半导体机台的机台警报信息的处理方法及装置与流程

本发明涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种半导体机台的机台警报信息的处理方法及装置。

背景技术：

在现有技术中，各个类型的半导体机台在运行过程中会通过SECS/GEM相关协议通报各种警报信息，但是，这些警报信息的分发工作，都是由工厂的警报分发人员进行处理的。

在半导体机台发出警报信息时，如图1所示，首先警报分发人员会收到机台警报信息，在警报分发人员初步分析警报信息中的内容之后通知与警报信息中的内容相关的工程师，由工程师到达现场后针对机台警报信息采取必要的处理措施。在此过程中，机台警报信息的分类转发完全依靠警报分发人员完成，受到诸多限制，并且最终结果并不理想。具体存在以下问题：

1、警报信息的初步筛选仅靠警报分发人员手工处理，由此会导致警报信息的漏选，误报或延迟的问题。

2、警报信息的进一步处理需要依靠警报分发人员将警报信息发送给与警报信息的内容相关的工程师，由此会带来关键警报信息的延迟处理的问题。

3、警报信息的处理过程无法记录，无回溯和分析机制。

4、无统一入口对各区机台警报信息进行分布分析。且警报信息无法统一轻重等级，造成人力大量浪费。

针对现有技术中通过人工对半导体机台警报信息进行分发，导致的对警报信息的处理不及时、处理过程无记录的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现要素：

本发明的主要目的在于提供一种半导体机台的机台警报信息的处理方法及装置，以解决现有技术中通过人工对半导体机台警报信息进行分发，导致的对警报信息的处理不及时、处理过程无记录的问题。

为了实现上述目的，根据本发明实施例的一个方面，提供了一种半导体机台的机台警报信息的处理方法。该方法包括：获取半导体机台的机台警报信息；获取预先设置的对机台警报信息的分级规则；按照分级规则，确定机台警报信息的权重级别；对机台警报信息进行分析处理，确定与机台警报信息对应的类型标签；从预先设置的规则数据库中获取与类型标签和权重级别对应的分发规则；按照分发规则，对机台警报信息进行发送。

为了实现上述目的，根据本发明实施例的另一方面，提供了一种半导体机台的机台警报信息的处理装置，该装置包括：第一获取模块，用于获取半导体机台的机台警报信息；第二获取模块，用于获取预先设置的对机台警报信息的分级规则；第一处理模块，用于按照分级规则，确定机台警报信息的权重级别；第二处理模块，用于对机台警报信息进行分析处理，确定与机台警报信息对应的类型标签；第三获取模块，用于从预先设置的规则数据库中获取与类型标签和权重级别对应的分发规则；发送模块，用于按照分发规则，对机台警报信息进行发送。

根据发明实施例，通过获取半导体机台的机台警报信息；获取预先设置的对机台警报信息的分级规则；按照分级规则，确定机台警报信息的权重级别；对机台警报信息进行分析处理，确定与机台警报信息对应的类型标签；从预先设置的规则数据库中获取与类型标签和权重级别对应的分发规则；按照分发规则，对机台警报信息进行发送，解决了现有技术通过人工对半导体机台警报信息进行分发，导致的对警报信息的处理不及时、处理过程无记录的问题。实现了自动获取机台警报信息，并对机台警报信息进行实时处理的效果。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是根据现有的半导体机台的机台警报信息的处理方法的逻辑图；

图2是根据本发明实施例一的半导体机台的机台警报信息的处理方法的流程图；

图3是根据本发明实施例的半导体机台的机台警报信息的处理方法的逻辑图；

图4是根据本发明实施例一可选的半导体机台的机台警报信息的处理方法的流程图；

图5是根据本发明实施例的半导体机台的机台警报信息的分析报告生成方法的逻辑图；

图6是根据本发明实施例二的半导体机台的机台警报信息的处理装置的结构示意 图；以及

图7是根据本发明实施例二优选的半导体机台的机台警报信息的处理装置的结构示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

实施例1

本发明实施例提供了一种半导体机台的机台警报信息的处理方法。

图2是根据本发明实施例的半导体机台的机台警报信息的处理方法的流程图。如图2所示，该方法包括步骤如下：

步骤S11，获取半导体机台的机台警报信息。

具体的，在半导体晶圆加工车间中，拥有各种型号、各种类型的半导体加工机台。上述步骤S11通过SECS/GEM相关协议，从各个半导体机台中获取机台警报消息。其中，机台警报信息至少包括：高温警报信息、缺液警报信息、故障警报信息等。

