一种基于陶瓷压阻式的微压传感器的制作方法

文档序号:12403319阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于陶瓷压阻式的微压传感器,其特征在于,包括压力端口、O型圈、陶瓷芯体、卡簧、接插件、柔性电路板模块;

所述压力端口内设置有凸台,固定所述O型圈;所述陶瓷芯体与所述压力端口内的凸台形成径向密封;所述陶瓷芯体通过所述卡簧定位;所述接插件铆接于所述压力端口;所述陶瓷芯体与所述接插件通过所述柔性电路板模块焊接实现电信号传输。

2.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷压阻式的微压传感器,其特征在于,所述陶瓷芯体与卡簧间设有隔离垫圈。

3.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷压阻式的微压传感器,其特征在于,所述压力端口上端设有密封垫片。

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