一种触摸屏铜制程方法及触摸屏与流程

文档序号:25732014发布日期:2021-07-02 21:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,包括以下步骤:

s1:提供基材,在所述基材上形成金属铜膜层;

s2:在所述金属铜膜层进行光刻,以得到预设的金属网格和金属铜边缘走线。

2.根据权利要求1所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,在所述步骤s1中,具体包括以下步骤:

在所述基材上形成衬底;

在所述衬底上通过气相沉积形成金属铜膜层。

3.根据权利要求1所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,在所述步骤s2中,具体包括如下步骤:

在所述金属铜膜的两侧旋涂一层光刻胶,对光刻胶进行烘烤固化;

对所述光刻胶进行曝光;

对所述光刻胶进行显影;

将显影后的所述金属铜膜进行蚀刻,以得到预设的金属网格和金属铜边缘走线。

4.根据权利要求3所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,所述方法中对光刻胶进行烘烤固化,其中,所述固化温度为90-150℃,固化时间为5-15min。

5.根据权利要求3所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,所述方法采用高精密曝光机对所述光刻胶进行曝光,所述高精密曝光机的灯管功率为灯管功率可选择(2~10)kw,所述高精密曝光尺可选用(5~25)。

6.根据权利要求3所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,所述方法中显影的温度可以为20~50℃,浓度可为5~15g/l,显影喷压可为1~2kg/cm2,其显影速度为3~6m/min。

7.根据权利要求6所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,所述方法中的蚀刻的温度可为15~60℃,浓度可为0.1~2g/l,蚀刻喷压可选择0.5~1.5kg/cm2,其蚀刻的速度与所述显影速度一致。

8.一种触摸屏,其特征在于,所述触摸屏采用权利要求1-9任一所述的触摸屏铜制程方法制备得到。

9.根据权利要求8所述的一种触摸屏,其特征在于,所述金属铜膜的厚度为400nm,所述光刻胶的厚度为2μm。

10.根据权利要求8所述的一种触摸屏,其特征在于,所述金属铜边缘走线最小线宽线距为6μm/6μm。


技术总结
本发明实施例公开了一种触摸屏铜制程方法,包括以下步骤:S1:提供基材,在所述基材上形成金属铜膜层;S2:在所述金属铜膜层进行光刻,以得到预设的金属网格和金属铜边缘走线,使得触控屏面内金属网格线宽2um,金属铜边缘走线最小线宽降低至6um/6um,实现真正的超细线路触摸屏,另外,本发明还提供一种采用上述铜制程方法制备得到的触摸屏。

技术研发人员:高俊奎
受保护的技术使用者:牧东光电科技有限公司
技术研发日:2021.03.31
技术公布日:2021.07.02
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