一种多层片式结构氧传感器的制作方法

文档序号:12115524阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多层片式结构氧传感器,包括自上而下依次设置的保护层(1)、氧化锆敏感层(2)、第一多孔过渡层(3)、参比气通道层(4)、第二多孔过渡层(5)和加热层(6),所述氧化锆敏感层(2)的表面上设置有外电极(21)和内电极(22),其特征在于,所述加热层(6)上设置有若干个加热片(61),所述加热片(61)包括底座(611)、内电极杆(614)和若干个外电极杆(613),所述内电极杆(614)和外电极杆(613)均设置在底座(611)上,且若干个外电极杆(613)均匀分布在所述内电极杆(614)的周围,所述加热片(61)还包括环行槽(612),所述环行槽(612)内设置有加热丝(615)。

2.根据权利要求1所述的多层片式结构氧传感器,其特征在于,所述氧化锆敏感层(2)的上表面设置有外电极(21),所述氧化锆敏感层(2)的下表面设置有内电极(22)。

3.根据权利要求2所述的多层片式结构氧传感器,其特征在于,所述环行槽(612)的一端延伸到内电极杆(614)上,所述环行槽(612)的另一端延伸到外电极杆(613)上。

4.根据权利要求3所述的多层片式结构氧传感器,其特征在于,所述环行槽(612)的个数为5~7个。

5.根据权利要求1所述的多层片式结构氧传感器,其特征在于,所述参比气通道层(4)设置有容纳参比气体的参比气通道(41)。

6.根据权利要求1所述的多层片式结构氧传感器,其特征在于,所述第一多孔过渡层(3)和第二多孔过渡层(5)的厚度为10~25 微米。

7.根据权利要求1所述的多层片式结构氧传感器,其特征在于,所述加热片(61)的个数为5~7个。

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