步骤S13，获取预先设置的对机台警报信息的分级规则。

具体的，在获取半导体机台的机台警报信息之前，可以预先根据已知的机台警报信息的内容，按照紧急程度为各种机台警报信息设置处理权重级别。通过上述步骤S13，获取用于区分机台警报信息权重级别的分级规则。

步骤S15，按照分级规则，确定机台警报信息的权重级别。

具体的，通过上述步骤S15，对获取到的机台警报信息进行分析，通过对机台警报信息的内容的分析，确定机台警报的发送机器型号和警报类型等。按照预先设置的分级规则，对不同警报类型的机台警报信息划分相应的权重级别。

在实际应用当中，在半导体机台自动化制造的过程当中，可能会出现机台温度过高、机台缺液、机台停机等问题。机台根据发生的问题生成相应的机台警报信息。根据问题的严重程度，将机台警报信息划分为若干个权重级别。权重级别的数量，可以根据对机台警报信息的控制精度、管理方式或者人员配置而定。

步骤S17，对机台警报信息进行分析处理，确定与机台警报信息对应的类型标签。

具体的，通过上述步骤S17，对获取到的机台警报信息的内容进行分析处理，可以根据发送机台警报信息的机台型号、机台功能、警报类型、警报发生时间等信息，为机台警报信息确定至少一个类型标签。

步骤S19，从预先设置的规则数据库中获取与类型标签和权重级别对应的分发规则。

具体的，通过上述步骤S19，将通过分析处理确定的类型标签和/或权重级别作为条件，与预先在规则数据库中设置的分发规则进行比对，得到与机台警报信息匹配的分发规则。

步骤S21，按照分发规则，对机台警报信息进行发送。

具体的，上述步骤S11至上述步骤S21，通过统一获取半导体晶圆加工车间中的各个半导体机台的机台警报信息，并对机台警报信息进行分析处理，确定机台警报信息的类型标签和权重级别。以类型标签和权重级别为条件，确定与机台警报信息对应的分发规则，将机台警报信息按照与其对应的分发规则进行发送。除此之外，对于权重级别比较低的机台警报信息，还可以针对类型标签和/或权重级别提前设置处理方法，根据处理方法对半导体机台进行初步处理，以进一步提高机台警报信息的处理效率。

实际应用当中，针对半导体机台的工作特性，对机台警报信息的采集、管理会影响机台的利用率和生产出的晶圆半导体产品的质量。而对机台警报信息合理的处理方法会极大地提升半导体晶圆加工车间的自动化程度，如图3所示，在机台警报信息处理过程中，使用上述方法，通过对机台警报信息的自动化处理，使得企业的效率大为提升。

通过对半导体晶圆加工车间内的各类机台警报信息划分权重级别、进行分类，根据机台警报信息的类型和权重级别的不同，进行不同的处理方法。从而实现将机台警 报信息进行实时处理、并分发至相应工程师。

综上可知，本发明解决了现有技术中通过人工对半导体机台警报信息进行分发，导致的对警报信息的处理不及时、处理过程无记录的问题，实现了自动获取机台警报信息，并对机台警报信息进行实时处理的效果。

优选的，本申请上述实施例中，分发规则至少包括：用于限定与机台警报信息对应的接收端目的地址集合、用于限定与机台警报信息对应的发送途径。

具体的，不同类型的机台警报信息可能由不同的工程师进行处理。可以根据机台警报信息的类型和/或权重级别，将机台警报信息以不同的发送途径发送至目的地集合。其中，发送途径可以包括：邮件发送、短信发送、电话通知等。除此之外，也可以根据权重级别的不同，将机台警报信息发送至不同的目的地集合当中。

在实际应用当中，为了保证机台警报信息的及时传达，可以根据权重级别将机台警报信息以多种发送途径进行并发。以将权重级别分为三个，紧急程度随权重级别的从小到大而递增，发送途径为邮件发送、短信发送、电话通知为例进行说明。当权重级别为一级(紧急程度为最低)时，仅通过邮件对机台警报信息进行发送。当权重级别为二级(紧急程度为中等)时，通过邮件和短信形式同时对机台警报信息进行发送。当权重级别为三级(紧急程度为最高)时，通过邮件、短信和电话形式同时对机台警报信息进行发送。

