控制罗茨泵开启。
技术研发人员：梁业彪;丘福生;文昌露;黄育军
受保护的技术使用者：中山凯旋真空科技股份有限公司
技术研发日：2019.04.26
技术公布日：2019.12.27