技术总结
本发明公开了一种半导体机台的机台警报信息的处理方法及装置。其中，该方法包括：获取半导体机台的机台警报信息；获取预先设置的对机台警报信息的分级规则；按照分级规则，确定机台警报信息的权重级别；对机台警报信息进行分析处理，确定与机台警报信息对应的类型标签；从预先设置的规则数据库中获取与类型标签和权重级别对应的分发规则；按照分发规则，对机台警报信息进行发送。本发明解决了现有技术中通过人工对半导体机台警报信息进行分发，导致的对警报信息的处理不及时、处理过程无记录的问题。
技术研发人员：罗异;王玉娜
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201510181034
技术研发日：2015.04.16
技术公布日：2016.11.23