技术特征：
1.一种原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，包括：脉冲激光沉积腔室，所述脉冲激光沉积腔室上部设有引线法兰，所述脉冲激光沉积腔室下部内置靶材托盘，所述引线法兰下部设有内置于所述脉冲激光沉积腔室内的样品托，所述引线法兰与所述脉冲激光沉积腔室和所述样品托可拆卸相连，所述脉冲激光沉积腔室还设有激光入射窗口、电子枪入口、气体入口和气体出口，所述气体入口与反应气供给装置和杂质气体供给装置可切换相连；激光发射装置，所述激光发射装置适于通过所述激光入射窗口向置于所述靶材托盘上的靶材发射激光，以便使所述靶材溅射到置于所述样品托上的衬底上并沉积电极薄膜；电化学工作站，所述电化学工作站包括第一引线和第二引线，所述第一引线和所述第二引线适于通过所述引线法兰与所述样品托相连，以使得所述第一引线与沉积得到的电极薄膜的工作电极相连、所述第二引线与沉积得到的电极薄膜的对电极相连；反射高能电子衍射仪，所述反射高能电子衍射仪包括电子枪和差分泵，所述电子枪通过所述电子枪入口伸入所述脉冲激光沉积腔室内并指向所述样品托；配套使用的荧屏和ccd相机，所述荧屏设在所述脉冲激光沉积腔室上并适于显示电极薄膜沉积过程中打在其上的电子衍射形成的光斑，所述ccd相机设在所述脉冲激光沉积腔室外并适于记录所述荧屏上显示的光斑的动态变化过程，以便获得电极薄膜沉积过程中的表面结构变化；真空手套箱，所述真空手套箱与所述脉冲激光沉积腔室密封相连；抽真空设备，所述抽真空设备与所述气体出口相连。2.根据权利要求1所述的原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，所述脉冲激光沉积腔室还设有：压力传感器。3.根据权利要求1所述的原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，所述引线法兰包括电极，所述电极适于与所述样品托、所述第一引线和所述第二引线相连，以使得所述第一引线与沉积得到的电极薄膜的工作电极相连、所述第二引线与沉积得到的电极薄膜的对电极相连。4.根据权利要求1所述的原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，所述电化学工作站的通道数为1～4个。5.根据权利要求1所述的原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，所述样品托上设有1～4个与所述第一引线相连的连接位置，每个所述连接位置分别独立地与沉积得到的电极薄膜的工作电极对应。6.根据权利要求1所述的原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，所述反应气供给装置和所述气体入口之间设有第一气体质量流量计，所述杂质气体供给装置和所述气体入口之间设有第二气体质量流量计。7.根据权利要求6所述的原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，所述反应气供给装置和所述第一气体质量流量计之间设有第一阀门；所述杂质气体供给装置和所述第二气体质量流量计之间设有第二阀门。8.根据权利要求1所述的原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，所述杂质气体供给装置包括水蒸气供给装置和干燥杂质气体供给装置，所述水蒸气供给装置和/或所述干燥杂质气体供给装置与所述气体入口相连。
9.根据权利要求8所述的原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，所述水蒸气供给装置通过微漏阀与所述气体入口相连；所述干燥杂质气体供给装置先后通过第二阀门和气体质量流量计与所述气体入口相连。10.根据权利要求8所述的原位清洁pld电化学表征系统，其特征在于，所述水蒸气供给装置包括石英瓶，所述石英瓶适于盛放水。
技术总结
本实用新型公开了原位清洁PLD电化学表征系统。该系统包括：脉冲激光沉积腔室、激光发射装置、电化学工作站、反射高能电子衍射仪、配套使用的荧屏和CCD相机、真空手套箱和抽真空设备。该系统将电化学工作站集成到PLD设备中，不仅能够精确制备结构致密且界面清晰的超清洁薄膜图案电极，还能够原位精确地对样品进行在不同气氛和不同湿度下的性能测试和表征；此外将脉冲激光沉积(PLD)腔室和真空手套箱连接起来，能够维持样品表面高的洁净度，为后续其它性能表征提供高洁净度的样品，提高测试的准确性。由此，对理解器件失效原因和性能提升以及器件的工业生产和应用具有重大意义。器件的工业生产和应用具有重大意义。器件的工业生产和应用具有重大意义。
技术研发人员：陈迪 赵云 许建兵 苏虹阳 刘鹏
受保护的技术使用者：清华大学
技术研发日：2022.02.11
技术公布日：2022/8/2