一种探测芯片分层的测试结构的制作方法

文档序号:21328788发布日期:2020-07-04 01:00阅读:746来源:国知局
一种探测芯片分层的测试结构的制作方法

本实用新型涉及芯片检测技术领域,尤其涉及一种探测芯片分层的测试结构。



背景技术:

芯片又称集成电路,或称微电路、微芯片、晶片等,芯片在电子学中是一种把电路,主要包括半导体设备,也包括被动组件等小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上,芯片分层是指芯片在制造过程发生断裂分层的情况,会影响芯片的正常使用。

芯片在生产制造过程中需要通过显微镜观察芯片表面是否有分层,现有的测试结构存在以下缺点1、现有的测试结构固定单一,只能对单一规格的芯片进行测试,测试不同规格芯片时需要更换测试结构,较为繁琐,影响测试效率;2、现有的显微镜对芯片不同部位进行分层检测时,需要移动芯片以调整芯片的观测位置,在移动过程中容易造成芯片在固定架表面的偏移,导致需要重新定位固定芯片,使用麻烦,为此,我们提出一种探测芯片分层的测试结构。



技术实现要素:

本实用新型提供一种探测芯片分层的测试结构,旨在可以对不同规格大小的芯片进行固定并可以在不移动芯片的前提下对芯片表面不同位置进行观测。

本实用新型提供的具体技术方案如下:

本实用新型提供的一种探测芯片分层的测试结构,包括机台,所述机台顶部一侧固定连接有固定板且固定板为两个,所述机台顶部活动连接有与固定板相对应的移动板,所述固定板和移动板表面一侧均焊接有支撑架,所述机台内侧壁安装有弹簧,所述弹簧远离机台一侧连接至移动板表面,所述移动板表面右侧固定连接有调节杆,所述机台顶部开设有滑槽,所述机台通过滑槽滑动连接有滑块,所述滑块顶部安装有显微镜。

可选的,所述固定板和移动板表面均粘接有橡胶垫,所述橡胶垫粘接在支撑架表面顶部。

可选的,所述调节杆远离移动板一侧固定连接有连接杆,所述连接杆焊接在调节杆之间。

可选的,所述机台底部固定连接有支腿且支腿为四个,所述支腿底部粘接有防滑脚垫。

可选的,所述机台内部一侧活动连接有储物柜,所述储物柜表面一侧安装有把手。

本实用新型的有益效果如下:

1、机台顶部一侧固定有固定板,另一侧连接有移动板,通过拉动调节杆拉伸弹簧以调节固定板和移动板之间的间距,固定板和移动板表面固定的支撑架用来放置需要进行检测的芯片,松开调节杆,在弹簧弹力的作用下,移动板和固定板相互夹持固定住芯片位置,通过调节移动板和固定板之间间距进而方便置放不同规格的芯片进行检测。

2、机台顶部开设有滑槽,滑槽滑动连接有滑块并通过滑块安装有显微镜,芯片固定在支撑架顶部后,可以移动滑块使其在滑槽内部移动进而带动显微镜的移动,即可对芯片顶部不同的位置进行观测,避免调整位置时触碰芯片导致其位置偏移,需要重新定位固定的情况。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的一种探测芯片分层的测试结构的整体结构示意图;

图2为本实用新型实施例的一种探测芯片分层的测试结构的机台内部截面结构示意图;

图3为本实用新型实施例的一种探测芯片分层的测试结构的机台内部侧面结构示意图。

图中:1、机台;2、固定板;3、移动板;4、支撑架;401、橡胶垫;5、弹簧;6、调节杆;7、滑槽;701、滑块;8、显微镜;9、连接杆;10、支腿;1001、防滑脚垫;11、储物柜;1101、把手。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。

下面将结合图1~图3对本实用新型实施例的一种探测芯片分层的测试结构进行详细的说明。

参考图1、图2和图3所示,本实用新型实施例提供的一种探测芯片分层的测试结构,包括机台1,所述机台1顶部一侧固定连接有固定板2且固定板2为两个,所述机台1顶部活动连接有与固定板2相对应的移动板3,所述固定板2和移动板3表面一侧均焊接有支撑架4,所述机台1内侧壁安装有弹簧5,所述弹簧5远离机台1一侧连接至移动板表面3,所述移动板3表面右侧固定连接有调节杆6,所述机台1顶部开设有滑槽7,所述机台1通过滑槽7滑动连接有滑块701,所述滑块701顶部安装有显微镜8。