优选的，本申请上述实施例中，上述步骤S19根据类型标签和权重级别，从预先设置的规则数据库中获取与类型标签和权重级别对应的分发规则的步骤包括：

步骤S191，根据类型标签，从规则数据库中获取与类型标签对应的接收端目的地址集合。

步骤S193，根据权重级别，从规则数据库中获取将机台警报信息发送至目的地址集合的发送途径。

具体的，上述步骤S191至步骤S193，首先将机台警报信息的类型标签与规则数据库中的分发规则进行匹配，确定将机台警报信息发送的目的地址集合。然后根据权重级别，对确定好目的地址集合的机台警报信息的发送途径进行确定。根据权重级别，使用不同的发送途径或者同时使用两种以上的发送途径对机台警报信息进行发送。进一步的，当权重级别为最高级，即紧急程度最高时，可以在原有目的地址集合的基础上，加入其他目的地址集合，以确保机台警报信息的及时处理。

优选的，本申请上述实施例中，在步骤S11获取半导体机台的机台警报信息之前，方法还包括：

步骤S101，根据机台警报信息的警报内容，判断机台警报信息的紧急程度。

步骤S103，根据机台警报信息的紧急程度，设置分级规则。

具体的，通过上述步骤S101至步骤S103对机台警报信息的分级规则进行设置。对已知的机台警报信息的内容进行分析，提取机台警报信息中的特征信息，通过特征信息对机台警报信息的紧急程度进行判断。根据紧急程度，设置用于划分机台警报信息权重级别的分级规则。

优选的，本申请上述实施例中，在步骤S103根据机台警报信息的紧急程度，确定分级规则之后，方法还包括：

步骤S105，提取分级规则中的权重级别。

步骤S107，按照权重级别，设置与各个权重级别对应的分发规则。

具体的，通过上述步骤S105至步骤S107对发送途径进行设置。从分级规则中提取权重级别，按照权重级别的数量以及权重级别的高低，设置与各个权重级别对应的发送途径。

优选的，本申请上述实施例中，如图4所示，在步骤S17对机台警报信息进行分析处理，确定与机台警报信息对应的类型标签之后，方法还包括：

步骤S18，将机台警报信息、类别标签和权重级别存储至警报信息数据库。

具体的，上述步骤S18，将机台警报信息、与机台警报信息对应的类别标签和权重级别对应存入警报信息数据库中，从而实现对机台警报信息的记录。

在实际应用当中，如图5所示，在对机台警报信息进行收集后，根据类别标签和/或权重级别对机台警报信息划分层级。按照层级对机台警报信息进行分析，生成分析报告。借助分析报告发现机台潜在的问题及风险。针对问题及风险采取相应的处理动作。

优选的，本申请上述实施例中，步骤17对机台警报信息进行分析处理，确定与机台警报信息对应的类型标签可以包括如下任意一种实现方式：

方式一：从机台警报信息中提取特征标签，并将提取到的特征标签设置为与机台警报信息对应的类型标签。

具体的，机台警报信息都以标准格式进行生成，提取机台警报信息中特定位置的信息内容。通过对信息内容的提取，得到与该条机台警报信息对应的至少一个类型标签。

方式二：根据机台警报信息的内容从类型标签库中进行查询，获取与机台警报信息匹配的类型标签。

具体的，在获取与机台警报信息匹配的类型标签之前，要根据已知的机台报警信息的类型，设置类型标签库。在使用中，通过对机台警报信息的内容从类型库中进行查询，获得与机台警报信息匹配的类型标签。或者，还可以在系统运行初期，使用方式一的方法，通过对机台警报信息的提取，得到类型标签库。

