技术特征：
技术总结
本申请公开了一种多晶硅还原工序能耗值的预测方法，包括：获取多晶硅还原工序能耗值的影响因素；利用小波神经网络算法对影响因素进行建模，得到初始化模型；利用SFLA算法对初始化模型进行优化，得到目标模型；利用目标模型对目标多晶硅还原工序的能耗值进行预测。可见，通过本申请中的方法能够显著提高多晶硅还原工序能耗值的预测精度。相应的，本申请公开的一种多晶硅还原工序能耗值的预测系统、介质及设备，同样具有上述有益效果。
技术研发人员：郭久俊
受保护的技术使用者：广东工业大学
技术研发日：2018.08.31
技术公布日：2018.12.18