真空锁的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空设备领域，具体而言，涉及一种真空锁。
【背景技术】
[0002]在光伏电池领域，应用平板式连续传输型真空设备对衬底进行镀膜工艺，用于电池不同层导电膜的制备。导电膜制备过程是在真空环境下进行的，所以需要将衬底传输到真空设备中，镀膜工艺完成后，再将衬底传输到真空室外。真空设备上均设置有真空锁，真空锁的作用是隔绝大气与真空室来保证真空设备的真空度。设备工作时，根据生产效率和工作节拍的要求需要频繁的打开、关闭真空锁，真空锁的能否持续稳定的开、关是满足生产需求的其中一个关键因素。
[0003]如图1所示，真空锁的阀板结构，此结构中由销轴3将两侧的连接架2连接，及连接架2与旋转轴I连接组成。其结构缺点为:销轴在这个结构中只起到与连接架2的连接作用；如果真空锁在长期使用后，阀板发生形变时则不能进行微调节来弥补，造成真空锁阀板关闭时密封面与真空室密封面不平行，阀板关不严，真空锁密封性变差，密封面漏气。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的主要目的在于提供一种真空锁，以解决现有技术中真空锁使用过程中密封性变差的问题。
[0005]为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种真空锁，包括旋转轴、与旋转轴连接的翻转结构和设置在翻转结构上的阀板，翻转结构包括:安装支架，安装支架连接在旋转轴上，阀板设置在安装支架上，并可随安装支架翻转至打开位置或密封位置；自调节球轴，自调节球轴穿设在安装支架上，阀板连接在自调节球轴上，并通过自调节球轴设置在安装支架上，阀板与自调节球轴球面配合使阀板与密封面平行。
[0006]进一步地，真空锁还包括固定板，固定板固定设置在阀板上，固定板上设置有安装通孔，自调节球轴穿设在安装通孔内。进一步地，自调节球轴外套设有轴套。
[0007]进一步地，安装支架包括:第一安装架，第一安装架固定设置在旋转轴上；第二安装架，第二安装架间隔于第一安装架且固定设置在旋转轴上，自调节球轴可转动地设置在第一安装架和第二安装架上。
[0008]进一步地，自调节球轴包括:第一安装杆，第一安装杆与第一安装架配合；球型体，球型体连接在第一安装杆的一端；第二安装杆，第二安装杆与第一安装杆同轴设置，且连接在球型体上，第二安装杆与第二安装架配合。
[0009]进一步地，真空锁还包括限定结构，限定结构抵接在阀板上，并限定阀板与密封面平行。
[0010]进一步地，限定结构为多个，其中一半限定结构组成第一限定组，另一半限定结构组成第二限定组，第一限定组与第二限定组位于自调节球轴的轴线的两侧。
[0011]进一步地，限定结构包括:弹性抵接件，弹性抵接件设置在安装支架上；锁紧件，锁紧件设置在安装支架上，弹性抵接件抵接在锁紧件与阀板之间。
[0012]进一步地，安装支架上设置有限定通孔，限定结构与限定通孔一一对应地设置，限定通孔为螺纹孔，锁紧件与限定通孔螺纹连接。
[0013]进一步地，真空锁还包括支撑件，支撑件上固定设置有润滑套，旋转轴可转动地设置在润滑套内，润滑套上设置有润滑槽，润滑槽内设置有润滑介质。
[0014]应用本实用新型的技术方案，真空锁包括旋转轴、与旋转轴连接的翻转结构和设置在翻转结构上的阀板，翻转结构包括安装支架和自调节球轴，安装支架连接在旋转轴上，阀板设置在安装支架上，并可随安装支架翻转至打开位置或密封位置；自调节球轴31穿设在安装支架上，阀板20连接在自调节球轴上，并通过自调节球轴设置在安装支架上，阀板与自调节球轴球面配合使阀板与密封面平行。阀板通过自调节球轴与安装支架连接，这样可以利用自调节球轴的自调节性，使得阀板的安装状态自如，保证长期使用过程中阀板的密封平面与真空室密封平面之间平行，进而保证了阀板在封闭真空室时的密封性良好，提高了使用寿命和工作效果。
【附图说明】
[0015]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0016]图1示出了现有技术中的真空锁的结构示意图；
