1.一种薄膜式压力传感器的制作方法,其特征在于:所述方法包括一下步骤:
步骤1、压力敏感元件的制作;
步骤2、电桥微调;
步骤3、焊接;
步骤4、引线内封装;
步骤5、封装壳制作及整体封装;
步骤6、性能测试以及老化测试。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜式压力传感器的制作方法,其特征在于:所述步骤1包括以下步骤:
步骤1.1、对弹性体进行结构设计,通过建模和计算,确定弹性体膜片的基本参数,决定压力传感器的输入和输出关系,并根据计算结果对弹性体进行机械加工和制造;
步骤1.2、对所述步骤1.1得到的弹性体进行表面光泽度处理以及薄化处理;
步骤1.3、对所述步骤1.2得到的弹性体进行低压气相沉积处理,与刻蚀交替进行,在弹性体表面制造多层薄膜;
步骤1.4、采用光刻将电阻膜刻蚀成惠斯登电桥的电阻条。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜式压力传感器的制作方法,其特征在于:所述步骤2的目的是将传感器的输出调整到理想零点,即涉及范围内。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜式压力传感器的制作方法,其特征在于:所述步骤3具体操作如下:
步骤3.1、使用柔性pcb基板作为基座,在pcb基板相应位置放置焊膏,用镊子夹取器件放置焊膏处,一起放到加热平台上进行烧结;
步骤3.2、烧结完成后,将步骤3.1得到的组件正面朝下平放置于自动汽相清洗机的清洗篮内,选用自动清洗功能,清洗结束后得到芯片组件。
5.根据权利要求4所述的一种薄膜式压力传感器的制作方法,其特征在于:所述步骤3.1中的加热平台的温度设置为(190±5)℃,且所述柔性pcb基板上可以设置多个传感器。
6.根据权利要求5所述的一种薄膜式压力传感器的制作方法,其特征在于:所述步骤4采用金丝键合工艺完成芯片和支架的电性连接。
7.根据权利要求1所述的一种薄膜式压力传感器的制作方法,其特征在于:所述步骤5采用对传感器芯片进行表面硅凝胶包裹处理,包裹处理完成后,将压力传感器组件放入模具中,进行注塑封装,对压力传感器芯片进行二次封装,二次封装后对其表面进行镀锌处理。
8.根据权利要求1所述的一种薄膜式压力传感器的制作方法,其特征在于:所述步骤6包括对压力传感器的测压性性能、耐高温性能、耐老化能力、耐压程度、稳定性、灵敏度以及防水性、耐腐蚀性分别进行测试。