1.一种超高真空样品转移设备,其特征在于,包括可拆卸连接的转移主体和辅助装置,
所述转移主体包括用于放置样品的进样室和用于对所述进样室进行抽真空的真空装置,所述进样室两端分别安装有第一阀门(4)和第二阀门(5);
所述辅助装置包括第一冷却波纹管(7)、第二冷却波纹管(8)和传样装置,所述第一冷却波纹管(7)的一端与所述传样装置连通,另一端与所述进样室通过所述第一阀门(4)连通或断开,所述第二冷却波纹管(8)的一端与所述进样室通过所述第二阀门(5)连通或断开,另一端能够同时与目标腔室连通,与所述传样装置连通,与移动泵组通过第三阀门(13)连通,所述第一冷却波纹管(7)和所述第二冷却波纹管(8)外周均设置有冷却部件(702),用于对所述进样室冷却,所述传样装置能够抓取所述进样室内的样品并送至所述目标腔室内。
2.根据权利要求1所述的超高真空样品转移设备,其特征在于,所述进样室包括主腔室(1)和伸入所述主腔室(1)内的进样台(6),所述进样台(6)用于存放样品,所述进样台(6)能够在所述主腔室(1)内上下移动。
3.根据权利要求1所述的超高真空样品转移设备,其特征在于,所述第一冷却波纹管(7)和所述第二冷却波纹管(8)外部沿其轴线方向均设有三个调节螺杆(701),三个所述调节螺杆(701)能够选择性地调节相应的冷却波纹管的轴线方向。
4.根据权利要求1所述的超高真空样品转移设备,其特征在于,所述辅助装置还包括连接管道(12)、三通(10)和四通(11),所述三通(10)分别连接所述传样装置、所述第一冷却波纹管(7)和所述连接管道(12)的一端,所述四通(11)分别连接所述第二冷却波纹管(8)、所述连接管道(12)的另一端、所述移动泵组以及所述目标腔室。
5.根据权利要求1所述的超高真空样品转移设备,其特征在于,所述第一阀门(4)、所述第二阀门(5)及所述第三阀门(13)为手阀。
6.根据权利要求1所述的超高真空样品转移设备,其特征在于,所述真空装置包括吸附泵(2)和离子泵(3),所述吸附泵(2)与所述进样室连通,所述离子泵(3)与所述吸附泵(2)连通。
7.根据权利要求1所述的超高真空样品转移设备,其特征在于,所述传样装置包括一从所述进样室外部伸入所述进样室的磁力杆(9),所述磁力杆(9)能够夹紧所述进样室内的样品并控制样品移动和转动。
8.根据权利要求1所述的超高真空样品转移设备,其特征在于,所述冷却部件(702)为缠绕在所述第一冷却波纹管(7)和所述第二冷却波纹管(8)外周的水管。
9.根据权利要求1所述的超高真空样品转移设备,其特征在于,所述进样室两边分别设置观察窗。
10.一种利用如权利要求1-9任一项所述的超高真空样品转移设备进行样品转移的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
s1、关闭第一阀门(4)和第二阀门(5),使用真空装置对进样室抽真空;
s2、将辅助装置的第一冷却波纹管(7)和第二冷却波纹管(8)分别连接到进样室的第一阀门(4)和第二阀门(5)上;
s3、打开第三阀门(13),使用移动泵组对辅助装置进行抽真空,开启两个冷却波纹管外周的冷却部件(702),对辅助装置上两个冷却波纹管以外的部分进行烘烤,烘烤温度为100-130℃,烘烤两天以上;
s4、停止烘烤,辅助装置自然冷却至室温,关闭第三阀门(13),将第二冷却波纹管(8)与目标腔室连通,打开第一阀门(4)和第二阀门(5);
s5、调整第一冷却波纹管(7),传样装置进入进样室内进行取样,调整第二冷却波纹管(8),传样装置将样品推送至目标腔室;
s6、工艺完成后,将样品取出,放置到进样室内,先切断第二冷却波纹管(8)与目标腔室的连通,再关闭第一阀门(4)和第二阀门(5),将辅助装置取下。