[0017]图2示出了根据本实用新型的实施例的真空锁的结构示意图；以及
[0018]图3示出了图2中B-B的剖视图；
[0019]图4示出了图2中的C-C的剖视图；
[0020]图5示出了根据本实用新型的实施例的真空锁的局部剖视图。
[0021]其中，上述附图包括以下附图标记:
[0022]10、旋转轴；20、阀板；21、固定板；31、自调节球轴；311、第一安装杆；312、第二安装杆；313、球型体；331、第一安装架；332、第二安装架；41、弹性抵接件；42、锁紧件；50、支撑件；51、润滑套；90、密封面。
【具体实施方式】
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0024]如图2至5所示，根据本实用新型的实施例，真空锁包括旋转轴10、与旋转轴10连接的翻转结构和设置在翻转结构上的阀板20，翻转结构包括安装支架和自调节球轴31，安装支架连接在旋转轴10上，阀板20设置在安装支架上，并可随安装支架翻转至打开位置或密封位置；自调节球轴31穿设在安装支架上，阀板20连接在自调节球轴31上，并通过自调节球轴31设置在安装支架上，阀板20与自调节球轴31球面配合使阀板20与密封面90平行。阀板20通过自调节球轴31与安装支架连接，这样可以利用自调节球轴31的自调节性，使得阀板20的安装状态自如，保证长期使用过程中阀板20的密封平面与真空室密封平面之间平行，进而保证了阀板20在封闭真空室时的密封性良好，提高了使用寿命和工作效果O
[0025]具体的，真空锁还包括固定板21，固定板21固定设置在阀板20上，且所述固定板21上设置有安装通孔，自调节球轴31穿设在安装通孔内。安装通孔用于放置自调节球轴31，通过固定板21实现阀板20与自调节球轴31的连接，通过自调节球轴31实现阀板20与安装支架的连接，进而实现安装支架与阀板20可以自由调节的连接方式，这样能够保证阀板20与安装支架之间的相对自由，当阀板20发生变形时，可以通过自调节球轴31的自调节性调节阀板20，使得阀板20与密封面90平行，保证阀板20对真空室的密封性。这里的密封面90是阀板20与真空室贴合后的平面。在本实施例中，为了保证自调节球轴31可以自由转动，自调节球轴31外套设有轴套。通过轴套可以提高自调节球轴31的可转动性。
[0026]在本实施例中，安装支架包括第一安装架331和第二安装架332。
[0027]第一安装架331固定设置在旋转轴10上。第二安装架332间隔于第一安装架331且固定设置在旋转轴10上，自调节球轴31可转动地设置在第一安装架331和第二安装架332上。第一安装架331和第二安装架332固定连接在旋转轴10上，在旋转轴10的带动下第一安装架331和第二安装架332绕旋转轴10的轴线摆动，进而带动阀板20摆动，实现对真空室的开合。
[0028]在本实施例中，固定板21固定在阀板20上且位于第一安装架331和第二安装架332之间，自调节球轴31穿设在固定板21上。
[0029]具体的，自调节球轴31设置在安装支架的远离旋转轴10的一端，自调节球轴31包括第一安装杆311、球型体313和第二安装杆312。
[0030]其中，第一安装杆311与第一安装架331配合，球型体313连接在第一安装杆311的一端，第二安装杆312与第一安装杆311同轴设置，且连接在球型体313上，第二安装杆312与第二安装架332配合，且三者一体成型。
[0031]优选地，为保证阀板20与密封面90平行，真空锁还包括限定结构，限定结构抵接在阀板20上，并限定阀板20与密封面90平行。
[0032]在本实施例中，限定结构为多个，其中一半限定结构组成第一限定组，另一半限定结构组成第二限定组，第一限定组与第二限定组位于自调节球轴31的轴线的两侧。第一限定组与第二限定组同时向阀板20施力，保证阀板20处于平行于密封面90的状态，第一限定组与第二限定组关于自调节球轴31对称布置可以使得第一限定组与第二限定组对阀板20施加的力一致，若两者不关于轴线对称，则可根据实际位置设定施加的力的大小，保证能够限