综上所述，在实际应用当中，在系统的设计和开发中可以有以下创新点：

1.自动化收集机台警报信息：

依靠现有的机台自动化系统，实时收集机台警报数据，降低人工误处理机台警报信息的几率，提升机台利用率。

2.层次化机台警报信息：

机台警报数据收集后，由系统根据工程师配置将机台警报进行层级化处理，权重级别高的警报还可以联动第三方系统进行实时报警通知。

3.系统分析与汇总报表：

将半导体晶圆加工车间中的警报信息分类汇总，并自定义显示方式。

由此带来的好处的：

提高工作效率，减少生产损失；原来要管理机台警报任务，需要花费较多时间，而现在只需要花几分钟时间就完成工作，缩短了问题发现的时间，有效减少生产损失。

实施例2

本发明实施例还提供了一种半导体机台的机台警报信息的处理装置，如图6所示，该装置可以包括：第一获取模块31、第二获取模块33、第一处理模块35、第二处理模块37、第三获取模块39和发送模块41。

其中，第一获取模块31，用于获取半导体机台的机台警报信息。

具体的，在半导体晶圆加工车间中，拥有各种型号、各种类型的半导体加工机台。上述第一获取模块31通过SECS/GEM相关协议，从各个半导体机台中获取机台警报消息。其中，机台警报信息至少包括：高温警报信息、缺液警报信息、故障警报信息等。

第二获取模块33，用于获取预先设置的对机台警报信息的分级规则。

具体的，在获取半导体机台的机台警报信息之前，可以预先根据已知的机台警报信息的内容，按照紧急程度为各种机台警报信息设置处理权重级别。通过上述第二获取模块33，获取用于区分机台警报信息权重级别的分级规则。

第一处理模块35，用于按照分级规则，确定机台警报信息的权重级别。

具体的，通过上述第一处理模块35，对获取到的机台警报信息进行分析，通过对机台警报信息的内容的分析，确定机台警报的发送机器型号和警报类型等。按照预先设置的分级规则，对不同警报类型的机台警报信息划分相应的权重级别。

在实际应用当中，在半导体机台自动化制造的过程当中，可能会出现机台温度过高、机台缺液、机台停机等问题。机台根据发生的问题生成相应的机台警报信息。根据问题的严重程度，将机台警报信息划分为若干个权重级别。权重级别的数量，可以根据对机台警报信息的控制精度、管理方式或者人员配置而定。

第二处理模块37，用于对机台警报信息进行分析处理，确定与机台警报信息对应的类型标签。

具体的，通过上述第二处理模块37，对获取到的机台警报信息的内容进行分析处理，可以根据发送机台警报信息的机台型号、机台功能、警报类型、警报发生时间等信息，为机台警报信息确定至少一个类型标签。

第三获取模块39，用于从预先设置的规则数据库中获取与类型标签和权重级别对应的分发规则。

具体的，通过上述第三获取模块39，将通过分析处理确定的类型标签和/或权重级别作为条件，与预先在规则数据库中设置的分发规则进行比对，得到与机台警报信息匹配的分发规则。

发送模块41，用于按照分发规则，对机台警报信息进行发送。

具体的，上述第一获取模块31、第二获取模块33、第一处理模块35、第二处理模块37、第三获取模块39和发送模块41，通过统一获取半导体晶圆加工车间中的各个半导体机台的机台警报信息，并对机台警报信息进行分析处理，确定机台警报信息的类型标签和权重级别。以类型标签和权重级别为条件，确定与机台警报信息对应的分发规则，将机台警报信息按照与其对应的分发规则进行发送。除此之外，对于权重级别比较低的机台警报信息，还可以针对类型标签和/或权重级别提前设置处理方法，根据处理方法对半导体机台进行初步处理，以进一步提高机台警报信息的处理效率。

实际应用当中，针对半导体机台的工作特性，对机台警报信息的采集、管理会影响机台的利用率和生产出的晶圆半导体产品的质量。而对机台警报信息合理的处理方法会极大地提升半导体晶圆加工车间的自动化程度，如图3所示，在机台警报信息处理过程中，使用上述方法，通过对机台警报信息的自动化处理，使得企业的效率大为提升。

通过对半导体晶圆加工车间内的各类机台警报信息划分权重级别、进行分类，根 据机台警报信息的类型和权重级别的不同，进行不同的处理方法。从而实现将机台警报信息进行实时处理、并分发至相应工程师进行处理。

综上可知，本发明解决了现有技术中通过人工对半导体机台警报信息进行分发，导致的对警报信息的处理不及时、处理过程无记录的问题，实现了自动获取机台警报信息，并对机台警报信息进行实时处理的效果。

