技术特征：
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：照明模块，用于提供入射光束，所述照明模块包括光源、分光组件、第一可控透光板和第二可控透光板，其中，所述光源提供的光束经所述分光组件分光后形成第一入射光束和第二入射光束，所述第一入射光束投射到所述第一可控透光板上，所述第二入射光束投射到所述第二可控透光板上；其中，所述第一可控透光板和所述第二可控透光板中的一个打开时，另一个关闭；物镜模块，包括可切换的金相物镜和dic物镜，所述金相物镜用于将透过所述第一可控透光板的第一入射光束成像到被测工件表面并接收反射的光束形成所述被测工件表面的像，所述dic物镜用于将透过所述第二可控透光板的第二入射光束成像到被测工件表面并接收反射的光束形成所述被测工件表面的像；以及探测模块，用于对所述被测工件表面的像进行处理形成检测图像。2.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述照明模块包括第一中继镜组，所述第一中继镜组设置在所述第一可控透光板和所述物镜模块之间。3.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述照明模块包括可变焦距镜头，所述可变焦距镜头设置在所述第二可控透光板和所述物镜模块之间。4.如权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述照明模块还包括第二中继镜组，所述第二中继镜组设置在所述第二可控透光板和所述可变焦距镜头之间。5.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述分光组件为分光棱镜，所述分光棱镜将所述光源提供的光束分光并输出反射光束和透射光束；所述第一入射光束为所述反射光束或所述透射光束中的一个，所述第二入射光束为所述反射光束或所述透射光束中的另一个。6.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述照明模块还包括滤波组件，所述滤波组件设置在所述光源和所述分光组件之间。7.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述物镜模块还包括物镜转换器，所述物镜转换器与所述金相物镜和所述dic物镜连接，转动所述物镜转换器可切换所述金相物镜和所述dic物镜。8.如权利要求7所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述物镜模块还包括第一分光板和第二分光板，所述第二分光板与所述物镜转换器连接；所述第一分光板用于将透过所述第一可控透光板的第一入射光束反射到所述第二分光板；所述第二分光板用于将所述第一分光板反射的光束传递进入所述物镜转换器和用于将透过所述第二可控透光板的第二入射光束反射进入所述物镜转换器。9.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述探测模块包括成像镜组和探测器；所述成像镜组放大所述被测工件表面的像；所述探测器采集所述被测工件表面放大的像形成所述检测图像。10.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述照明模块还包括可移出的起偏器，所述探测模块还包括可移出的检偏器。
技术总结
本实用新型的缺陷检测装置中，照明模块包括光源、分光组件、第一和第二可控透光板，分光组件将光源提供的光束分光形成第一入射光束和第二入射光束，第一入射光束投射到第一可控透光板上，第二入射光束投射到第二可控透光板上，第一和第二可控透光板中的一个打开时，另一个关闭；物镜模块包括可切换的金相物镜和DIC物镜，金相物镜用于将第一入射光束成像到被测工件表面，DIC物镜用于将第二入射光束成像到被测工件表面，并且两者还用于接收反射的光束形成被测工件表面的像，探测模块对被测工件表面的像进行处理形成检测图像。如此在切换物镜时，只要打开相应的可控透光板即可，不需要反复调整校正，有助于提高缺陷检测装置的使用效率。用效率。用效率。
技术研发人员：魏礼俊 刘晓
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2021.06.29
技术公布日：2022/1/28