技术特征：
1.一种光栅压缩器波前畸变在线测量装置，其特征在于：包括能产生中心波长可变的窄带准直宽激光光束并入射到待测光栅压缩器(1)中的可变波长光源模块(2)、能将待测光栅压缩器(1)出射的待测光束引出并对待测光束进行全口径光束波前测量的取样及波前测量模块(3)、能获得取样及波前测量模块(3)采集到的信息并通过计算分析得出待测光栅压缩器(1)的时空耦合波前畸变的计算机处理模块；所述计算机处理模块与取样及波前测量模块(3)之间通信连接。2.根据权利要求1所述的一种光栅压缩器波前畸变在线测量装置，其特征在于：所述取样及波前测量模块(3)包括用于反射待测光栅压缩器(1)出射的待测光束从而将待测光束引出的取样反射镜组(31)，所述取样反射镜组(31)的后方设有用于对待测光束进行缩束的缩束透镜组(32)，所述缩束透镜组(32)后方设有用于测量待测光束波前的波前传感器(33)；其中，所述缩束透镜组(32)将待测光束口径缩束至与波前传感器(33)测量的口径一致且消除了色差。3.根据权利要求2所述的一种光栅压缩器波前畸变在线测量装置，其特征在于：所述计算机处理模块包括用于采集波前传感器(33)的波前测量信号图并进行处理的图像采集处理单元、用于分析多个不同波长的待测光束的波前信息从而得到待测光栅压缩器(1)时空耦合畸变波前数据的分析处理单元，所述图像采集处理单元与波前传感器(33)通信连接。4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种光栅压缩器波前畸变在线测量装置，其特征在于：所述可变波长光源模块(2)包括振荡器、展宽器、放大器以及空间滤波器，所述空间滤波器包括能对光束扩束准直的倒置望远镜，所述展宽器的凸面镜上设有能移动位置从而实现波长选择的狭缝结构。5.一种光栅压缩器波前畸变在线测量方法，使用权利要求4所述的测量装置，其特征在于，包括以下步骤：a，调整可变波长光源模块(2)，使用可变波长光源模块(2)产生中心波长为λ0的激光光束入射待测光栅压缩器(1)，待测光栅压缩器(1)出射待测光束；b，使用取样及波前测量模块(3)对步骤a中待测光栅压缩器(1)出射的待测光束进行波前测量，测量结果为w0(x,y)，其中；x和y表示组成二维坐标系的两个方向；c，调整可变波长光源模块(2)，使用可变波长光源模块(2)产生中心波长为λ1的激光光束入射待测光栅压缩器(1)，待测光栅压缩器(1)出射待测光束；其中，中心波长为λ1的激光光束相对于中心波长为λ0的激光光束的波长改变量满足：二者的激光光束在第二面光栅(12)及第三面光栅(13)之间传播时的横向平移量经缩束透镜组(32)缩束后等于取样及波前测量模块(3)中的波前传感器(33)的最小分辨像元；d，使用取样及波前测量模块(3)对步骤c中待测光栅压缩器(1)出射的待测光束进行波前测量，测量结果为w1(x,y)；e，使用计算机处理模块对步骤c和步骤d中测得的波前数据进行收集和分析计算，得出两次测量结果之差的累加值为w(x,y)，其中所述w(x,y)即为待测光栅压缩器(1)的时空耦合畸变波前。
6.根据权利要求5所述的一种光栅压缩器波前畸变在线测量方法，其特征在于，对于所出射的光束经缩束透镜组(32)缩束后的口径超过波前传感器(33)能测量的最大光束口径的大型待测光栅压缩器(1)的测量，包括以下具体步骤：对该大型待测光栅压缩器(1)进行若干次测量，每次测量步骤均包括步骤a至步骤e，且每次测量中步骤a使用的激光光束的中心波长的均不相同，最后将每次测量中步骤e得到的不同空间位置的计算的结果进行拼接，得到该大型待测光栅压缩器(1)全口径波前畸变。7.根据权利要求5所述的一种光栅压缩器波前畸变在线测量方法，其特征在于，步骤a和步骤b中调整可变波长光源模块(2)具体包括以下步骤：移动狭缝结构的位置使得可变波长光源模块(2)的波长改变。
技术总结
本发明公开了一种光栅压缩器波前畸变在线测量装置及测量方法，包括能产生中心波长可变的窄带准直宽激光光束并入射到待测光栅压缩器中的可变波长光源模块、能将待测光栅压缩器出射的待测光束引出并对待测光束进行全口径光束波前测量的取样及波前测量模块、能获得取样及波前测量模块采集到的信息并通过计算分析得出待测光栅压缩器的时空耦合波前畸变的计算机处理模块；所述计算机处理模块与取样及波前测量模块之间通信连接。本发明具有能够实现对待测光栅压缩器在线、快速、高精度的波前测量的优点。前测量的优点。前测量的优点。
技术研发人员：臧仲明 金王赞 左言磊 戴亚平
受保护的技术使用者：中山光子科学中心
技术研发日：2021.10.28
技术公布日：2022/1/28