定阀板20与密封面90平行即可。
[0033]在本实施例中，限定结构包括弹性抵接件41和锁紧件42。弹性抵接件41设置在安装支架上；锁紧件42设置在安装支架上，弹性抵接件41抵接在锁紧件42与阀板20之间。
[0034]安装支架上设置有限定通孔，限定结构与限定通孔一一对应地设置，限定通孔为螺纹孔，锁紧件42与限定通孔螺纹连接。锁紧件42包括螺杆和螺母，螺杆与限定通孔螺纹连接，通过拧动螺母可以调节螺杆压紧弹性抵接件41的抵紧力。在本实施例中，弹性抵接件41为弹簧。
[0035]优选地，为了提高转动灵活性，保证使用寿命，真空锁还包括支撑件50，支撑件50上固定设置有润滑套51，旋转轴10可转动地设置在润滑套51内，润滑套51上设置有润滑槽，润滑槽内设置有润滑介质。润滑套51为铜套，铜套上设置有润滑槽，其内可以填充润滑脂等，以实现旋转轴10的灵活转动。
[0036]结合参见图2，安装支架为多个，沿旋转轴10的长度方向间隔设置，各安装支架上均设置有自调节球轴31，阀板20对应自调节球轴31的位置出均设置有固定板21。
[0037]该真空锁可以通用于各种真空设备，如PVD，CVD, TFT以及其他平板式连续传输型真空设备。该真空锁安装调试方便，可以改善真空锁的阀板20的密封效果，旋转轴10的旋转更加灵活自如，延长真空锁的使用寿命。
[0038]若想保证真空锁在长时间工作时依然稳定需要满足两个要求，其一为阀板20的密封性良好，另一个是在对阀板20进行开启关闭动作时旋转轴10旋转灵活自如。而现有技术中的真空锁在长时间使用后经常出现阀板20不密封和阀板20旋转不到位的情况。
[0039]结合参见图2，真空锁可广泛应用于传输不同尺寸衬底的平板式真空设备，尺寸覆盖范围(阀板的长度)可从小于I米，I米至2米，或2米以上。工作时，通过对旋转轴10两端进行驱动来带动旋转轴10的旋转，旋转轴10与阀板20通过翻转结构连接，使阀板20跟随旋转轴10的转动完成开启、关闭的动作，通过阀板20的开、关来形成真空设备与大气环境的切换。
[0040]在实际应用中，由于真空锁的阀板20需要频繁的开启、关闭，长期使用后会出现真空锁关闭时阀板20的密封面与真空室的密封面不平行，造成真空锁关不严、漏气，密封效果变差，达不到真空室的真空度要求。这个问题与阀板20尺寸大材料易发生形变和旋转轴10关闭阀板20的动作不到位都有关系。
[0041]通过设置自调节球轴31，使阀板20连接在自调节球轴31使阀板密封面与真空室密封面平行度可调；同时通过改善旋转轴旋转的灵活性来解决真空锁阀板长期使用后密封性变差的问题，以满足设备连续生产的需求。
[0042]如图2所示，真空锁的阀板20通过三个安装支架与旋转轴10连接，各安装支架上都设置有自调节球轴31。使用时，利用自调节球轴31的球面自调节的作用，使安装支架与阀板20的安装状态自如，通过放置在安装支架上的弹簧对阀板20的作用力来微调节阀板20的密封面与真空室密封面的平行度，再利用锁紧件42拧入螺孔深度的不同来调节弹簧对阀板20的弹力。
[0043]如图3所示，为了使真空锁长时间工作旋转轴10转动依然灵活、到位，在旋转轴10外与翻转结构的连接处增加了铜套，并对铜套的内壁里加工一些沟槽，还在沟槽里涂上润滑脂，然后再套设在旋转轴10外，这样旋转轴10的旋转效果大有改善，保证了长时间工作后阀板20的开关到位的准确性，同时保证稳定的真空锁密封效果。从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果:该真空锁有效解决真空锁在长期使用下阀板的密封性差的问题，同时可以有效解决真空锁在长期使用下旋转轴的旋转灵活性、稳定性有效解决真空锁长期使用后阀板的密封面与真空室密封面不平行，密封性变差，密封面漏气的问题。旋转轴旋转灵活可以保证阀板开、关准确到位。
[0044]利用阀限定结构和自调节球轴来调节阀板密封面和真空室密封面的平行，解决真空锁密封问题。在旋转轴上安装内表面带有沟槽的铜套，并在沟槽里涂上润滑脂，使旋转轴旋转更加灵活，解决长期使用后旋转轴不能带动阀板开启、关闭到位的问题。