优选的，本申请上述实施例中，在分发规则至少包括：用于限定与机台警报信息对应的接收端目的地址集合、用于限定与机台警报信息对应的发送途径时，第三获取模块39包括：第一子获取模块391和第二子获取模块393。

其中，第一子获取模块391，用于根据类型标签，从规则数据库中获取与类型标签对应的接收端目的地址集合。

第二子获取模块393，用于根据权重级别，从规则数据库中获取将机台警报信息发送至目的地址集合的发送途径。

具体的，上述第一子获取模块391和第二子获取模块393，首先将机台警报信息的类型标签与规则数据库中的分发规则进行匹配，确定将机台警报信息发送的目的地址集合。然后根据权重级别，对确定好目的地址集合的机台警报信息的发送途径进行确定。根据权重级别，使用不同的发送途径或者同时使用两种以上的发送途径对机台警报信息进行发送。进一步的，当权重级别为最高级，即紧急程度最高时，可以在原有目的地址集合的基础上，加入其他目的地址集合，以确保机台警报信息的及时处理。

在实际应用当中，为了保证机台警报信息的及时传达，可以根据权重级别将机台警报信息以多种发送途径进行并发。以将权重级别分为三个，紧急程度随权重级别的从小到大而递增，发送途径为邮件发送、短信发送、电话通知为例进行说明。当权重级别为一级(紧急程度为最低)时，仅通过邮件对机台警报信息进行发送。当权重级别为二级(紧急程度为中等)时，通过邮件和短信形式同时对机台警报信息进行发送。当权重级别为三级(紧急程度为最高)时，通过邮件、短信和电话形式同时对机台警报信息进行发送。

优选的，本申请上述实施例中，装置还包括：判断模块301和第一设置模块303。

其中，判断模块301，用于根据机台警报信息的警报内容，判断机台警报信息的紧急程度。

第一设置模块303，用于根据机台警报信息的紧急程度，设置分级规则。

具体的，通过上述判断模块301和第一设置模块303对机台警报信息的分级规则进行设置。对已知的机台警报信息的内容进行分析，提取机台警报信息中的特征信息，通过特征信息对机台警报信息的紧急程度进行判断。根据紧急程度，设置用于划分机 台警报信息权重级别的分级规则。

优选的，本申请上述实施例中，装置还包括：提取模块305和第二设置模块307。

其中，提取模块305，用于提取分级规则中的权重级别。

第二设置模块307，用于按照权重级别，设置与各个权重级别对应的分发规则。

具体的，通过上述提取模块305和第二设置模块307对发送途径进行设置。从分级规则中提取权重级别，按照权重级别的数量以及权重级别的高低，设置与各个权重级别对应的发送途径。

优选的，本申请上述实施例中，如图7所示，装置还包括：存储模块38。

其中，存储模块38，用于将机台警报信息、类别标签和权重级别存储至警报信息数据库。

具体的，上述存储模块38，将机台警报信息、与机台警报信息对应的类别标签和权重级别对应存入警报信息数据库中，从而实现对机台警报信息的记录。

在实际应用当中，如图5所示，在对机台警报信息进行收集后，根据类别标签和/或权重级别对机台警报信息划分层级。按照层级对机台警报信息进行分析，生成分析报告。借助分析报告发现机台潜在的问题及风险。针对问题及风险采取相应的动作。

进一步的，第二处理模块37中可以包含如下任意一种实现方式：

方式一：从机台警报信息中提取特征标签，并将提取到的特征标签设置为与机台警报信息对应的类型标签；

具体的，机台警报信息都以标准格式进行生成，提取机台警报信息中特定位置的信息内容。通过对信息内容的提取，得到与该条机台警报信息对应的至少一个类型标签。

方式二：根据机台警报信息的内容从类型标签库中进行查询，获取与机台警报信息匹配的类型标签。

具体的，在获取与机台警报信息匹配的类型标签之前，要根据已知的机台报警信息的类型，设置类型标签库。在使用中，通过对机台警报信息的内容从类型库中进行查询，获得与机台警报信息匹配的类型标签。或者，还可以在系统运行初期，使用方式一的方法，通过对机台警报信息的提取，得到类型标签库。

需要说明的是，对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术 人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置，可通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。

所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可为个人计算机、移动终端、服务器或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、移动硬盘、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。