示例的,通过拉动调节杆6拉伸弹簧5以调节固定板2和移动板3之间的间距,固定板2和移动板3表面固定的支撑架4用来放置需要进行检测的芯片,松开调节杆6,在弹簧5弹力的作用下,移动板3和固定板2相互夹持固定住芯片位置,通过调节移动板3和固定板2之间间距进而方便置放不同规格的芯片进行检测,机台1顶部开设有滑槽7,滑槽7滑动连接有滑块701,滑块701顶部安装有显微镜8,芯片固定在支撑架4顶部后,可以移动滑块701使其在滑槽7内部移动进而带动显微镜8的移动,即可对芯片顶部不同的位置进行观测,避免调整位置时触碰芯片导致其位置偏移,需要重新定位固定的情况。

参考图1和图2所示,所述固定板2和移动板3表面均粘接有橡胶垫401,所述橡胶垫401粘接在支撑架4表面顶部。

示例的,通过在固定板2和移动板3顶部粘接的橡胶垫401可以在夹持固定芯片时起到缓冲作用,避免对芯片造成损伤。

参考图1所示,所述调节杆6远离移动板3一侧固定连接有连接杆9,所述连接杆9焊接在调节杆6之间

示例的,通过在调节杆6之间焊接的连接杆9可以方便拉动调节杆6并使得调节杆6同步移动。

参考图1和图3所示,所述机台1底部固定连接有支腿10且支腿10为四个,所述支腿10底部粘接有防滑脚垫1001。

示例的,机台1底部固定的支腿10可以稳定支撑机台1,防滑胶垫1001可以提高支腿10的防滑能力。

参考图1和图3所示,所述机台1内部一侧活动连接有储物柜11,所述储物柜11表面一侧安装有把手1101。

示例的,储物柜11内部可以用来收放常用的工具,提高机台1的功能性,通过把手1101方便开启关闭储物柜11。

使用时,机台1的顶部一侧固定有固定板2,机台1的顶部另一侧活动连接有移动板3,机台1的内侧壁与移动板3之间安装有弹簧5,移动板3的表面一侧通过调节杆6连接有连接杆9,需要对芯片检测时,通过连接杆9拉动调节杆6进而拉升弹簧5,固定板2和移动板3的顶部焊接有支撑架4,支撑架4用来放置芯片,根据芯片的规格拉动移动板3,将芯片置于支撑架4的顶部,松开连接杆9,在弹簧5的弹力作用下,移动板3向固定板2移动,并与固定板2相互配合,夹持并固定住芯片的位置,利用弹簧5的弹力,拉升移动板3至不同位置,即可对不同规格大小的芯片进行固定,以满足检测需求,不再需要因为芯片规格而更换检测器具,支撑架4的顶部粘接有橡胶垫401,橡胶垫401可以减少固定板2和移动板3夹持力对于芯片的影响,避免芯片损坏,机台1顶部开设有滑槽7,滑槽7滑动连接有滑块701并通过滑块701安装有显微镜8,芯片固定在支撑架4顶部后,可以移动滑块701使其在滑槽7内部移动进而带动显微镜8的移动,即可对芯片顶部不同的位置进行观测,避免调整位置时触碰芯片导致其位置偏移,需要重新定位固定的情况,机台1底部固定的支腿10可以稳定的支撑住机台1,支腿10底部粘接有防滑胶垫1001,防滑胶垫1001可以提高支腿10的防滑能力,进而提高支腿10支撑机台1进行芯片检测时的稳定性,机台1内部活动连接的储物柜11用来储放检测时需要使用的小工具,通过把手1101可以方便的抽出或推紧储物柜11。

需要说明的是,本实用新型为一种探测芯片分层的测试结构,包括机台1、固定板2、移动板3、支撑架4、橡胶垫401、弹簧5、调节杆6、滑槽7、滑块701、显微镜8、连接杆9、支腿10、防滑脚垫1001、储物柜11、把手1101,部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

显然,本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型实施例的精神和范围。这样,倘若本实用新型实施例的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

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