[0045]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空锁，包括旋转轴(10)、与所述旋转轴(10)连接的翻转结构和设置在所述翻转结构上的阀板(20)，其特征在于，翻转结构包括: 安装支架，所述安装支架连接在所述旋转轴(10)上，所述阀板(20)设置在所述安装支架上，并可随所述安装支架翻转至打开位置或密封位置； 自调节球轴(31)，所述自调节球轴(31)穿设在所述安装支架上，所述阀板(20)连接在所述自调节球轴(31)上，并通过所述自调节球轴(31)设置在所述安装支架上，所述阀板(20)与所述自调节球轴(31)球面配合使所述阀板(20)与密封面(90)平行。
2.根据权利要求1所述的真空锁，其特征在于，所述真空锁还包括固定板(21)，所述固定板(21)固定设置在所述阀板(20)上，所述固定板(21)上设置有安装通孔，所述自调节球轴(31)穿设在所述安装通孔内。
3.根据权利要求2所述的真空锁，其特征在于，所述自调节球轴(31)外套设有轴套。
4.根据权利要求1所述的真空锁，其特征在于，所述安装支架包括: 第一安装架(331)，所述第一安装架(331)固定设置在所述旋转轴(10)上； 第二安装架(332)，所述第二安装架(332)间隔于所述第一安装架(331)且固定设置在所述旋转轴(10)上，所述自调节球轴(31)可转动地设置在所述第一安装架(331)和所述第二安装架(332)上。
5.根据权利要求4所述的真空锁，其特征在于，所述自调节球轴(31)包括: 第一安装杆(311)，所述第一安装杆(311)与所述第一安装架(331)配合； 球型体(313)，所述球型体(313)连接在所述第一安装杆(311)的一端； 第二安装杆(312)，所述第二安装杆(312)与所述第一安装杆(311)同轴设置，且连接在所述球型体(313)上，所述第二安装杆(312)与所述第二安装架(332)配合。
6.根据权利要求4所述的真空锁，其特征在于，所述真空锁还包括限定结构，所述限定结构抵接在所述阀板(20)上，并限定所述阀板(20)与所述密封面(90)平行。
7.根据权利要求6所述的真空锁，其特征在于，所述限定结构为多个，其中一半所述限定结构组成第一限定组，另一半所述限定结构组成第二限定组，所述第一限定组与所述第二限定组位于所述自调节球轴(31)的轴线的两侧。
8.根据权利要求6或7所述的真空锁，其特征在于，所述限定结构包括: 弹性抵接件(41)，所述弹性抵接件(41)设置在所述安装支架上； 锁紧件(42)，所述锁紧件(42)设置在所述安装支架上，所述弹性抵接件(41)抵接在所述锁紧件(42)与所述阀板(20)之间。
9.根据权利要求8所述的真空锁，其特征在于，所述安装支架上设置有限定通孔，所述限定结构与所述限定通孔一一对应地设置，所述限定通孔为螺纹孔，所述锁紧件(42)与所述限定通孔螺纹连接。
10.根据权利要求1所述的真空锁，其特征在于，所述真空锁还包括支撑件(50)，所述支撑件(50)上固定设置有润滑套(51)，所述旋转轴(10)可转动地设置在所述润滑套(51)内，所述润滑套(51)上设置有润滑槽，所述润滑槽内设置有润滑介质。
【专利摘要】本实用新型提供了真空锁。真空锁包括旋转轴、与旋转轴连接的翻转结构和设置在翻转结构上的阀板，其特征在于，翻转结构包括：安装支架，安装支架连接在旋转轴上，阀板设置在安装支架上，并可随安装支架翻转至打开位置或密封位置；自调节球轴，自调节球轴穿设在安装支架上，阀板连接在自调节球轴上，并通过自调节球轴设置在安装支架上，阀板与自调节球轴球面配合使阀板与密封面平行。该真空锁可以提高密封性，延长使用寿命。
【IPC分类】F16K51-02
【公开号】CN204533809
【申请号】CN201520122578
【发明人】杨娜, 王崧
【申请人】北京精诚铂阳光电设备有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年3月2日