传感器元件的制作方法

文档序号:31697862发布日期:2022-10-01 06:26阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种传感器元件,所述传感器元件检测被测定气体中的nox,包含:长条板状的基体部,所述长条板状的基体部包含被层叠的氧离子传导性的多个固体电解质层、被测定气体流通部,所述被测定气体流通部从形成于所述基体部的长度方向的一个端部的气体导入口导入被测定气体并使其流通、内侧氧泵电极,所述内侧氧泵电极配设于所述被测定气体流通部的内表面、以及测定电极,所述测定电极配设于所述被测定气体流通部的内表面,所述内侧氧泵电极在所述长度方向具有规定的长度l,且包含如下区域:区域a,所述区域a包含靠近所述气体导入口的一侧的电极端部且在所述长度方向具有规定的长度l
a
、以及区域b,所述区域b包含远离所述气体导入口的一侧的电极端部且在所述长度方向具有规定的长度l
b
,所述内侧氧泵电极中包含的金属材料包含使分解nox的催化活性降低的活性降低金属,所述区域a的所述金属材料中的所述活性降低金属的含有率高于所述区域b的所述金属材料中的所述活性降低金属的含有率,所述内侧氧泵电极的所述区域a在所述长度方向的长度l
a
相对于所述内侧氧泵电极在所述长度方向的长度l的比率l
a
/l为15%~90%。2.根据权利要求1所述的传感器元件,其中,所述内侧氧泵电极包含配设于所述被测定气体流通部的内表面的多个电极,所述内侧氧泵电极在所述长度方向的长度l为所述多个电极在所述长度方向的各自的长度的合计。3.根据权利要求1或2所述的传感器元件,其中,所述内侧氧泵电极包含:内侧主泵电极,所述内侧主泵电极配设于所述被测定气体流通部的内表面、以及辅助泵电极,所述辅助泵电极配设于所述被测定气体流通部的内表面的比所述内侧主泵电极更远离所述气体导入口的位置,所述内侧氧泵电极在所述长度方向的长度l为所述内侧主泵电极在所述长度方向的长度l1与所述辅助泵电极在所述长度方向的长度l2的合计、即l1+l2。4.根据权利要求3所述的传感器元件,其中,在所述被测定气体流通部的内表面的比所述内侧主泵电极更远离所述气体导入口的位置依次在所述长度方向直列配设有所述辅助泵电极和所述测定电极。5.根据权利要求3所述的传感器元件,其中,在所述被测定气体流通部的内表面的比所述内侧主泵电极更远离所述气体导入口的位置在所述长度方向并列配设有所述辅助泵电极和所述测定电极。6.根据权利要求1~5中任一项所述的传感器元件,其中,所述内侧氧泵电极的所述区域a在所述长度方向的长度l
a
相对于所述内侧氧泵电极在所述长度方向的长度l的比率l
a
/l为30%~70%。7.根据权利要求1~6中任一项所述的传感器元件,其中,
所述活性降低金属包含选自由金和银构成的组中的至少1种。8.根据权利要求1~7中任一项所述的传感器元件,其中,所述内侧氧泵电极的所述区域a的所述金属材料中的所述活性降低金属的含有率为0.5重量%~2.0重量%。9.根据权利要求1~8中任一项所述的传感器元件,其中,所述内侧氧泵电极的所述区域b的所述金属材料中的所述活性降低金属的含有率以低于所述区域a的所述金属材料中的所述活性降低金属的含有率为条件且为0.1重量%~0.5重量%。10.根据权利要求1~9中任一项所述的传感器元件,其中,所述内侧氧泵电极的所述区域a的所述金属材料中的所述活性降低金属的含有率c
a
与所述区域b的所述金属材料中的所述活性降低金属的含有率c
b
之比c
a
/c
b
为1.5~20.0。

技术总结
本发明提供无论被测定气体中的氧浓度如何都能够保持高NOx检测精度的传感器元件。传感器元件(101)在长度方向具有规定的长度(L)的内侧氧泵电极(22、51)包含区域(A)和区域(B),区域(A)包含靠近气体导入口(10)的一侧的电极端部且在长度方向具有规定的长度(L


技术研发人员:渡边悠介 关谷高幸 新妻匠太郎 青田隼实 平川敏弘
受保护的技术使用者:日本碍子株式会社
技术研发日:2022.03.18
技术公布日:2022/9/30
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