技术特征：
1.直接成像设备的无掩膜数字光刻平台高度和角度调节装置，其特征在于，包括基座(1)，所述基座(1)上设有第一滑动机构(2)和第二滑动机构(3)，所述第一滑动机构(2)和所述第二滑动机构(3)上设有斜推机构(4)，所述斜推机构(4)在所述第一滑动机构(2)沿第一方向移动时使所述第二滑动机构(3)沿第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。2.根据权利要求1所述的直接成像设备的无掩膜数字光刻平台高度和角度调节装置，其特征在于，所述斜推机构(4)的数量为多个，多个所述斜推机构(4)沿所述第一滑动机构(2)的周侧间隔分布。3.根据权利要求1所述的直接成像设备的无掩膜数字光刻平台高度和角度调节装置，其特征在于，所述斜推机构(4)包括设置在所述第一滑动机构(2)与所述第二滑动机构(3)两者中一者上的斜推滑轨(41)，以及设置在另一者上与所述斜推滑轨(41)滑动配合的斜推滑座(42)，所述斜推滑轨(41)与所述第一方向的夹角小于90
°
。4.根据权利要求1所述的直接成像设备的无掩膜数字光刻平台高度和角度调节装置，其特征在于，所述第一滑动机构(2)包括设置在所述基座(1)上的第一滑轨(21)以及设置在所述斜推机构(4)上与所述第一滑轨(21)滑动配合的第一滑座(22)，所述第一滑轨(21)沿所述第一方向延伸，所述第一滑座(22)上设有使其沿所述第一滑轨(21)移动的第一动力机构。5.根据权利要求4所述的直接成像设备的无掩膜数字光刻平台高度和角度调节装置，其特征在于，所述第一滑座(22)包括多个与所述第一滑轨(21)滑动配合的滑块(221)，以及连接所述滑块(221)与所述斜推机构(4)的第一支撑座(222)。6.根据权利要求4所述的直接成像设备的无掩膜数字光刻平台高度和角度调节装置，其特征在于，所述第一滑轨(21)的数量为多个，多个所述第一滑轨(21)在所述基座(1)上平行设置。7.根据权利要求1所述的直接成像设备的无掩膜数字光刻平台高度和角度调节装置，其特征在于，所述第二滑动机构(3)包括设置在所述基座(1)与所述斜推机构(4)两者中一者上的第二滑座(31)，以及设置在另一者上与所述第二滑座(31)滑动配合的第二滑轨(32)，所述第二滑座(31)沿所述第二方向延伸。8.根据权利要求7所述的直接成像设备的无掩膜数字光刻平台高度和角度调节装置，其特征在于，所述第二滑座(31)设置在所述基座(1)上，所述基座(1)与所述第二滑座(31)之间连接有第二支撑座(5)，所述第二支撑座(5)上设有加强筋(6)。
技术总结
本实用新型公开了直接成像设备的无掩膜数字光刻平台高度和角度调节装置，包括基座，基座上设有第一滑动机构和第二滑动机构，第一滑动机构和第二滑动机构上设有斜推机构，斜推机构在第一滑动机构沿第一方向移动时使第二滑动机构沿第二方向移动，第一方向与第二方向相互垂直。此结构实现了水平运动与垂直运动的转换，有效提高光刻平台上下移动的精度和制造的成本，保证产品的稳定性和延长产品的使用寿命。命。命。
技术研发人员：温伟华
受保护的技术使用者：广东台名智能设备有限公司
技术研发日：2021.01.07
技术公布日：2021/11/5