1.一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,包括以下步骤:
s1:提供基材,在所述基材上形成金属铜膜层;
s2:在所述金属铜膜层进行光刻,以得到预设的金属网格和金属铜边缘走线。
2.根据权利要求1所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,在所述步骤s1中,具体包括以下步骤:
在所述基材上形成衬底;
在所述衬底上通过气相沉积形成金属铜膜层。
3.根据权利要求1所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,在所述步骤s2中,具体包括如下步骤:
在所述金属铜膜的两侧旋涂一层光刻胶,对光刻胶进行烘烤固化;
对所述光刻胶进行曝光;
对所述光刻胶进行显影;
将显影后的所述金属铜膜进行蚀刻,以得到预设的金属网格和金属铜边缘走线。
4.根据权利要求3所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,所述方法中对光刻胶进行烘烤固化,其中,所述固化温度为90-150℃,固化时间为5-15min。
5.根据权利要求3所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,所述方法采用高精密曝光机对所述光刻胶进行曝光,所述高精密曝光机的灯管功率为灯管功率可选择(2~10)kw,所述高精密曝光尺可选用(5~25)。
6.根据权利要求3所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,所述方法中显影的温度可以为20~50℃,浓度可为5~15g/l,显影喷压可为1~2kg/cm2,其显影速度为3~6m/min。
7.根据权利要求6所述的一种触摸屏铜制程方法,其特征在于,所述方法中的蚀刻的温度可为15~60℃,浓度可为0.1~2g/l,蚀刻喷压可选择0.5~1.5kg/cm2,其蚀刻的速度与所述显影速度一致。
8.一种触摸屏,其特征在于,所述触摸屏采用权利要求1-9任一所述的触摸屏铜制程方法制备得到。
9.根据权利要求8所述的一种触摸屏,其特征在于,所述金属铜膜的厚度为400nm,所述光刻胶的厚度为2μm。
10.根据权利要求8所述的一种触摸屏,其特征在于,所述金属铜边缘走线最小线宽线距为6μm/6μm。